AVTOELEKTRON EMISSIYA
Reja:
Avtoelektron emissiya mexanizmi.
Avtoelektron emissiya yordamida o’rganish metodlari.
Avtoelektron emissiya qo’llanilgan asboblar
Avtoelektron emissiya (AEE) o’tkazgich sirtida tashqi yuqori kuchlanganlikli elektr maydoni (E = 107 V·sm-1) borligida yuzaga keladi.
Bunday sharoitdagi elektronlar emissiyasi qattiq jism elektronlarining sirt-vakuum chegarasidagi potensial to’siqni tunnellanib o’tishi natijasida yuzaga keladi va energiya sarfi bilan amalga oshadigan boshqa tur elektron emissiyalariga nisbatan bunda emissiya energiya sarfisiz amalga oshadi.
Agar elektron tashqi elektr maydonida E joylashgan bo’lsa, unga yana bitta kuch eE ta’sir qiladi. Qandaydir a masofada bu ikkita kuch bir biriga tenglashadi:
Bundan
Kulon tortishuv sohasidan elektronni to’liq ketgazish uchun, unga a masofani bosib o’tish uchun yetarli bo’lgan energiya, hamda uni chesksizlikga siljitish uchun kerak bo’ladigan qandaydir qo’shimcha energiya berish kerak. Shunday qilib elektron quyidagicha energiya olishi kerak:
To’liq energiyaga elektr maydoni qo’shgan ulushi (2) ifoda bilan beriladi. (2)dagi a ning o’rniga (1) ni qo’yamiz. Unda elektr maydoni hisobiga elektron oladigan qo’shimcha energiya
(2)
Bu qo’shimcha energiya chiqish ishini quyidagi kattalikga pasaytiradi
Tashqi maydon potensial to’siqqa ikki yoqlama ta’sir ko’rsatadi: birinchidan uning balandligini pasaytirib, bu bilan chiqish ishini kamaytiradi (Shottki effekti), ikkinchidan to’siq shaklini o’zgartirib uning shaffofligini oshiradi. AEE tok zichligi j o’tkazgich ichidan to’siqqa kelayotgan ne elektronlar oqimi zichligining bir qismi bo’lib, to’siqning shaffofligi D bilan aniqlanadi:
bu yerda α- o’tkazgich sirtiga normal bo’lgan elektron impulsi komponentasi bilan bog’langan energiyasining ulushi; E- sirtdagi elektr maydon kuchlanganligi.
Keltirilgan formuladan, AEE tok zichligi o’tkazgichdagi elektronlar konsentrasiyasiga va ularning energiya bo’yicha taqsimotiga, hamda shaffoflikni belgilaydigan potensial to’siqning balandligi va shakliga bog’liqligi kelib chiqadi.
T= 0 K da, metall sirti oldida elektronni potensial energiyasining o’zgarishi.
Avtoelektron emissiyaning to’yinish toki quyidagicha baholanishi mumkin.
AEE intensivligini va uning energiya spektrini o’lchash orqali metall yoki yarimo’tkazgich sirtining elektron strukturasi aniqlanadi. Sirt diagnostikasi uchun quyidagi metodlar keng rivojlangan:
avtoelektron chiqish ishi metodi;
avtoelektron spektroskopiya;
avtoelektron mikroskopiya.
Avtoelektron chiqish ishi metodida chiqish ishi φ ning qiymati emitter sirtida kuchli elektr maydoni hosil qilinganda, yuzaga keladigan tok orqali aniqlanadi. Fauler-Nordgeym nazariyasiga asosan, Shottki effektini hisobga olgan holda, emission tok zichligi quyidagi formuladan aniqlanadi:
bu yerda-Nordgeymning jadvallashtirilgan elliptik funksiyasi; x=3,62·10-4E1/2/φ.
Tenglamadagi chiqish ishi moddaning yagona doimiysidir. U lg(j/E2) ning 1/E bog’lanishidagi ifoda bilan aniqlanadigan og’ish burchagidan topiladi.
Bu yerda funksiya jadvallashtirilgan.
Amaliyotda o’lchanadigan parametrlar bo’lib, qo’yilgan kuchlanish va kollektordagi tok hisoblanadi. Bu miqdorlar mos ravishda maydon kuchlanganligi bilan U=βE va tok zichligi bilan i=sj bog’langan, bu yerda
β- maydon faktori, s-emitter yuzasi. Real o’lchash lg(i/U2) ning 1/U ga bog’liqlik egriligini beradi va uning og’ishi
ga teng,
chunki β va s, U ga bog’liq emas. Ushbu holda φ ni aniqlash, maydon faktori β ni baholash imkoniga bog’liq bo’ladi.
Avtoelektron mikroskopning prinsipi shundan iboratki, agar ingichka tig’dan emissiyalanayotgan elektronlar oqimi yo’liga fluoressensiyalovchi ekran (anod) o’rnatilsa, tig’ cho’qqisining proyeksiyasi ekranda juda kattalashtirilgan tarzda aks etadi.
Avtoelektron mikroskopning boshqa mikroskoplardan farqi shundaki, unda fokuslovchi linzalar yo’q.
Tig’ sirtidan emissiyalanayotgan elektronlar deyarli radial tarzda tarqaladi, shuning uchun, bunday mikroskop-proyektorlarning kattalashtirishi, tig’dan ekrangacha bo’lgan masofaning tig’ cho’qqisi radiusiga nisbatiga teng.
Aniqlashtirilsa, elektronlar trayektoriyasiga tig’ asosi va u mahkamlangan elektrodlar ham ta’sir qiladi. Shu sababli elektronlar trayektoriyasi to’liq radial emas, ya’ni elektronlar qandaydir qiya parabola bo’yicha harakatlanadi, ekrandagi proyeksiya esa bir oz qisilgan bo’ladi.
Bu holatni hisobga olgan holda, kattalashtirish oddiy formula orqali ifodalanadi:
bu yerda: γ - siqilish koeffisiyenti (1,5
R - anod-katod orasidagi masofa, r - emitter tig’i radiusi.
Tig’ning radiusi mikrometrning o’n yoki yuz ulushi tartibida, R - masofa esa 3-10 sm tartibida bo’lishi mumkinligi sababli, bunday qurilmaning kattalashtirishi juda yuqori va 105 ÷ 106 martagacha yetishi mumkin.
Avtoelektron mikroskopiya.
Avtoelektron mikroskopiya (AEM) toza monokristall emitterning turli qirralaridagi chiqish ishi taqsimotini sifatiy tasvirini olishga va qizdirish, begona atomlarni changlash yoki gazlar adsorbsiyasi va boshqa ta’sirlar natijasida chiqish ishining qiymati o’zgarishini o’rganishga imkon beradi.
Elektron emissiya deganda qattiq jismdan yoki boshqa muhitdan elektronlar chiqarilishi tushuniladi.
Eng katta qiziqish elektronlarning emissiyasidir vakuumga. Elektronlar chiqadigan jismga katod deyiladi. Elektronlar katod yuzasidan o'z-o'zidan chiqib keta olmaydi, chunki bu talab qiladi Ularni katod-vakuum interfeysida ushlab turgan ichki kuchlarga qarshi ishlang. Shunday qilib, katoddan elektronlarni chiqarish uchun, energiya sarflash kerak. Aytgancha bu energiya katod, emissiya jarayonlariga o'tkaziladi. Energiya uzatilganda termal emissiya deb ataladi.
Katod termal tufayli qizdirilganda elektronlar
Panjara tebranishlari; ikkilamchi elektron emissiyasi, bu energiya boshqa zarralar tomonidan uzatilganda
(katodni bombardimon qiluvchi elektronlar yoki ionlar);
fotoelektron emissiyasi, unda elektronlar
yorug'lik kvantlari bilan taqillatiladi va hokazo.
Avtoelektron emissiya1
qattiq jism yuzasidan vakuumga elektron chiqarish hodisasi deyiladi
juda kuchli ta'siri ostida tana yoki boshqa vosita
elektr maydon kuchi F = 107
-108
Vt/sm
Bunday kuchli elektrni yaratish uchun
maydonda o'nlab kuchlanishlarni qo'llash kerak bo'ladi
Million volt. Amalda, agar katodga uchi radiusi mikronning o'ndan yoki yuzdan bir qismi bo'lgan ingichka uchi shakli berilsa, avtoelektron emissiya ancha past kuchlanishlarda qo'zg'atilishi mumkin.
Maydon emissiyasi (AEE) elektron tunnelning noyob kvant mexanik hodisasidir. Kondensatsiyalangan holat (qattiq yoki suyuq) vakuumga. Emissiyasi bo'yicha u o'nlab millionlarda emissiyaning barcha ma'lum turlaridan marta ko'p. Favqulodda yuqori AEE oqim zichligi, shuningdek, yo'qligi emissiya jarayoniga energiya sarflash zarurati istisno imkoniyatlarni oldindan belgilab beradi
ushbu hodisadan amaliy foydalanish. Endi avtoelektron emissiya aslida tubdan rivojlanishi bilan bog'liq holda qayta tug'ilishni boshdan kechirmoqda mikro- va nanoelektronikaning yangi sohasi - vakuumli mikroelektronika. Nuqtali maydon emissiya katodlari o'ta yuqori aniqlikdagi elektron mikroskopiyada qo'llaniladi,
Auger spektroskopiyasi, atom rezolyutsiyasi elektron golografiyasi va ultra nozik diagnostikaning boshqa sohalari yuzalar.
Maydon emissiyasi, shuningdek, yuqori quvvatli va super quvvatli elektron ishlab chiqarishni boshlaydi va qo'llab-quvvatlaydi portlovchi elektron emissiyasi bo'lgan nurlar (minglab va millionlab amperlar), zamonaviy texnologiyalarning asosi hisoblanadi. yuqori oqimli emissiya elektronikasi [497...500].
Ushbu o'quv qo'llanma maydon emissiyasi fenomeniga, uning qonunlariga,
dala emissiya jarayoni imkoniyatlarini cheklash va uni vakuumli mikroelektronika muammolariga qo'llash. Dala emissiyasini tadqiq qilish uzoq tarixga ega bo'lib, u sharhlar va monografiyalar mavzusidir. Ular orasida V. P. Deyk va V. V. Dolanning 1956 yildagi sharhi, monografiya. M. I. Elinson va G. F. Vasilev, 1958, R. Gomer kitobi, 1961, R. Fisher va X. Neumann sharhi (R. Fisher va X. Neumann), 1966 [149, 150], A. G. J. van Oostrum monografiyasi, 1966 ,
L. V. Swanson va A. E. Bell, 1973 [19], akkor bo'lmagan katodlar tomonidan tahrirlangan M. I. Elinson, A. Modinos kitobi, 1984, vakuum mikroelektronika bo'yicha maxsus sharh I. Brodi va C. A. Spindt, 1992, I. Brodi va P. R. Shvobel tomonidan ko'rib chiqilgan P. R. Chvoebel), 1994 [403], G. N. Fursey taqrizi, 1996va uning monografiyasi, 2003 [471] va boshqalar. Hozirgi vaqtda AEE jarayoni bo'yicha yangi ma'lumotlar va tadqiqotning yangi yo'nalishlari paydo bo'ldi. Bundan tashqari, ichida vakuumli mikroelektronika muammolari bilan bog'liq holda, avtoelektronika jarayonining bir qator xususiyatlariga alohida qiziqish paydo bo'ldi. muayyan sharoitlarda emissiyalar: mikroto'lqinli maydonlarda, chegaraviy oqim zichligida, dala emissiya katodlarining ishlashi paytida juda qisqa puls davomiyligi sharoitida. Barqarorlik muammosining yangi jihatlari va dala emissiya katodlari (AEC) sirtining shakllanishi. Hozirgacha, masalalar nanometr o'lchamdagi ob'ektlardan AEE bilan bog'langan (zamonaviyda bunday o'lchamdagi emitentlar qo'llaniladi. Vakuumli mikroelektronika). Yarimo'tkazgichlardan dala emissiyasiga qiziqish yangilandi
Ammo bugungi kunda bu ma'lumotlarning barchasi adabiyotda yo'q yoki etarli darajada taqdim etilmagan. Hozirgi zamonning vazifasi qo'llanma bu bo'shliqni to'ldirishdir. Dala emitentlarining xususiyatlari to'g'risida ko'p ma'lumotlar dala emissiya mikroskopida olib boriladi va to'planadi hozirgi kunga qadar dala emissiya tasvirlaridan olingan ma'lumotlar. Dala emissiya naqshlari emissiya yuzasining submikrogeometriyasidagi o'zgarishlar, ish funktsiyasi va to'g'ridan-to'g'ri ma'lumotlarni olish imkonini beradi. chiqaradigan sirtning bir qator xarakteristikalari. Dala emissiya mikroskopiyasi ham noyoblikni ochib beradi o'ta kuchli elektr maydonlarida sirtdagi jarayonlarni (in situ) o'rganish imkoniyati ~ 108 V/sm Ushbu qo'llanmada men metallardan yarimo'tkazgichlargacha bo'lgan turli xil materiallarda olingan AE tasvirlarining keng doirasini taqdim etishga harakat qildim. Keng doiradagi turli ob'ektlar uchun dala emissiyasining asl tasvirlari bunday hajmda birinchi marta nashr etilgan. Qo'llanmada AE jarayonining cheklash imkoniyatlariga alohida e'tibor beriladi (3-bob). Mikroto'lqinli maydonlardagi AEE xususiyatlari tahlil qilinadi (4-bob). Yarimo'tkazgichlardan AEE batafsil ko'rib chiqiladi (5-bob). AEE statistikasi to'g'risidagi ma'lumotlar keltirilgan (6-bob). AEE nazariyasidagi yangi g'oyalarni tahlil qilish (1, 3-boblar) va asosiy, seleksiya tajribalariga katta e'tibor beriladi, bu turli xil sharoitlarda hodisaning mexanizmini aniqlashtirishga imkon beradi (3-bob).
AEE va uning asosida turli xil vakuumli mikroelektronika qurilmalarini yaratish imkoniyatlari o'rtasidagi bog'liqlik kuzatilgan. Muallif past kuchlanishli displeylarning yangi sinfi (8-bob) va elektron prob tizimlarida nuqta AE katodlaridan foydalanish (7-bob) masalasini batafsil yoritishga harakat qildi. Vakuumli mikroelektronikada olmosga o'xshash plyonkalar, fullerenlar va nanotubalar va grafenlar kabi juda past emissiya chegarasiga ega bo'lgan uglerod klasterlariga asoslangan o'z-o'zini tashkil etuvchi mikrotuzilmalardan foydalanish imkoniyati alohida ko'rib chiqiladi (8.6-bo'lim).
Ushbu kitobni taqdim etgan ko'plab hamkasblar, hamkasblar va do'stlar yordamisiz amalga oshirib bo'lmaydi.
tayyorlashda bebaho yordam. Avvalo, vakuumli mikroelektronika sohasidagi taniqli mutaxassislar Genri Grey va Charlz Spindtga ko'plab muhokamalar, maslahatlar va nashrlari bo'yicha taqdim etgan materiallar uchun chuqur minnatdorchiligimni bildirmoqchiman. Mening faoliyatimga e’tibor qaratgani va har tomonlama qo‘llab-quvvatlagani uchun Frensis Sharbonyega chuqur minnatdorchilik bildiraman.
Men prof. Ayvor Brodi, doktor Pol Shvobelga tahrirga hissa qo‘shgani uchun minnatdorman. Oldingi kitobim "Vakuum mikroelektronikada maydon emissiyasi" [471], ba'zi yarim o'tkazgichlarning maydon ionlari tasvirlarining birinchi darajali fotosuratlarini taqdim etgani uchun prof. Givargizovga va prof.
Yorqin avtoulov tasvirlari uchun Wizart (Doktor Thierry Visart). Kitobni o‘qib chiqqani va qimmatli mulohazalari uchun Rossiya Tabiiy fanlar akademiyasining akademigi professor Sinitsinga, shuningdek, kitob bo‘yicha foydali muhokamalar uchun D.V.Glazanovga va texnik yordami uchun V.A.Ojinskiyga samimiy minnatdorchilik bildiraman. Va nihoyat, rafiqam Lyudmilaga chin yurakdan minnatdorchilik bildiraman.
Elektron emissiya deganda qattiq yoki boshqa muhitdan elektronlar (odatda vakuumga) chiqarilishi tushuniladi. Elektronlar chiqadigan jismga katod deyiladi. Elektronlar katod yuzasidan o'z-o'zidan chiqib keta olmaydi, chunki buning uchun ularni katod-vakuum interfeysida ushlab turadigan ichki kuchlarga qarshi ish qilish kerak. Ushbu energiyani katodga o'tkazish usuliga ko'ra emissiya jarayonlari deyiladi:
termal emissiya, katodning qizishi tufayli energiya elektronlarga o'tkazilganda;
ikkilamchi elektron emissiyasi, bu energiya boshqa zarralar (katodni bombardimon qiluvchi elektronlar yoki ionlar) tomonidan uzatilganda;
fotoelektron emissiyasi, bunda elektronlar yorug'lik kvantlari ta'sirida ishdan chiqadi va hokazo.
Avtoelektron emissiya (G'arb terminologiyasida - maydon emissiyasi) - E \u003d 107-108 V / sm quvvatga ega bo'lgan juda kuchli elektr maydoni ta'sirida qattiq jism yuzasidan vakuumga elektron chiqarish hodisasi. Bunday kuchli elektr maydonlarini yaratish uchun oddiy makroskopik elektrodlarga o'n millionlab voltsli kuchlanishlarni qo'llash kerak bo'ladi. Amalda, avtoelektron emissiya, agar katodga uchi radiusi mikronning o'ndan yoki yuzdan bir qismi bo'lgan ingichka uchi shakli berilsa, ancha past kuchlanishlarda qo'zg'atilishi mumkin. Endi shartlar mikroskopik katod-anod masofalarida mikron birliklari yoki fraktsiyalariga teng bo'lganda va juda kichik katod egrilik radiusi r = 20-50 A bo'lganda, maydon emissiyasini nisbatan past kuchlanishlarda yuzlab yoki hatto o'nlab kuchlanishlarda olish mumkin bo'lganda amalga oshiriladi. volt. Turli emissiya hodisalari orasida maydon emissiyasi alohida o'rin tutadi, chunki bu sof kvant effekti bo'lib, elektronlarning chiqishi issiqlik, foto va ikkilamchi emissiyadan farqli o'laroq, emissiya aktining o'zi uchun energiya sarfini talab qilmaydi.
1897 yilda dala emissiyasi fenomenining kashf etilishi ajoyib eksperimentator Robert Vud nomi bilan bog'liq. Vakuumli razryadni o'rganayotganda Vud kuchli elektr maydonida elektronlar chiqarilishini payqadi va bu hodisani tasvirlab berdi.
1929 yilda R.E. Milliken va R.V. Loritsen j maydon emissiya toki zichligi logarifmining teskari elektr maydon kuchi E ga chiziqli bog'liqligini aniqladi:
log j=A- B/E
Nihoyat, 1928-29 yillarda. R.Fowler va L. Nordxaym nazariyasi paydo bo'ldi, bu AEni tunnel effekti asosida tushuntirdi.
Dala emissiyasi mexanizmi
Katod ichidagi elektronni ushlab turgan kuchlarga qarshi ish odatda energiya diagrammalari shaklida ifodalanadi (rasmga qarang). Cheklovchi kuchlarga qarshi ish bajarish elektronning ushbu kuchlar tomonidan yaratilgan potentsial to'siqni engib o'tishga muhtojligiga tengdir. Elektronni katod yuzasida ushlab turadigan asosiy kuchlar elektron chiqarilganda katodning musbat polarizatsiyasi bilan bog'liq oyna tasviri kuchlaridir. Musbat induktsiyalangan zaryad va elektron o'rtasidagi o'zaro ta'sir Kulon qonuniga muvofiq amalga oshiriladi va potentsial shaklga ega.
U=-e2/4x
e - elektron zaryadi, x - chiqarilgan elektrondan sirtgacha bo'lgan masofa. Minus belgisi, nol energiya cheksizlikdagi erkin elektronning energiyasi sifatida qabul qilinganligi bilan bog'liq.
Katod-vakuum chegarasida potentsial to'siqni yengib o'tish uchun sarflanishi kerak bo'lgan ish ish funktsiyasi A=e deyiladi, bu erda - ish funktsiyasi potensiali. Elektron katod yuzasidan chiqib ketishi uchun uning energiyasi potentsial to'siq balandligidan katta bo'lishi kerak (klassik fizikaga ko'ra). Biroq, elektr maydonining qo'llanilishi vaziyatni tubdan, sifat jihatidan o'zgartiradi, chunki potentsialning shakli o'zgaradi. Darhaqiqat, E elektr maydonida umumiy potentsial shaklni oladi:
U \u003d - e2 / 4x - e E x
To'siqning kattaligi pasayadi, eng muhimi, to'siqning oxirgi kengligi paydo bo'ladi. Bundan tashqari, maydon qanchalik kuchli bo'lsa, to'siq shunchalik torayadi.
To'siqning mavjudligi tunnel effektining mavjudligini bildiradi, bu shaffoflik D bilan tavsiflanadi. Shaffoflik D metall ichidan to'siq ustiga tushgan elektronning u orqali vakuumga o'tish ehtimolini belgilaydi. Kvant mexanik hisoblari shuni ko'rsatadiki, ixtiyoriy to'siqning shaffofligi ifodasi quyidagicha yozilishi mumkin:
h=6,62 1034 J s - Plank doimiysi, m - tunnel zarrachasining massasi, E - to'siqga tushgan elektronning energiyasi.
Bu ifodadan kelib chiqadiki, zarrachaning potentsial to'siqdan o'tish ehtimoli to'siqning kengligiga va uning tunnel elektron E energiya darajasidan oshib ketishiga, ya'ni U-E ga yoki pirovard natijada balandlikka bog'liq. ish funktsiyasi bilan belgilanadigan to'siqning. To'siqning kengligi, rasmdan ko'rinib turibdiki, elektr maydonining kuchiga bog'liq.
Agar biz metall ichidan potentsial to'siqqa qancha elektron tushishini bilsak va buni qattiq jism nazariyasidan hisoblash mumkin bo'lsa va biz shaffoflikni bilsak, u holda vakuum va elektronlarning umumiy emissiya oqimi j ni hisoblashimiz mumkin. dala emissiyasi formulasini oling.
Yuqorida aytib o'tilganidek, bunday kvant mexanik hisob-kitoblarni R. H. Fauler va L.V. Nordxaym (L. V. Nordxaym). Emissiya oqimi zichligining elektr toki kuchiga bog'liqligi quyidagicha ifodalanadi:
Bu yerda t(y) funksiyalar jadvalda keltirilgan [1,2]. Pereksponensial omilda joylashgan t(y) funksiya e ga yaqin va argumentning o'zgarishi bilan bir oz o'zgaradi. Funktsiya Nordxaym funktsiyasi deb ataladi va potentsial to'siqni pasaytirishni hisobga oladi.
Nazariyani qurishda Fauler va Nordxaym quyidagi jismoniy binolardan kelib chiqdilar.
1. Muammo bir o'lchovli (boshqacha aytganda, metall-vakuum interfeysi ideal tekislik hisoblanadi) sifatida qo'yilgan, U(X) potentsial faqat x-koordinataga bog'liq. Shunga ko'ra, tashqi maydon bir hil bo'lib chiqadi.
2. Metall ichida U(X)= const= - U0, metalldan tashqarida butun potentsial chegara faqat U=- e2/4x qutblanish kuchlarining ta’siridan kelib chiqadi.
3. To‘siqning shaffofligi Venzel, Kramer va Brilyuen usulida hisoblanadi va quyidagicha ifodalanadi.
x1 va x2 burilish nuqtalari, bu erda U-E=0.
4. Metall model sifatida Fermi-Dirak statistikasiga bo'ysunuvchi degenerativ gaz hosil qiluvchi potensial qutidagi erkin elektronlarning Sommerfeld modeli tanlangan.
5. Nazariya T=0 uchun tuzilgan.
Fauler-Nordxaym nazariyasi eksperimental faktlarni mukammal tushuntirdi. Emissiya oqimining maydonga eksponensial bog'liqligini to'liq tasdiqladi. Va Fowler-Nordheim koordinatalari ( lg (J) dan 1/E ) da CVC qiyaligi 2/3 bo'lgan to'g'ri chiziqqa o'xshaydi. Nazariya, shuningdek, har qanday boshqa yo'l bilan olinishi mumkin bo'lgan oqim zichligidan millionlab marta yuqori bo'lgan gigant oqim zichliklarini olish imkoniyatini ham nazarda tutadi - issiqlik emissiyasi, foto- va hokazo. Eksponensial bog'liqlik tufayli bundan kelib chiqadi. chiqarilgan elektronlarning energiya tarqalishi termal emissiya holatiga qaraganda bir necha marta torroq bo'lib chiqadi. Nazariyadan kelib chiqadiki, AE mutlaq nolga yaqin haroratgacha past haroratlarda ham kuzatilishi kerak. Ushbu AE xususiyatlarining barchasi eksperimental ravishda tasdiqlangan. Jarayon deyarli inertial bo'lmagan.
Dostları ilə paylaş: |