2-mavzu. Ims tayyorlash texnologiyasi. Ims aktiv va passiv elementlari

Fotolitografiya. Yarimo‘tkazgich plastinadagi metall yoki dielektrik pardalar sirtida ma’lum shakldagi lokal sohalarni hosil qilish jarayoni fotolitografiya deb ataladi. Ushbu sohalar kimyoviy yemirishdan himoyalangan bo‘lishi shart. Fotolitografiya jarayonida ultrabinafsha nur ta’sirida o‘z xususiyatlarini o‘zgartiruvchi, fotorezist deb ataluvchi, maxsus moddalar ishlatiladi.

Fotorezist oksidlangan kremniy plastinasi sirtiga surtiladi va kvars shisha niqob orqali yoritiladi. Niqoblar shaffof va shaffof emas sohalarga ega bo‘lgani uchun fotorezistning ma’lum sohalariga yorug‘lik (ultrabinafsha nur) ta’sir etib, uning xususiyati o‘zgartiriladi. Bunday niqoblar fotoshablonlar deb ataladi. Fotorezist turiga bog‘liq holda uning eruvchanligi ortishi (pozitiv fotorezist) yoki kamayishi (negativ fotorezist) mumkin. Pozitiv fotorezist qatlam yorug‘lik nuri ta’sirida nobarqaror holatga o‘tadi va erituvchi ta’sirida eriydigan, negativ fotorezist esa, aksincha, yorug‘lik ta’sirida erimaydigan bo‘lib qoladi, uning yorug‘lik ta’siridan himoyalangan sohalari eriydi. Shunday qilib, fotorezist qatlamdan fotoshablondagi shaklni takrorlovchi himoyalovchi niqob hosil qilinadi. Fotorezist qatlamda hosil qilingan «darcha»lar orqali oksidlangan yarimo‘tkazgichning himoyalanmagan sohalariga kimyoviy ishlov beriladi (emiriladi).

IMS tayyorlashda fotolitografiya jarayonidan bir necha marta (5÷7 marta) foydalaniladi (negiz qatlamlar, emitterlar, omik kontaktlar hosil qilishda va h.k.). Bunda har gal o‘ziga xos «rasm»li fotoshablonlar ishlatiladi.

Oltita EREga ega IMS hosil qilishda fotolitografiya jarayonining ketma-ketligi 2.1-rasmda ko‘rsatilgan.

2.1-rasm. Fotolitografiya jarayonining ketma-ketligi.