5. Nanomaterialların alınması texnologiyaları. «Yuxarı-
dan-aşağıya» və «aşağıdan-yuxarıya» konsepsiyaları. Litoqrafiya
və epitaksiya üsulları. Litoqrafiya üsulunun əsas mərhələləri.
Litoqrafiya üsullarının növləri: optik, elektron-şüa, ion-şüa və çap
litoqrafiya üsulları. İşıqlanma sxeminə görə fərqlənən litoqrafiya
üsulları: kontaktlı, kontaktsız və proyeksiyalanmış litoqrafiya
üsulları.
Epitaksiya üsulu və onun əsasında duran fiziki proses. Mole-
kulyar-şüa epitaksiya üsulu və onun buxar selinin sürətindən ası-
lılığı. Öz-özünə qablanma və ya yığılma. Sinergetika və onun əsas
ideyası.
