Fizikaning hozirgi zamon ta’limidagi o’rni


МЕЖМОЛЕКУЛЯРНЫE ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ В МОЛЕКУЛАХ КСИЛОЛА И ЕГО



Yüklə 11,09 Mb.
Pdf görüntüsü
səhifə37/63
tarix18.05.2020
ölçüsü11,09 Mb.
#31289
1   ...   33   34   35   36   37   38   39   40   ...   63
Конференция - физика-PDFга


МЕЖМОЛЕКУЛЯРНЫE ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ В МОЛЕКУЛАХ КСИЛОЛА И ЕГО 

РАСТВОРАХ. СПЕКТРЫ КОМБИНАЦИОННОГО РАССЕЯНИЯ И ab initio РАСЧЕТЫ 

 

Х.Хушвактов, Г.Шарифов, А.Абсанов 

Самаркандский госуниверситет, Университетский бульвар 15,  

140104 Самарканд, Узбекистан. e-mail: 

jumabaev2@rambler.ru

  

 



Исследование  спектров  комбинационного  рассеяния  (КР)  показывает,  что  образование 

молекулярных 

комплексов 

приводит 

к 

изменению 



спектральных 

параметров 

взаимодействующих 

молекул. 



Изучено 

2-Расм. Диметилсульфоксид ва сув 

молекулалари димери 

а)                                                                       b) 

Рис. 2. Спектры комбинационного рассеяния 995.2 см

-1

 м-ксилола в растворах ССl



4

: a) 


(1) чистый м-ксилол, 2) 0.5-0.5 м.д., 3) 0.1-0.9 м.д., 4) чистый ССl

4

) b) (1) чистый м-



ксилол, 2) 0.5-0.5 м.д., 3) 0.1-0.9 м.д.) 

Рис. 1. Спектры КР (995,2 см

-1

) ксилола: 1) 



параллельная и 2) перпендикулярная 

составляющие соответственно; 3) и 4) 

ксилол+нитрометан (0,5-0,5 м.д.). 


“Fizikaning hozirgi zamon ta’limidagi o’rni”.  Samarqand 2019-yil 13-14 dekabr.

 

249 


 

растворы ксилола в протонных растворителях, определено, что при образовании комплексов 

изменяются  агрегатное  состояние  и  протоноакцепторные  свойства.  В  нашей  работе  [1] 

приведены  результаты  исследования  межмолекулярных  взаимодействий  (ММВ)  в  растворах 

мета-ксилола  и  его  растворов  в  смеси  бинарных  растворителей  ксилол-нитрометан,  ксилол-

CCl

4

.  Проведенные  исследования  показали,  что  в  чистом  ксилоле  параллельная  и 



перпендикулярная составляющие полосы 995.2 см

-1

 незначительно сдвинуто друг относительно 



друга  на  0.9  см

-1

  (рис.1).  Линия  с  частотой  995.2  см



-1

  асимметрична  и  смещена  в  сторону 

высоких  частот,  полуширина  этой  линии  1.8  см

-1

.  Раствора  ксилола  с  нитрометаном  при 



концентрации  равной  0.5  м.д.  (рис.  1),  максимум  спектра  по  отношению  к  чистому  ксилолу 

больше  в  1.5  раза.  Полуширина  этой  полосы  равна  2.5  см

-1

.  Частичным  изменением 



интерактивности  спектральных  линий  агрегатов  различных  молекул,  что  и  приводит  к 

смещению  максимума  основной  линии  спектра.  Для  чистого  ксилола  и  его  раствора  с 

нитрометаном  состоится  линии,  относящиеся  к  линиям  мономера  и  димера  (линии  низких 

частот  соответствуют  мономерной  молекул  ксилола,  линии  высоких  частот  соответствуют 

димерам  различных  молекул).  В  растворах  в  ССl

4

  наблюдается  другая  картина,  в  рисунке  2 



приведено КР спектре в растворах ССl

4

 в различных концентрациях.  



 

 

 



 

 

 



 

 

 



 

 

 



 

 

При малых концентрациях ксилола в растворе наблюдается сильное уменьшенные полосе 995.2 



см

-1

. Это означает при разбавление ксилола в ССl



4

 уменьшается число агрегатов состоящих из 

нескольких молекул (на основание неэмпирических расчетов). Изучение растворов ксилола в 

протонных  растворителях  показало,  что  образованные  комплексы  изменяют  ассоциативное 

состояние  ксилола  и  его  протоноакцепторные  свойства.  Предположение  о  подобном  типе 

связи,  такой  как  тип  C-H





,  было  стимулировано  экспериментальными  и  теоретическими 



доказательствами  из  Т-образной  равновесной  структуры  димера  бензола  [2].  Для 

интерпретации  полученных  экспериментальных  результатов  проведен  ab  initio  расчеты  в 

приближении RHF и B3LYP с набором гауссовских функций 6-31G++(d,p). Были определены 

ориентация  молекул,  связь  длины  и  частоты  колебаний  и  энергия  образования  димера. 

Выявлено, что для мономеров ксилола дипольный момент имеет значение 0.45, для димеров 

ксилола  дипольный  момент  равен  0.70  D.  Результат  расчеты  показывает  (рис.3),  при 

образование  димера  происходит  перераспределение  интенсивности  спектров  КР 

изолированных молекул ксилола.  

Из полученных результатов следует, молекулы ксилола взаимодействуя между собой за 

счет  электростатических  сил,  образуют  мономерные  и  димерные  агрегаты.  Литературные 

данные  и  наши  исследовании  показывают,  что  в  органические  соединение  с  бензольными 

кольцами  не  образуют  стандартная  Н-связь  с  бензольной  π-системой,  которая 

характеризовалась  бы  красным  смещением  частоты  растягивающих  колебаний  донора 

протонов  C-H.  Напротив,  значительный  синий  сдвиг  был  обнаружен  в  этих  C-H 



Рис.3. Расчетные спектры м-ксилола для а) мономер, б) димера 

“Fizikaning hozirgi zamon ta’limidagi o’rni”.  Samarqand 2019-yil 13-14 dekabr.

 

250 


 

протонодонорных  комплексах.  Новый  тип  связи,  характеризуемый  этим  синим  сдвигом, 

называется анти-Н-связью. 

 

Литература 



1.  Шарифов  Г.,  Амонов  А.,  Шерматов  А.  //  IV  Международная  научно-практическая 

конференция "Глобальная наука и инновации 2019: Средняя Азия". Астана. 2019. С.239-241. 

2.  P.Hobza,  V.Spirko,  H.L.Selzle,  E.W.Schlag  //  J.  Phys.  Chem.  A.  1998.  Vol.102,  No.15, 

PP.2501-2504. 

 

 

ПОЛУЧЕНИЕ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР Cd-Ba-S НА ПОВЕРХНОСТИ CdS 



ИМПЛАНТАЦИЕЙ ИОНАМИ Ba

+

  

 

Ж.Ш.Содикжанов



1

,

 



Б.Е. Умирзаков

1



Институт ионно-плазменных и лазерных технологий имени У.А. Арифова. Академии 

наук Республики Узбекиста.

 100125

 Ташкент, Узбекистан.  



2

Ташкентский государственный технический университет имени Ислама Каримова, 

100095 Ташкент, Узбекистан 

1

E-mail: 



jjsodiqjonov@mail.ru

  

2



E-mail: 

ftmet@rambler.ru

 

 

Известно,  что  перспективным  методом  получения  наноразмерных  структур  на 



поверхности  и  в  приповерхностном  слое  материалов  различной  природы  является  ионная 

имплантация.  Например,  в  работе  имплантацией  ионов  Co

+

  в  Si  получена  двухслойная 



гетероэпитаксиалная структура CoSi

2

/Si/CoSi



2

/Si/, определены ширины запрещенных зон и 

их  зависимость  от  размеров  нанокристаллических  фаз  и  слоев  CoSi

2

.  Однако  такие 



исследования в случае пленок CdS практически не проводились. 

Данная  работа  посвящена  получению  трехкомпонентных  нанокристаллов  и  пленок 

CdBaS на поверхности CdS, имплантацией ионов Ba

в сочетании с отжигом и изучению их 



состава, размеров и электронную структуру. 

Были  использованы  пленки  CdS  n-типа  с  толщиной  ~  1  мкм,  выращенных  на 

поверхность  SnO

–  стекло  термическим  испарением  при  вакууме  10



-4

  Па.  Перед 

имплантацией ионов пленки CdS очищались прогревом в условиях высокого вакуума (P ≤10

-

6



 Па) при Т = 1200 К при вакууме на хуже 10

-6

 Па.  



Для  получения  трехкомпонентных  наноструктур  на  поверхности  CdS  имплантация 

ионов Ba


+

 проводилась с Е



0 

≤ 5 кэВ. На рисунке 1 приведены профили распределения атомов 

Ba

+

 с Е



0

 = 1 кэВ при дозе насыщения (D = D

нас

= 6


10

16



 см

-2

) измеренных до и после прогрева 



при  Т  =  800  К.  Видно,  что  после  ионной  имплантации  концентрация  Ba  на  поверхности 

составляет 

  34  –  36  ат.%.  До  глубины  25  –  30  Å  концентрация  С



Ba

  уменьшается 

незначительно, а в интервале d = 30 – 60 Å резко уменьшается до 12 – 15 ат.%, начиная с d 

≃ 

55 – 60 Å монотонно, почти линейно уменьшается и при d = 120 – 130 Å не превышает 1 – 2 



ат.%.  Анализ  оже-спектров  совместно  со  спектрами  ВИМС  показали,  что  в  ионно-

имплантированном слое содержатся несвязанные атомы Ba, Cd и S, а также соединения типа 

Ba – Cd – S (

 10 – 15 ат.%) и Cd – S, Ba – S. При этом приповерхностные слои полностью 



разупорядочиваются. После прогрева при Т = 800 К в течение 30 – 40 мин на поверхности 

формируется  монокристаллическая,  эпитаксиальная  пленка  с  примерным  составом 

Cd

0.6


Ba

0.4


S с толщиной 40 – 45 Å. Толщина переходного слоя между подложкой и пленкой 

существенно  уменьшается  и  не  превышает  50  –  60  Å.  Можно  полагать,  что  в  процессе 

прогрева  происходит  интенсивное  испарение  Ba  из  ионно-легированных  слоев, 

следовательно,  концентрация  бария  как  на  поверхности,  так  и  в  приповерхностном  слое 

резко уменьшается. 


“Fizikaning hozirgi zamon ta’limidagi o’rni”.  Samarqand 2019-yil 13-14 dekabr.

 

251 


 

Для получения информации о плотности состояния валентных электронов исследуемой 

пленки снимались фотоэлектронные спектры подложки CdS и пленки Cd

0.6


Ba

0.4


S при энергии 

фотонов h

 = 10.8 эВ (рисунок 2). По оси абсцисс отложена энергия связи  Е



св

 электронов, 

отсчитанная  относительно  уровня  Ферми  Е

F

.  Видно,  что  образование  трехкомпонентного 



соединения приводит к резкому изменению плотности состояния валентных электронов CdS. 

В случае чистого образца CdS (кривая 1) обнаруживаются особенности при Е



св

 = –0.7; –1.3 и 

–3.6  эВ.  Как  нами  ранее  показано,  что  особенности  при  Е

св

  =  –0.7  эВ  обусловлен 

возбуждением  электронов  из  поверхностных  состояний,  максимум  при  Е

св

  =  –1.3  эВ  – 

возбуждением электронов 5s состояний Сo, а максимум при Е

св

 = –3.6 эВ – возбуждением 

электронов  из  гибридизированных  уровней  5sCd  +  3рS.  В  случае  нанопленок  Cd

0.6


Ba

0.4


происходит перераспределение плотности состояния, наблюдаются явно выраженные пики 

при энергиях Е

св

 = –1.8; –2.7 и –3.9 эВ. Все эти пики, по-видимому, обусловлены участием в 

гибридизации  электронов  наряду  с  электронами  кадмия  и  серы,  6s  и  6р  валентных 

электронов бария. 

 

 

 



 

 

 



 

 

 



 

 

 



 

Рис. 1. Концентрационные профили распределения атомов Ва по глубине для CdS

-2. 1 – до прогрева; 2 – после 

прогрева при Т = 800 К в течении t = 30 мин. 

Рис. 2. Спектры фотоэлектронов измеренные при h

 = 10.8 эВ. 1 – CdS; 2 – CdS с пленкой 



Cd

0.6


Ba

0.4


S. 

 

 



 

 

 



“Fizikaning hozirgi zamon ta’limidagi o’rni”.  Samarqand 2019-yil 13-14 dekabr.

 

252 


 

STUDY OF THE ELECTRONIC STRUCTUREOF THE 

 𝑴𝒐𝑶


𝟑

/

𝑴𝑶 NANOFILMS. 

 

G.X. Allayarova, D.A. Tashmukhamedova, B.E.Umirzakov.  



Tashkent State Technical University named after Islam Karimov.

 

100095 Tashkent,Uzbekistan.e-mail: 



ftmet@mail.ru 

 

𝑀𝑜𝑂



3

 nanofilm is widely used in various fields of electrical engineering. For example, new types 

of displays, light filters, sensors, photo converters and organic solar elements. It was formed by thermal 

oxidation of 

𝑀𝑜𝑂

3

 nanoparticle and by ion implantation methods. Currently, the optical, emission and 



electrophysical properties of the Mooxide film are widely studied to vary with photons electrons and 

ions. However, to date there is no complete information on the composition, morphology, crystal and 

electron structure and physical properties of molybdenum oxide nanoparticles formed on the surface 

of 


𝑀𝑜.  In  this  work,  we  investigated  the  composition  of  the  𝑀𝑜𝑂

3

 nanofilms,  the  energy  zone 



parameters, and the density of valence electrons by implanting oxygen ions. 

As a target we received single crystalline 

𝑀𝑜 (111) with a diameter of 10 mm and a thickness of 

0.3 mm.Before ion implantation, we heated the target at vacuum (

𝑃  =   10

−6

 𝑃𝑎)𝑇  =  2000 𝐾 for 25-



30 hand heated the pulse

 𝑇  =  2200𝐾. Apply oxygen vacuum chamber to 𝑃  =   10

−2

 𝑃𝑎 Pa in special 



gas  bubble.  We  change  the  ion  energy  at 

1 − 5𝑘𝑒𝑉  and  the  dose  at  4 − 8 ∙ 10

17

 𝑠𝑚.In  order  to 



improve the stoichiometric composition of the 

𝑀𝑜𝑂


3

nanoparticle, we heat it at 

𝑇  =  850 𝐾 during 

ion implantation because this temperature is the optimum temperature and allows uniform thin films 

on the surface.During ion implantation, we made films of different thicknesses, such as 

30Å, 60Å, and 

90Å thickness. The composition, electron structure and physical properties of nanoplanes were studied 

by  means  of  Oje  -  electron  spectroscopy,  electron  spectroscopy,  which  lost  characteristic  of 

photoelectron spectroscopy.As shown in Figure 1, the depth distribution of oxygen atoms on the 

𝑀𝑜𝑂


3

 

/ 𝑀𝑜 nanofilm by ion implantation and thermal oxidation is obtained. 



The  stoichiometric  composition  of  the  nanofilm  obtained  during  thermal  oxidation  is  slightly 

homogeneous,  with  a  transition  layer  width  of 

65 − 70 Å.  The  content  of  the  𝑀𝑜𝑂

3

  nanoparticle 



obtained by ion implantation remained unchanged at 

60 Å and the width of the transition layer did not 

exceed 

40 − 45 Å 



 

Figure 1. Depth of oxygen atom on 

𝑀𝑜𝑂

3

 / 



𝑀𝑜 nanofilm by ion implantation (curve 1) and thermal 

oxidation (curve 2). 

The energy parameters of the 

𝑀𝑜𝑂


3

 zones were calculated using the energy distribution methods 

of  secondary  electron  coefficients  of  photoelectron  spectroscopy.  Figure  2  shows  their 

(𝐸𝑝) and 𝛿 

(𝐸𝑝)  bond  graphs  for  𝑀𝑜𝑂

3

 nanoparticles  𝑑  =  60 Å  thick.Where  𝑅  is  the  coefficient  of  the 



electronically rotating electrons 

𝛿- coefficient the true secondary electrons. 



“Fizikaning hozirgi zamon ta’limidagi o’rni”.  Samarqand 2019-yil 13-14 dekabr.

 

253 


 

 

Figure 2. Graph of binding of 



𝑅 and 𝛿 to 𝐸𝑝 for 𝑀𝑜𝑂

3

 / 



𝑀𝑜 film. 

As you can see in the picture, these curves are inaccurate.Because of the presence of plasmas 

and inter-zonal transitions.In the graph, the first reduction point 

𝑅 (𝐸𝑝) falls to 3.4, which is the width 

of  the  banned  zone,  the  second  decrease  corresponds  to  the  vacuum  energy  of  electrons  above  the 

valence zone (5.5eV) and true secondary electrons.Figure 3 shows the photoelectron spectrum of the 

monocrystalline 

𝑀𝑜 (111) and the 𝑀𝑜𝑂

3



𝑀𝑜 film obtained at ℎ𝜈  =  10.8 𝑒𝑉. 



 

3. Fig. Photoelectron spectrum obtained at 1-

ℎ𝜈  =  10.8 𝑒𝑉, 2 - ℎ𝜈  =  15.6 𝑒𝑉, with 

monocrystalline 

𝑀𝑜 (111) and 𝑀𝑜𝑂

3

 



/ 𝑀𝑜 film. 

There  are  several  maximums  in  the  spectrum.  The  reasons  for  creating  these  maximums  are 

shown in the graph. In general, the spectra of photoelectrons show the energy distribution of electrons 

in the valence zone. 

List of used literature. 

1.  Yao  J.N.,  Yang  Y.A.,  Loo  B.H.  Enhancement  of  photochromism  and  electrochromism  in 

𝑀𝑜𝑂

3

/Au and 



𝑀𝑜𝑂

3

/Pt thin films // J. Phys. Chem. B. 1998. V. 102. P. 1856 – 1860. 



2.  Maosong Tong, Guorui Dai. 

𝑀𝑜𝑂


3

 thin film prepared by PECVD technique and its gas sensing 

properties to NO2 // J. of Materials Science. 2001. V.36. p. 2535 – 2538. 

3.  Scanlon D.O., Watson G.W., Payne D.J., Atkinson G.R., Egdell R.G., Law D.S.L. Theoretical 

and experimental study of the electronic structures of 

𝑀𝑜𝑂


3

 and 


𝑀𝑜𝑂

2

 // J. Phys. Chem. C. 2010. 



V. 114. P. 4636 – 4645. 

 

ВЛИЯНИЕ ПОДЛОЖКИ И ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ НА ФАЗОВЫЙ ПЕРЕХОД 



МЕТАЛЛ ДИЭЛЕКТРИК (ФПМД). 

 

Уринов Х.О., Амонов А.К., Абдиев Ж., Уринов Ж.О. 

Самаркандский филиал ТУИТ имени Мухаммада ал-Хоразмий 

 

Одним из наиболее важных характеристик  V0

2

  является  температура  ФПМД  Т



к

=340°К. 


Как отмечалось в обзоре, всестороннее давление приводит к росту Т

к

, катионное замещение 



может привести как к росту так и к его уменьшению в зависимости от примеси и т.д. 

“Fizikaning hozirgi zamon ta’limidagi o’rni”.  Samarqand 2019-yil 13-14 dekabr.

 

254 


 

Здесь  приводятся  результаты  исследования  влияния  подложки  и  толщины  пленок  на 

температуры ФПМД в V0



[ 1 ] .  

Пленки V0

2

получались методом пиролиза ацетилацетоната ванадия, низкая температура 



осаждения  которого  позволила  получить  пленки  на  различных  подложках.  В  качестве 

подложки использовались пластины слюды, ситалла, корунда (Al

2

O

3



), фтористого лития (LiF) 

и  окиси  магния  (Mg0).  При  получении  пленок  поддерживались  постоянными  оптимальная 

температура подложек 360

K

  и  давления  кислорода  вкамере  синтеза  50-60  мм.рт.ст.  Скорость 



осаждения  пленок  0.1



КМ



/

МИН

.

 

Контакты  изготавливались  нанесением  и  последующим 

обжигом серебряной пасты, а расстояние между контактами составляло 5 мм. 

Итогом этой работы явилось установление факта, что температура ФПМДТ

к

 в  пленках  



VO

2

  всегда  ниже, чем для массивного материала. На рис.1 показаны результаты измерений 



температурной  зависимости  электросопротивления  пленок  толщиной  0,47-0,51  мкм  на 

различных  подложках.  Здесь  же  для  сравнения  приведена  температурная  зависимость 

электросопротивления массивного кристалла. 

 

рис. 1.Температурные зависимости электросопротивления пленок VO



2

толщиной 0,47-0.51 

мкм на различных подложках: 1-MgO; 2- LiF; 3- Al

2

O

3



; 4- cитал; 5-данные для массивного 

кристалла [3] 

Температура  ФПМД  на  одинаковых  подложках  испытывает  монотонно  убывающую 

зависимость при уменьшении толщины пленок, Так, температура ФПМД пленок на слюде и 

окиси магния толщиной 0,02 и 0,01 мкм соответственно составляет 317±1 и 316±1. На рис. 2 

показана толщинная зависимость температуры ФПМД пленок на подложке окиси магния. 

 

Рис. 2.Толщинная завис шесть температуры  ФПМД  пленок VO



2  

на подложке окиси магния. 



“Fizikaning hozirgi zamon ta’limidagi o’rni”.  Samarqand 2019-yil 13-14 dekabr.

 

255 


 

Полученные  результаты  естественно  связать  с  влиянием  адгезии  и  эпитаксии  на  фазовый 

переход, которое может быть сведено к вкладу в энергетический баланс составляющей σ/d, где σ-

плотность  поверхностной  энергии;  d  -  толщина  пленки.  Физически  это  может  означать,  что 

поскольку  рост  пленок  происходит  при  температуре  выше  температуры  ФПМД,  то  ориентация 

кристаллических 

осей 

высокотемпературной 



тетрагональной 

фазы 


стабилизируется 

эпитаксиальными  силами  со  стороны  подложки,  и  это  затрудняет  перестройку  кристаллической 

структуры при фазовом переходе. Стабилизация фазтонких слоях за счет поверхностных эффектов 

- распространенное явление в физике тонких пленок. 

Литература: 

1. 


Urinov X.O., Salakhiddinov A.N., Mirzakulov Kh.B. Determining the Magnetization of Thin 

Films by Measuring Torque //Bulletin of the Russian Academy of Sciences:Physics -2019. –,Vol 83, №7. 

P.956-959 

2. 


X O Urinov, X A Jumanov, А K Amonov Martensitic transformations in VO2 films// IOP 

Conf. Series: Materials Science and Engineering 665 (2019) 012013 



МЕТОДЫ АВТОМАТИЗАЦИИ ПРИ ПОСТРОЕНИИ ЭКВИВАЛЕНТНЫХ СХЕМ 

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ С ДЕФЕКТАМИ СТРУКТУРЫ 

 

Абдикамалов Б.А., Тагаев М.Б., Статов В.А. 



Каракалпакский государственный университет. Automation techniques for defect-contained 

semiconductor devices equivalent schemes creation 

Abdikamalov B.A., Tagaev M.B., Statov V.A. 

Karakalpak State University 

 

Значительный  прогресс  в  области  численного  моделирования  приборов  твердотельной 



электроники  привел  к  разработке  программных  комплексов  численного  моделирования 

позволяющих  в  надежно  предсказывать  особенности  токопрохождения  в  полупроводниковых 

структурах  различной  формы,  с  различными  механизмами  токопрохождения,  топологической 

структурой и профилями легирования. 

Тем самым открывается возможность и для численного моделирования полупроводниковых 

приборных  структур  со  структурными  дефектами  разнообразного  происхождения—линейными 

дислокациями,  дислокационными  петлями,  дефектами  упаковки.  До  настоящего  времени  эта 

проблема не привлекала достаточного внимания и в основном влияние дефектов в активной области 

изучалось либо экспериментально, либо с использованием приближенных аналитических моделей. 

Однако  значительные  успехи  в  области  микроскопических  методов  исследования 

полупроводниковых  структур  в  последние  десятилетия  дали  много  новой  ценной  информации  о 

характеристиках  и  происхождении  различных  точечных  и  структурных  дефектов,  их 

взаимодействии  с  электронной  подсистемой.  Были  значительно  уточнены  параметры  рассеяния 

носителей  тока,  расширено  представление  о  захвате  носителей  на  глубокие  центры  различной 

природы  и,  что  наиболее  существенно,  благодаря  современным  методам  исследования 

полупроводников, удалось во многих связать типы дефектов, обнаруживаемые и классифицируемые 

с  помощью  различных  электрофизических  методов  (таких  как  релаксационные  методы, 

микроплазменная  характериография,  фотоэлектрические  исследования)  с  конкретными 

физическими  объектами  -  идентифицированными  примесными  комплексами  и  различными 

нарушениями  решетки.  Таким  образом,  применение  уже  существующих,  апробированных  и 

надежных  методов  численного  моделирования  транспорта  носителей  в  полупроводниковых 

структурах с различными профилями легирования, геометрией и дефектами. Другой существенной 

предпосылкой  является  все  более  широкое  распространение  не  только  методов  компьютерного 

проектирования электронных схем, но и интеграция с CAD-системами модулей моделирования их 

переходных характеристик (например широко распространенные SPICE- модели) а также средств 

автоматической генерации схем, в особенности в цифровой электронике. Такие системы требуют 



“Fizikaning hozirgi zamon ta’limidagi o’rni”.  Samarqand 2019-yil 13-14 dekabr.

 

256 


 

адекватных  эквивалентных  схем  используемых  активных  элементов,  однако,  за  редким 

исключением, в большинстве случаев используются эквивалентные схемы на основе упрощенных 

аналитических моделей транзисторов, диодов и др. приборов. Это приводит к тому что, с одной 

стороны, повышаются требования к воспроизводимости параметров полупроводниковых приборов, 

снижая выход годных на предприятиях электронной промышленности, а, с другой стороны не дает 

возможности использовать изделия с незначительным отклонением характеристик от стандартных. 

Учитывая  большой  функциональный  диапазон  различных  источников  дефектов,  включая 

технологические,  топологические,  внутренние  дефекты  материала  и  контактных  систем, 

флуктуации  профиля  легирования  и  т.п.  решение  данной  проблемы  задачи  является  сложной 

научно-технической  задачей.  Поэтому  важным  этапом  ее  решения  является  выделение  наиболее 

существенных дефектных структур данного полупроводникового прибора, как наиболее вероятных 

с  технологической  и  микроматериаловедческой  точек  зрения,  так  и  их  влияния  на 

электрофизические параметры и надежность прибора. 

Объединение  имитационного  моделирования  с  помощью  эквивалентных  схем  и 

непосредственного  численного  моделирования  имеет  большой  потенциал  в  моделировании 

полупроводниковых приборов с дефектами, в частности сильнолегированных полупроводниковых 

структур, для которых существенным фактором является образование микропреципитатов второй 

фазы в активной области прибора. Такие микровключения, изменяя характер токопрохожднения, 

оказывают существенное влияние на параметры полупроводникового прибора. 

С этой точки зрения мы провели численный эксперимент по моделированию распределения 

электрического  поля  и  переноса  носителей  в  кремниевых  p-i-n  диодах,  содержащих  в 

слаболегированном слое проводящие микровключения различного размера с использованием пакета 

моделирования  полупроводниковых  приборов  GSS.  Численное  моделирование  показало,  что 

плотность  вероятности  распределения  электрофизических  параметров  и  значений  элементов 

эквивалентной  схемы  при  нормальном  распределении  вероятности  образования  микрокластера 

может  быть  аппроксимирована  распределением  Вейбулла  с  параметрами,  зависящими  от 

протяженности и уровня легирования области пространственного заряда. 

С другой стороны такие приборные структуры могут быть представлены с помощью аппарата 

случайных  графов,  где  возможные  пути  токопрохождения  представляются  в  виде  случайных 

наборов  ребер  между  фиксированными  узлами,  которые  связаны  с  конкретными  особенностями 

топологии и профиля легирования прибора. 

Таким  образом  объединение  нескольких  модельных  подходов,  позволит  не  только 

прогнозировать  надежность  полупроводниковых  приборов  с  дефектами  и  неоднородностями  в 

активной  области,  но  также  и  модифицировать  схемотехнические  решения  для  эффективного  и 

безотказного функционирования электронных схем. 

Работа  поддержана  грантом  ОТ-Ф2-77  “Совершенствование  методов  прогнозирования 

надежности полупроводниковых приборов на основе моделирования с учетом внутренних дефектов 

структуры”. 

 


Yüklə 11,09 Mb.

Dostları ilə paylaş:
1   ...   33   34   35   36   37   38   39   40   ...   63




Verilənlər bazası müəlliflik hüququ ilə müdafiə olunur ©azkurs.org 2024
rəhbərliyinə müraciət

gir | qeydiyyatdan keç
    Ana səhifə


yükləyin