F. M. Şİrzadov tribotexniKİ avadanliq və vasiTƏLƏR

Şəkil 17.1. Detalların yeyilməyədavamlılığının artırılması 
üsulları. 
Məlumdur ki, müxtəlif örtükçəkmə üsulları vasitəsi 
ilə səthə çəkilən təbəqənin hündürlüyü minimum və 
maksimum qiymətlərinə malikdirlər (şək. 17.2.). PVD 
örtükçəkmə üsulu yeganə üsuldur ki, bunun vasitəsi 
ilə bir çox tələblərə uyğun olaraq detalın səthinə 10
-4 
mm- dən az hündürlükdə örtük təbəqəsi çökdürmək 
mümkündür.
Detalın strukturunun 
dəyişdirilməsi 
Kimyəvi buxar 
çökdürmə (CVD) 
Fiziki buxar 
çökdürmə (PVD) 
Katodun 
tozlandırılması 
Yeyilmə intensivliyinin azaldılması üçün 
müxtəlif üsullar 
Səthin kimyəvi 
dəyişdirilməsi 
Təbəqənin 
çökdürülməsi 
Səthə təbəqənin 
çəkilməsi 
Həcmi bərkitmə 
Səthi bərkitmə
Vanna və ya plazma 
emalı (sementləmə, 
azotlama, 
karboazotlama, 
sianlama, sulfidləmə) 
Kimyəvi reaksiyalar 
la (silisiumlama, 
xromlama, borlama, 
alüminiumlama) 
Elektro – oksidləmə 
(Eloxieren) 
Diyirlətmə 
Qaynaqla 
Partlayışla 
Elektrokimyəvi 
İonlarla çökdürmə 
Qövs-buxarlandırma 
Plazma püskürtmə 
Səthə buxarlanma 

---

278 
Şəkil 17.2. Müxtəlif üsullarla ötükçəkmədə alına biləcək 
təbəqələrin qalınlığı. 
 
 
17.2
. PVD örtükçəkmə üsulları
17.2.1. S
əthə buxarlandırmaqla örtükçökdürmə 
texnikası 
PVD üsulunun əsasən 3 növü fərqləndirilir: 
–
Səthə buxarlandırma; 
•
termiki buxarlandırma; 
•
elektron şüasının köməyi ilə buxarlandırma (eng. 
electron beam evaporation); 
•
lazer şüasının köməyi ilə buxarlandırma (eng. pulsed 
laser deposition, pulsed laser ablation); 
10
-5
10
-4
10
-3
10
-2
10
-1
1
10
100
galvanisch Cr
Schichtdicke [mm]
Bedampfen
Sputtern
Ionenplattieren
CVD / PECVD
Plasmapolymerisation
galvanisch Ni
chemisch Ni
Flammspritzen
Plasmaspritzen
Lichtbogenspritzen
Auftragschweissen
Walzplattieren
Schmelztauchen
P
V
D
Ərintiyə batırma 
Diyirlədib yapışdırma 
Elektroqövs üsulu ilə püskürtmə 
Plazma üsulu ilə püskürtmə 
Qaz-alov üsulu ilə püskürtmə 
Kimyəvi üsulla nikel çökdürmə 
Qalvanik üsulla nikel çökdürmə 
Qalvanik üsulla xrom çökdürmə 
Plazma polimerləşdirmə- PECVD 
CVD/ PECVD 
İonla örtmə 
Katod tozlandırma 
Adi buxar cökdürmə
Örtüyün qalınlığı
Üstəəritmə 

---

279 
•
işıq qövsünün köməyi ilə buxarlandırma (eng. arc 
evaporation, Arc-PVD). 
–
Tozlandırıb çökdürmə (eng. Sputtering-
püskürüb çökdürmə, katodla püskürmə 
mənalarını verir); 
–
İon implantasiyası. 
Səthə buxarlandırma üsulu ilə örtükçökdürmə 
avadanlığının sxematik təsviri şək. 17.3.- də təqdim 
olunmuşdur. Burada vakuum kamerasında termiki 
enerjinin köməyi ilə buxarlandırılan örtük materialının 
detalın səthinə çökməsi ilə təbəqə inkişaf edir.