Kattalik o’lchami - muayyan miqdoriy ob’ekt, tizim, hodisa yoki jarayonga tegishli bo’lgan kattalikning miqdoriy aniqlanganligi.
Kattalikning qiymati - kattalik uchun qabul qilingan birliklarning ma’lum bir soni bilan kattalikning o’lchamini ifodalash.
Kattalikning sonli qiymati - kattalikning qiymatiga kiruvchi nomsiz son. Parametr - berilgan kattalikni o’lchashda yordamchi sifatida qaraladigan kattalik.
O’lchash vositasi - metrologik tavsiflari me’yorlangan (MTM), o’lchami (belgilangan xatolik chegarasi) ma’lum vaqt oralig’ida o’zgarmas deb qabul qilinadigan, kattalikning o’lchov birligini qayta tiklaydigan va (yoki) saqlaydigan, o’lchashlar uchun mo’ljallangan texnik vosita.
Kattalik o’lchovi - o’lchov qiymatlari belgilangan birliklarda ifodalangan va zarur aniqlikda ma’lum bo’lgan bir yoki bir nechta berilgan o’lchamlarning kattaligini qayta tiklash va (yoki) saqlash uchun mo’ljallangan o’lchash vositasi.
Etalon (o’lchashlar shkalasi yoki birligi etaloni) - kattalikning o’lchamini qiyoslash sxemasi bo’yicha quyi vositalarga uzatish maqsadida shkalani yoki kattalik birligini qayta tiklash va (yoki) saqlash uchun mo’ljallangan va belgilangan tartibda etalon sifatida tasdiqlangan o’lchashlar vositasi yoki o’lchash vositalarining majmui.
Birlamchi etalon - birlikni mamlakatda (shu birlikni boshqa etalonlariga nisbatan) eng yuqori aniqlik bilan qayta tiklanishini ta’minlaydigan etalon.
Maxsus etalon - birlikning alohida sharoitlarda qayta tiklanishini ta’minlaydigan va bu sharoitlar uchun birlamchi etalon bo’lib xizmat qiladigan etalon.
Davlat etaloni - davlat hududida ushbu kattalikning boshqa barcha etalonlari bilan qayta tiklanadigan, birliklarning o’lchamlarini aniqlash uchun asos sifatida xizmat qilishi vakolatli davlat idorasining qarori bilan tan olingan etalon.
Ikkilamchi etalon - birlikning o’lchamini mazkur birlikning birlamchi etalonidan uchun mo’ljallangan ikkilamchi etalon.