F. M. Şİrzadov tribotexniKİ avadanliq və vasiTƏLƏR


Şəkil 17.9. Magnetron-tarqet tozlandırma üsulunun iş



Yüklə 10,08 Mb.
Pdf görüntüsü
səhifə126/135
tarix30.08.2023
ölçüsü10,08 Mb.
#141038
növüDərs
1   ...   122   123   124   125   126   127   128   129   ...   135
Tribotexniki avadanliqlar ve vasiteler

Şəkil 17.9. Magnetron-tarqet tozlandırma üsulunun iş 
prinsipi. 
YT 
gərginlik 
Vakuum 
kamerası 
Yuxarı 
elektrod 
Aşağı 
elektrod 
Detal- 
Substrat 
Plazma 
Tarqet 
Tozlanan 
atom 
Qaz 
Plazma ion 


285 
Oymaq şəkilli katodun boşalması hesabına səthə 
ion çökdürmə prosesi oymaq şəkilli katoddan qövsü 
boşalma hesabına elektron şüasının alınması (elektron 
cərəyanı 150-200 A, sürətləndirmə gərginliyi 60-95 V) 
hesabına baş verir. Burada ionlaşma dərəcəsi 40% 
olub, közərmə katodu tətbiq olunmadığından elektron 
topu yüksək təzyiqdə tətbiq oluna bilər 
Şəkil 17.10. Oymaq şəkilli katodun boşalması hesabına 
səthə ion çökdürmə üsulunun iş prinsipi. 
Vakuumda kamera divarları (anod) və detal (katod) 
arasında elektrik qövsünün yandırılması hesabına 
səthə ionla örtük çökdürmə (qövs- üsulları) 
qurğusunun ümumi görünüşü növbəti şəkildə təsvir 
Oymaq 
şəkilli 
katodun 
boşalması 
Arqon 
Detal 
saxlayıcının 
soyudulnması 
Qaz 
Elektron 
şüası 
Su ilə soyudulan 
mis tarqet 
Nasos 


286 
olunmuşdur. İonlaşma detala tətbiq nöqtəsində baş 
verir və ionlaşma dərəcəsi 90%- ə qədər artır. 
 
Şəkil 17.11. Elektroişıq qövs buxarlandırıcının köməyi ilə 
səthə ionla örtük çökdürmə qurğusunun ümumi görünüşü. 


287 
18. Birl
əşdirmə və örtükçəkmə 
əməliyyatlarının mexanikləşdirilməsi texnikası 
Qaynaq prosesinin mexanikləşdirilməsi zamanı
yandırıcı başlıqla detal arasında nisbi hərəkəti 
yönəltmək, örtük materialını və köməkçi vasitələri 
nəql etmək, detalları mövqeləşdirmək və ya 
əməliyyatlar zamanı tərpənməz saxlamaq və yandırıcı 
başlığı örtük sahəsində hətəkət etdirmək üçün 
köməkçi vasitələr və tərtibatlar istifadə olunur.
Qaynaq əməliyyatlarında əridici mənbənin hərəkəti 
ya yandırıcı başlığın, ya da detalın hərəkəti ilə təmin 
olunur.
Mənbənin əritmə sahəsi üzrə hərəkəti üçün sadə 
üsul konsol üzərində arabacıqdır (şək. 18.1.). Bu halda 
yandırıcı başlıq arabacıq üzərində bərkidilir. Arabacıq 
ya birbaşa detal, ya da rels üzərində hərəkət edir.

Yüklə 10,08 Mb.

Dostları ilə paylaş:
1   ...   122   123   124   125   126   127   128   129   ...   135




Verilənlər bazası müəlliflik hüququ ilə müdafiə olunur ©azkurs.org 2024
rəhbərliyinə müraciət

gir | qeydiyyatdan keç
    Ana səhifə


yükləyin