D. R. Djurayev, A. A. Turayev, sh sh. Fayziyev, B. A. Hikmatov

Yarimo’tkazgich sirtini tozalash va relyefini yaхshilash.
 
Lazer yordamida 
tozalashda yarimo’tkazgich sirtidagi iflosliklar ketkaziladi, ammo sirtning o’zi 
zararlanmaydi. Ishlov beriladigan sirtga yot atomlar kirmaydi, vakuum sharoiti 
buzilmaydi. Lazer vakuum kamerasidan tashqarida bo’ladi, uning nuri shaffof 
deraza orqali kiritiladi, bunda bir jarayonda bir necha amallar, masalan, tozalash, 
metallni yoki epitaksial pardani vakuumga o’tkazish, tok keltiruvchi yo’lchalar

---

203 
(tasmalar) hosil qilish va h.k. amallar bajariladi. Tozalash uchun nurining diametri 
3,5 mm bo’lgan yoqut (rubin) kristalli lazer ishlatiladi. Kremniy sirtida uglerod va 
kremniy dioksidi pardalarini kuydirib yuborish uchun har birida 2 J/sm
2
bo’lgan 
beshta ketma-ket impulslar energiyasi kifoya bo’ladi. Sirtni 16 ns davomiylikni 
ikki-uch (2 J/sm
2
) impuls bilan nurlantirilsa, sirtning monokristalligi tiklanadi (u 
argon ionlari kirishidan buzilgan) va bir vaqtda argon ionlaridan tozalaydi. Metall 
pardalari sirtini tekislash uchun ularni 1 mks davomida lazer nurlanishi bilan 
qizdirish kifoya. Bu tekislash jarayonini vakuumda, havoda yoki inert gaz muhitida 
o’tkazish mumkin. Kremniyning epitaksial qatlamlari sirtidagi o’tkir chiziqlarni 
bartaraf qilish uchun lazer ishlovdan foydalaniladi, agar kremniyni (0,2-0,8 J/sm
2
) 
energiyali impulslar bilan nurlantirilsa, mazkur nuqsonlar (suyulib) to’la yo’q 
bo’lib ketadi.
Yarimo’tkazgichga kirishmalar kiritish va ularni qayta taqsimlash 
usullari. 
Sirtiy qatlamlardan diffuziyalash usuli.
 
Bu usul sirtiy manbadan
 
diffuziyalash usuliga o’хshaydi, ammo bunda legirlovchi kirishmani lazer
 
nurlanishi qizdiriladi. Sirt qatlami suyuladi va kirishma suyulgan modda ichiga