9. Skanedici elektron mikroskopunun (SEM) iş prinsipi. Elektron şüasının maddə ilə qarşılıqlı təsirinin ümumi mənzərəsi.
SEM-in prinsipal sxemi və əsas funksional qurğuları. SEM-də
xəyalların əldə edilməsinin fiziki əsasları və səciyyəvi xüsusiy-
yətləri. SEM-in ayırdetmə qabiliyyəti və xəyalın kefiyyətliliyini
təmin edən parametrlərin seçilməsi. SEM dedektorları, səpilən və
ikinci elektronların qeyd edilməsi. Rentgenspektral analiz. Rent-
gen spektrometrinin prinsipal quruluşu və işləmə mexanizmi.
Kvantların enerjilərinə və dalğa uzunluqlarına görə seçilməsi.
