Fan va innovatsiyalar vazirligi guliston davlat universiteti

Kalit so‘zlar:
: Qattiq jismlar, metallar, 
atomlar, molekulalar, vakuum, ionlar, 
ionli bombardirovka, kirib borish, miqdor, sirt, sirtga yaqin soxalar, kristall panjara, 
fizikaviy, ximiyaviy, to‘qnashish, kaskad, relaksatsiya, termik buq’latish, katod 
emirilish, plenka, taglik, plenka-taglik sistemasi, ko‘p komponentali, energiya, 
oqim, ionlar toki zichligi, ionlar tipi, ionlar dozasi, aralashish, energiya almashinuvi, 
qattiq qotishma, struktura, kontsentratsiya, taqsimot, strukturaviy buzilishlar, uzel, 
defekt, radiatsion-stimullashgan diffuziya, rekombinatsiya,
 
vakansiya, migratsiya, 
dislokatsiya, mexanikaviy kuchlanish, temperatura, kaskad vaqti, mikroqattiqlik, 
adgeziya, elektro‘tkazuvchanlik, korroziya, issiqlik o‘tkazuvchanlik. 
Abstract: 
Currently, various methods are used to study the processes 
occurring on the surface of solids, in particular metals, and in areas close to the 
surface. In the field of physics, one such method is to grow a film or coating of 
another metallic material by simultaneously bombarding the surface of a metallic 
material with gas ions. In films or coatings grown by this method, as well as in 
the near-surface areas and the base material, the interaction of gas ions, atoms of 
the film-base material occurs and a carbide system is formed. This suggests that 
the formation of new phases and chemical compounds occurs in the metal-film-
base system. It differs in system parameters, film parameters or base material. The 
study of changes occurring in the metal film-base system, along with the methods of 
spectrometry and spectroscopy, is carried out by the method of thermally stimulated 
desorption (thermodesorption), i.e. thermal heating of the metal film-base system to 
obtain decomposition spectra from them depending on the heating temperature of 
impurities. In this paper, the processes of the release of impurities from films and 
coatings of silvery material grown on tantalum, molybdenum and tungsten bases as 
a result of thermal heating bombarded with argon gas ions are studied.