MühaziRƏ 4 Epitaksiya

Bu cür texnologiya epitaksiya adlanır.

Epitaksiya (yunanca “epi”-üzərində və “taxy”-yerləşmək, ardıcıllıq) bir kristal üzərində digər kristalın istiqamətlənmiş (nizamlanmış) ardıcıl olaraq yığılması, çökdürülməsi deməkdir.

Epitaksiya prosesini həyata keçirən ən müasir üsul molekulyar-şüa epitaksiyası hesab olunur. Bu üsul ilə öncədən hazırlanmış və təmizlənmiş altlıq üzərinə ayrı-ayrı atomlar seli yönəldilir. Atomlar selinin sürəti isə bir-birindən asılı olmadan tənzimlənir. Altlığın səthinə çatan atomlar müxtəlif cür və müəyyən qayda ilə düzülərək (nizamlanaraq), bizə lazım olan quruluşlar yaradır. Molekulyar-şüa epitaksiyasında buxar selinin sürətini aşağıdakı tənliklə hesablamaq olar:

Burada p_e-buxarın tarazlıq təzyiqi, S_e-selin çıxdığı deşiyin sahəsidir. Beləliklə, çökdürülmüş komponentlərin sayını ancaq bir parametri – temperaturu dəyişməklə tənzimləmək olar.

Lazım olan atomların epitaksiyasını həm maye, həm də qaz fazasında yerinə yetirmək mümkündür. Epitaksiya prosesi, əsasən, ayrı-ayrı kristalların bir-birinə birləşməsi və sonda bütöv səthin əmələ gəlməsi ilə nəticələnir. Müasir epitaksiya metodları bir neçə (hətta bir!) atom qalınlığında laylar almağa imkan verir.

Epitaksiya üsulundan mikroelektronikada, kvant elektronikasında və hesablama texnikasında geniş istifadə edirlər.

Məhz müəyyən qanunauyğunluqla sadədən mürəkkəb quruluşun yaranma prosesi öz-özünə qablanma və ya yığılma adlanır. Bu termini elmə ilk olaraq alman alimi Herman Hakan gətirmiş və ona belə tərif vermişdir: