16- mavzu. Integral mikrosxemalar Reja: Umumiy ma’lumotlar. Yarimo‘tkazgich imslar yaratishda texnologik jarayon va operatsiyalar

Element deb, konstruksiyasi bo‘yicha kristall yoki asosdan ajralmaydigan, ERE funksiyasini bajaruvchi IMSning qismiga aytiladi.
IMS komponenti deb, diskret element funksiyasini bajaruvchi, lekin montajdan avval mustaqil mahsulot bo‘lgan IMSning bo‘lagiga aytiladi.
Yig‘ish, montaj qilish operatsiyalarini bajarishda komponentlar mikrosxema asosiga o‘rnatiladi. Qobiqsiz diod va tranzistorlar, kondensatorlarning maxsus turlari, kichik o‘lchamli induktivlik g‘altaklari va boshqalar sodda komponentlarga, murakkab komponentlarga esa – bir nechta elementdan tashkil topgan, masalan, diod yoki tranzistorlar yig‘malari kiradi.
Elementlari yarimo‘tkazgich asosning sirtiga yaqin qatlamda hosil qilingan mikrosxemalar yarimo‘tkazgich IMS deb ataladi.
Elementlari dielektrik asos sirtida parda ko‘rinishida hosil qilingan mikrosxemalar pardali IMS deb ataladi. Pardalar turli materiallarni past bosimda yupqa qatlam sifatida o‘tkazish yo‘li bilan hosil qilinadi. Parda hosil qilish usuli va u bilan bog‘liq parda qalinligiga muvofiq IMSlarni yupqa pardali (qalinligi 1-2 mkm) va qalin pardali (qalinligi 10 mkmdan yuqori) larga ajratiladi. Adabiyotlarda ko‘p hollarda IMS yozuv o‘rniga IS deb yoziladi.
Hozirgi kunda pardali diod va tranzistorlarning parametrlari barqaror bo‘lmagani sababli, pardali IMSlar faqat passiv elementlarga (rezistorlar, kondensatorlar va boshqalar) ega.
Pardali texnologiyada element parametrlarining ruxsat etilgan tarqoqligi 1÷2 % dan oshmaydi. Passiv elementlar parametrlari va ularning barqarorligi hal qiluvchi ahamiyat kasb etganda bu juda muhim bo‘ladi. SHu sababdan pardali ISlar ba’zi filtrlar, faza o‘zgarishiga sezgir va tanlovchi sxemalar, generatorlar va boshqalar tayyorlashda ishlatiladi.
Gibrid IMS (yoki GIS) deb umumiy dielektrik asosda joylashgan pardali passiv va diskret aktiv elementlar kombinatsiyasidan iborat mikrosxemaga aytiladi. Diskret komponentlar osma deyiladi. Gibrid IMSlar uchun aktiv elementlar qobiqsiz yoki jajji metall qobiqlarda tayyorlanadi.
GISlarning asosiy afzalliklari: ishlab chiqishning nisbatan kichik davrida analog va raqamli mikrosxemalarning keng sinfini yaratish imkoniyatidan, keng nomenklaturali passiv elementlar hosil qilish imkoniyatidan (MDYA – asboblar, diodli va tranzistorli matritsalar) va ishlab chiqarilayotgan mikrosxemalarda yaroqlilar foizining ko‘pligidan iborat. GISlar aloqa apparatlarining qabul qilish – uzatish tizimlarida, yuqori chastotali kuchaytirgichlarda, O‘YUCH qurilmalarda va boshqalarda qo‘llaniladi.
Ishlatilgan tranzistor turiga muvofiq yarimo‘tkazgich integral mikrosxemalar bipolyar va MDYA IMSlarga ajratiladi. Hozirgi kunda r – n o‘tish bilan boshqariladigan MTlar asosida yaratilgan IMSlar katta ahamiyat kasb etmoqda. Ushbu sinfga arsenid galliy asosida, zatvori SHottki diodi ko‘rinishida bo‘lgan MTlar kiradi. So‘nggi paytda tarkibida ham bipolyar, ham maydoniy tranzistorlar ishlatilgan IMSlar ham tayyorlanmoqda.
IMSning funksional murakkabligi uning tarkibidagi element va komponentlar sonini ko‘rsatuvchi integratsiya darajasi bilan ifodalanadi. Integratsiya koeffitsienti son jihatdan K=lgN tenglik bilan aniqlanadi, bu erda N – sxema elementlari va komponentalari soni (16.1 – jadval).
16.1 – jadval