279
•
işıq qövsünün köməyi ilə buxarlandırma (eng. arc
evaporation, Arc-PVD).
–
Tozlandırıb çökdürmə (eng. Sputtering-
püskürüb çökdürmə, katodla püskürmə
mənalarını verir);
–
İon implantasiyası.
Səthə buxarlandırma üsulu ilə örtükçökdürmə
avadanlığının sxematik təsviri şək. 17.3.- də təqdim
olunmuşdur. Burada vakuum kamerasında termiki
enerjinin köməyi ilə buxarlandırılan örtük materialının
detalın səthinə çökməsi ilə təbəqə inkişaf edir.
Dostları ilə paylaş: