Pardalar turli m ateriallarni past bosim da yupqa qatlam sifatida o ‘tkazish yo‘li bilan hosil qilinadi. Parda hosil qilish usuli va u bilan bog‘liq parda qalinligiga m uvofiq IM Slarni yupqa pardali (qalinligi 1—2 m km ) va qalin pardali (qalinligi 10 m km dan yuqori) larga ajratiladi. A dabiyotlarda ko‘p hollarda IM S yozuv o ‘m iga IS deb yoziladi. H ozirgi kunda pardali diod va tran zisto rlarn in g p aram etrlari barqaror b‘lm agani sababli, pardali IM Slar faqat passiv elem entlarga (rezistorlar, kondensatorlar va boshqalar) ega. Pardali texnologiyada elem ent param etrlarining ruxsat etilgan tarqoqligi 1-^2 % dan oshm aydi. Passiv elem entlar param etrlari va ularning barqarorligi hal qiluvchi aham iyat kasb etganda bu ju d a m uhim bo‘ladi. S husabd an pardali IS lar ba’zi filtrlar, faza o‘zgarishiga sezgir va tanlovchi sxem alar, generatorlar va boshqalar tayyorlashda ishlatiladi. Gibrid IM S (yoki GIS) deb um um iy dielektrik asosda joylashgan pardali passiv va diskret aktiv elem entlar kom binatsiyasidan iborat m ikrosxem aga aytiladi.
Pardalar turli m ateriallarni past bosim da yupqa qatlam sifatida o ‘tkazish yo‘li bilan hosil qilinadi. Parda hosil qilish usuli va u bilan bog‘liq parda qalinligiga m uvofiq IM Slarni yupqa pardali (qalinligi 1—2 m km ) va qalin pardali (qalinligi 10 m km dan yuqori) larga ajratiladi. A dabiyotlarda ko‘p hollarda IM S yozuv o ‘m iga IS deb yoziladi. H ozirgi kunda pardali diod va tran zisto rlarn in g p aram etrlari barqaror b‘lm agani sababli, pardali IM Slar faqat passiv elem entlarga (rezistorlar, kondensatorlar va boshqalar) ega. Pardali texnologiyada elem ent param etrlarining ruxsat etilgan tarqoqligi 1-^2 % dan oshm aydi. Passiv elem entlar param etrlari va ularning barqarorligi hal qiluvchi aham iyat kasb etganda bu ju d a m uhim bo‘ladi. S husabd an pardali IS lar ba’zi filtrlar, faza o‘zgarishiga sezgir va tanlovchi sxem alar, generatorlar va boshqalar tayyorlashda ishlatiladi. Gibrid IM S (yoki GIS) deb um um iy dielektrik asosda joylashgan pardali passiv va diskret aktiv elem entlar kom binatsiyasidan iborat m ikrosxem aga aytiladi.