O’zbekiston milliy universiteti

Amaliy nanotexnologiyalar laboratoriyasi
“Amaliy nanotexnologiya” laboratoriyasi materialshunoslik, yarimo‘tkazgichli materiallarning yangi modifikatsiyalari texnologiyasi va fizikasi, o‘ta sof nanomateriallarni sintez qilish texnologiyalarini ishlab chiqish va takomillashtirish, ular asosida turli qurilmalar ishlab chiqarish, nanomateriallarning fizik-kimyoviy xususiyatlarini o‘rganish va amaliy yo‘nalishlarga ixtisoslashgan. ilovalar. Laboratoriya ushbu fan sohasida ko‘p yillik tajriba va yutuqlarga, jumladan, O‘zbekiston va boshqa bir qator mamlakatlarda patentlar bilan himoyalangan o‘nlab yangi texnik yechimlarga ega. Laboratoriya jamoasi yosh mutaxassislar, tajribali xodimlardan iborat bo‘lib, magistratura va bakalavriat talabalarini o‘z ishiga faol jalb etadi.


Laboratoriyaning ilmiy yo'nalishlari

• 
  Yangi plazma texnologiyalarini ishlab chiqish
  
• 
  Kremniy va uning turli o'lchamdagi oksidli tuzilmalarida tashish va relaksatsiya jarayonlarini o'rganish
  
• 
  Gözenekli mikro va nano tuzilmalar va ular asosidagi materiallar
  
• 
  Atom qatlamining plazma usullari, plyonkalar va qoplamalarning kimyoviy va fizik cho'ktirilishi. (ALD, PEALD, CVD, PECVD, PVD)
  
• 
  Quyosh va issiqlik energiyasini elektr energiyasiga samarali konvertorlarni yaratish uchun yarimo'tkazgichli materiallarning turli modifikatsiyalarini ishlab chiqish.
  
• 
  Nanokatalizatorlar, nanostrukturalar va nano kukunlarning hosil bo'lishi, tuzilishi, o'lchamlari va ularning sintez jarayonlariga ta'siri.
  
• 
  Oqimli akkumulyatorlar uchun materiallar va bloklarning konstruksiyalarini ishlab chiqish
  
• 
  Metalllarda, yarim o'tkazgichlarda va dielektriklarda, elektr zaryadsizlanish jarayonlariga asoslangan nanomateriallarda elektr zaryadsizlanish jarayonlari
  
• 
  Plazma ta'sirida materiallarning elektrofizik xususiyatlarini o'zgartirish
  

Oxirgi yillarda laboratoriya xodimlari tomonidan muvaffaqiyatli himoya qilingan dissertatsiyalar:
2021 yil B.M.Abduraxmonov. “Kremniyni kamaytirishning elektr yoy jarayonini modernizatsiya qilish va uning asosida elektron qurilmalarni yaratish” mavzusida nomzodlik dissertatsiyasi. (ilmiy rahbar, texnika fanlari doktori, prof. M.Sh. Qurbonov).
2021 yil Sh.K.Kuchkanov. “Gaz fazasi va qisman ionlashgan oqimlardan cho‘ktirish natijasida olingan Si/Si va Si-Ge/Si plyonkali tuzilmalari asosidagi issiqlik energiyasini o‘zgartiruvchilar” mavzusidagi nomzodlik dissertatsiyasi (ilmiy rahbar, texnika fanlari doktori, prof. X.B. Ashurov) .
2019 MMAdilov. “Granullangan kremniyning termoelektrik xossalari” mavzusida nomzodlik dissertatsiyasi (ilmiy rahbar, texnika fanlari doktori, prof. X.B. Ashurov).
2019 yil A. Zaripov. “Dielektriklarni elektroeroziv qayta ishlash jarayonlari” mavzusida nomzodlik dissertatsiyasi (ilmiy rahbar, texnika fanlari doktori, prof. X.B. Ashurov).
2019 yil R.X.Ashurov. “Kremniy va kremniy birikmalarining nanosiz strukturalarining ion-plazma hosil bo‘lishi” mavzusida nomzodlik dissertatsiyasi (ilmiy rahbar, fizika-matematika fanlari doktori, prof. B.E.Umirzaqov).
 Oʻrnatish agregatlarining texnologiyalari va konstruksiyalari Oʻzbekiston Respublikasining 4 ta patenti va 15 ta xorijiy patent (AQSh, Yaponiya, Xitoy, Janubiy Koreya, Rossiya, Tayvan va Yevropa Ittifoqi) bilan himoyalangan.



TEOS (chapda) va polisilikon o'sishi uchun reaktorli monosilan sintezi uchun tajriba zavodlari