D. R. Djurayev, A. A. Turayev, sh sh. Fayziyev, B. A. Hikmatov

Epitaksiya usuli.
Yunoncha “epi” - “ustiga", “taksis”-tartibli o’rnatish 
(taxlash) demakdir. Epitaksiya hodisasi monokristall taglik ustida monokristall 
modda qatlamini ma’lum kristallograflk yo’nalishda o’stirish jarayonidir. 
Epitaksiya jarayonining avtoepitaksiya (gomoepitaksiya), geteroepitaksiya, 
xemoepitaksiya, reoepitaksiya deb ataladigan turlari bor.
Avtoepitaksiya taglik va o’stiriladigan qatlam aynan bir moddadan iborat 
holdagi jarayondir. 
Geteroepitaksiya taglik va o’stiriladigan qatlam turli moddalardan iborat 
holdagi jarayondir. Bu ikki jarayonda taglik va o’stiriladigan qatlam moddalari 
kimyoviy ta’sirlashmaydi. 
Ammo, xemoepitaksiyada yangi kristall fazasi qatlami taglikning unga kelib 
tushayotgan modda bilan kimyoviy o’zaro ta’siri evaziga hosil bo’ladi. 
Reoepitaksiya jarayonida taglikning tuzilishi o’sadigan kristall fazasi 
tuzilishidan farq qiladi. 
Agar o’tqizilayotgan modda taglikka bevosita yetib boradigan bo’lsa, buni 
to’g’ri jarayonlar deyiladi. Aks holda noto’g’ri jarayon amalda bo’ladi. 
O’tqaziladigan moddaning dastlabki agregat (tub) holati bo’yicha epitaksial 
jarayonlar 4 turga ajratiladi. 
Gaz-transport (bug’ fazali) epitaksiya holida o’tqaziladigan modda dastlab 
gaz (bug’) holatida bo’ladi va shu holatda u taglikka etib boradi. Masalan, kremniy 
taglik joylashgan sohaga silan 
ni bug’ holida vodorod gazi olib keladi. Shu 
sohada silan parchalanadi va undan Si ajralib, taglikka o’tiradi. 
Suyuq fazadan epitaksiya qilish holida o’tqazilayotgan modda dastlab suyuq 
holatda bo’ladi. 

---

168 
Bug’-suyuqlik-kristall 
(taglik) 
tizimida 
epitaksiya 
qilish 
holida 
o’tqaziladigan modda o’zining dastlabki bug’ (gaz) holatidan oraliqdagi suyuq 
holatning yupqa pardasi orqali o’tib, so’ng taglikka o’tiradi. 
Yana qattiq faudan epitaksiya usuli ham mavjud. Masalan, monokristall 
sirtida II tur fazaviy o’tish hisobiga shishasimon modda kristallanishi mumkin. 
Epitaksiya usulida bir vaqtda kirishmalar kiritib borilishi mumkin. 
Yarimo’tkazgichni legirlashda ionlar kiritish va diffuziya usullarini birgalikda 
qo’llash mumkin. Bu radiatsion rag’batlantirilgan diffuziya hodisasi kelib 
chiqishiga olib keladi.