M.Ə. Ramazanov, A. Q. Həsənov
Şəkil 3-10. NanoEducator cihazında qarşılıqlı təsir qüvvəsi
Yüklə 4,53 Kb. Pdf görüntüsü
|
|
Şəkil 3-10. NanoEducator cihazında qarşılıqlı təsir qüvvəsi çeviricisinin konstruksiyası: (1) göy naqil-generator; (2) qırmızı naqil - çevirici; (3) qara naqil-ümumi. Şəkil 3-11. Qarşılıqlı təsir qüvvə çeviricisi kimi işləyən pyezoelektrik borunun iş prinsipi. Spektroskopiyanın yerinə yetirilməsi. Spektroskopiya (Spectroscopy) rejimi zondun rəqs ampli- tudunun (Oscillation Amplitude), zond və nümunə arasındakı məsafədən asılılığını almağa imkan verir. Spektroskopiya verilmiş ölçmələr üçün zondun rəqsi amplitudunun söndürən kəmiyyətin optimal qiymətini seçməyə və qarşılıqlı təsir olmadıqda zondun rəqslərinin amplitudunu qiymətləndirməyə imkan verir. Spektroskopiya (Spectroscopy) rejimi aşağıdakı parametr-lərə nəzarət etməyə və onları dəyişməyə imkan verir (şəkil 3-12). a) Zondun başlanğıc vəziyyəti nm-lə (Start Point) ölçülür. Bu kəmiyyət mənfi olmalıdır, yəni yerinə yetirilən proqrama uyğun olaraq zond ölçmələrə başlamazdan əvvəl nümunə- dən Start Point məsafəsində olmalıdır. “Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti 72 Şəkil 3-12. Spektroskopik rejimin pəncərəsi: 1 - zond nümunəyə yaxınlaşarkən alınan əyri; 2 - zond nümunədən uzaqlaşarkən alınan əyri. b) Zondun son vəziyyəti nm-lə (Final Point) ölçülür. Bu kəmiyyət zondun son vəziyyətini müəyyən edir. Əgər zondun rəqs amplitudunun kənarlaşması zamanı verilmiş maksimal qiymətdə (70%) son vəziyyət tez alarsa, onda zond dayanar. Zondun rəqs amplitudunun kənarlaşmasının maksimal qiymətini dəyişmək üçün Ctrl V düymələrini sıxmaqla və Suppresion parametrini dəyişmək olar. v) Zondun rəqs amplitudunun ölçmələrini aparmaq üçün nöqtələrin sayı (Points) q) Zondun hərəkəti zamanı addımlar arası dayanmalar(ms) (Delay). Nümunənin verilmiş (X, Y) nöqtəsində Spektroskopiya əy- rilərinin qrafiklərinin ölçmələri alqoritmi aşağıdakı kimi aparılır: 1. İzləmə sistemi dayandırılır. 2. Zond nümunədən Start Point parametri ilə təyin olunan məsafəyə qədər uzaqlaşdırılır. 3. Z oxu üzrə skanediciyə verilən gərginlik hesabına zond nü- munəyə Step addımı ilə yaxınlaşır. Zond Point parametri ilə verilən sayda addımlar atır və hər bir addımda zondun nisbi rəqs amplituduna nəzərən ölçmələr aparılır (Oscillation Amplitude). 4. Sonra zondun əks istiqamətdə hərəkəti zamanı(zond Bərk cisimlərin səthinin kontaktsız rejimdə atom-qüvvə mikroskopu üsulu ilə tədqiqi 73 nümunədən uzaqlaşarkən) həmin nöqtələrdə nisbi rəqs amplitudunun ölçmələri aparılır. Ölçmələrin nəticələri iki əyridən ibarət qrafikdə (şəkil 3-12) verilmişdir: - zond nümunəyə yaxınlaşarkən. - zond nümunədən uzaqlaşarkən. Qrafikdə absis oxu üzrə Z istiqamətində zondun yerdəyiş- məsi kəmiyyəti qeyd olunmuşdur. Absisin sıfır qiyməti zondun başlanğıc vəziyyətinə uyğundur (əks əlaqədə zond və nümunə arasındakı məsafə). Bu vəziyyət yaşıl rənglə şaquli kursorla qeyd olunmuşdur. Spectroscopy pəncərəsində qrafikdə absis oxu boyunca mənfi qiymətlər zondun nümunədən uzaqlaşarkən, müsbət qiy- mətlər isə zond nümunəyə yaxınlaşarkən zond-nümunə məsafə- sinin dəyişməsinə uyğundur. A nöqtəsi zond-nümunə məsafəsinin yaxınlaşmasının nəti- cəsi kimi zond və nümunə qarşılıqlı təsirinin yaranmasına uy- ğundur. Bu nöqtədən başlayaraq yaxınlaşmanın davam etməsi zondun rəqs amplitudunun azalaraq rəqslərin tamamilə sön- məsinə uyğun gəlir (B nöqtəsi). Əyrinin B nöqtəsindən sağdakı hissəsi pyezoçeviricinin rəqslərinə uyğundur. Bu zaman zond nümunə səthi ilə tam mexaniki kontaktda olur. B nöqtəsinin vəziyyəti əyrinin meylini təyin edir. Absis oxu üzərində A nöqtəsindən B nöqtəsinə kimi mə- safənin proyeksiyası zond və nümunə arasındakı aralığı göstərir. Absis oxu üzərində əyrinin bütün maili hissəsinin proyeksiyası zond və nümunə arasında qarşılıqlı təsir olmadıqda rəqslərin qiymətini göstərir (nm-lə). Verilmiş anda zondun yerləşdiyi nöqtədə Spectroscopy rejiminin yerinə yetirilməsi Set Interaction pəncərəsində Spectroscopy düyməsini sıxaraq həyata keçirilir. Nümunə səthində müxtəlif nöqtələrdə spektroskopiyanın nəticələrini almaq üçün aşağıdakıları yerinə yetirmək zəruridir: 1. Səthin topoqrafiyasının alınması rejimində skanetmənin “Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti 74 yerinə yetirilməsi. 2. Scanning pəncərəsinin sağında aşağı hissədə Spectroscopy bölməsini seçmək. 3. Nümunə səthinin topoqrafiya şəklində spektroskopiyanın tələb olunan nöqtələrini siçanın sol düyməsinin köməyi ilə qeyd etməli, əksinə etmək üçün Clear düyməsini sıxmaq lazımdır. 4. Scanning pəncərəsinin RUN düyməsini sıxmaq. Bu zaman Spectroscopy pəncərəsi yaranmış olur. 5. Spektroskopiyanın parametrlərini vermək (Start Point, Final Point, Points, Delay ). 6. Spectroscopy pəncərəsinin RUN düyməsini sıxmaq. Qeyd olunmuş nöqtələrdə spektroskopik ölçmələrin aparıl- masından asılı olaraq ayrıca səhifələrdə qrafikləri yaranacaqdır. 3.3. Metodik göstərişlər NanoEducator skanedici zond mikroskopunda işləməyə başlamazdan əvvəl cihazın istifadəçilərə rəhbərlik sənədini öy- rənmək zəruridir. 3.4. Tapşırıq 1.Qarşılıqlı təsir qüvvəsi çeviricisinin mexaniki rezonans tezliyinin təyini. 1.1. Tədqiq olunan nümunəni altlıqda yerləşdirmək. 1.2. Zond çeviricisini NanoEducator cihazının ölçmə başlığı- nın yuvasında yerləşdirmək. Yavaşca vinti burmaq. 1.3. NanoEducator cihazının idarəetmə proqramını işə salmaq. Skanedici qüvvə mikroskopu (SQM) rejimini seçmək. 1.4. Alətlər panelindəki Adjust düyməsini sıxmaq, sonra Resonance düyməsini sıxmaq. Manual rejiminə keçmək. RUN düyməsini sıxaraq, tezlikdən (zond çeviricisinin am- plitud-tezlik xarakteristikası) asılı olaraq, zondun rəqs am- plitudunun asılılıq qrafikini almaq olar. Dəqiqləşdirmək la- zımdır ki, marker (şaquli yaşıl xətt) qrafikin maksimal pi- Bərk cisimlərin səthinin kontaktsız rejimdə atom-qüvvə mikroskopu üsulu ilə tədqiqi 75 kində yerləşir. Tezliyin qiyməti bu zaman Frequency pən- cərəsində yerləşmiş olar. Buna uyğun rəqsin amplitudu Probe Oscillation Amplitude hissəsində göstərilir. Zon- dun amplitudunun (Oscillation Amplitude) qiymətlərinin nizamlayaraq amplitudu gücləndirən əmsalı (AM Gain) elə seçməli ki, qrafikdə bir simmetrik maksimumun müşahidə olunması dəqiq görünmüş olsun. Generator tərəfindən ve- rilən gərginliyin amplitudun qiymətini minimal (sıfıra qədər də azalmış ola bilər) olması məqsədəuyğundur və 50 mV- dan böyük zondun cavab rəqslərinin amplitudunun kifayət olmayan qiymətlərində ( 1V < ) AM Gain əmsalını artırmaq məqsədəuyğundur. Əgər qrafikdə bir neçə piklər varsa, çevirici vintin səviyyə- sini sıxmaqla əlavə piklərin amplitudunu azaltmağa çalış- malı. Alınmış amplitud-tezlik xarakteristikasını saxlamaq lazımdır. 1.5. Pyezorezonans tezliyini nizamlamalı. Bunun üçün Manual Regime hissəsindəki Fine vəziyyətini seçərək RUN düy- məsini sıxaraq rezonans tezliyi qiymətini dəqiqləşdirmək. Alınmış amplitud-tezlik xarakteristikasını saxlamaq. 2. Pyezorezonans çeviricisi olan rəqs sisteminin keyfiyyətlili- yinin təyini. 2.1. Fine rejimindəki ölçmələrin amplitud-tezlik xarakteristika- sından Frequency hissəsində rez f və Probe Oscillation Amplitude max A -rezonans pikinin maksimal qiymətlərini təyin etməli. 2.2. Siçan vasitəsilə yaşıl kursoru elə vəziyyətə gətirməli ki, bu zaman Probe Oscillation Amplitude qrafikin maksimal pikindən sağ və sol tərəfdəki rezonans amplitudunun mak- simal qiymətinin yarısına bərabər olsun 2 / max A (Qrafikin aşağısında tezliyin və amplitudun cari qiymətləri verilmiş olur). Tezliyin ölçülmüş düymələrini sağda ( 1 f ) və solda ( 2 f ) kimi yazmalı. “Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti 76 2.3. Hündürlüyün yarısında pikin enini 2 1 f f − və ) /( 2 1 f f f Q rez − = keyfiyyətlilik kəmiyyətini hesablamaq lazımdır. 3. Zond-nümunə məsafəsindən asılı olaraq (zondun rəqs ampli- tudu) qarşılıqlı təsir qüvvəsinin təyini. 3.1. Zond çeviricisinin işçi tezliyini rezonans vəziyyətə gətirmək. 3.2. Qarşılıqlı təsirin alınmasını Amplitude Suppresion =0,3 Feed Back Loop Gain = 3 qiymətlərində həyata keçirmək. 3.3. Scanner Protraction indikatorundakı Z qiymətlərini yad- da saxlamaq. Qarşılıqlı təsiri daha etibarlı qeyd etmək üçün onun qiyməti adətən skanetmə prosesində olduğundan böyük götürülür. İşçi qiymətlərə keçmək üçün Amlitude Sup-presion qiy- mətini təqribən 0,2-0,1 kimi azaltmaq lazımdır. Bu zaman skanedici nümunəni zonddan uzaqlaşdırır, ancaq Z indika- torunda bu dəyişiklik kiçik olduğuna görə hiss olunmur. Əgər qarşılıqlı təsirin qiyməti çox kiçik seçilibsə (0,01) skanedici aşağı düşməyə başlayar (Z kəmiyyəti azalır). Qarşılıqlı təsirin səviyyəsinin işçi qiymətinin düzgün təyin etmək üçün Amlitude Suppresionu Z əvvəlki qiymətini almayana qədər artırmaq lazımdır. 3.4. Spektroskopiya rejimini nümunə səthi üzərində zondun yerləşdiyi cari nöqtədə yerinə yetirməli. Parametrləri elə seçməlidir ki, əyridə nümunə səthi tərəfindən qarşılıqlı təsir qüvvəsinin yaranması anından başlayaraq zondun amplitu- dunun dəyişmələrinin əyilmə hissəsi yaxşı görünsün. 3.5. Sərbəst vəziyyətdə zondun rəqs amplitudunun (səthdən uzaqda) və qarşılıqlı təsirin alınması zamanı zond-nümunə məsafəsini qiymətləndirməli. Düzünə və əksinə skanedici- nin hərəkətinin qrafikinə görə histerezis nəzərə alınmaqla zondun rəqslərinin orta qiymətini tapın. 3.6. Verilmiş ölçmədə zondun rəqs amplitudunun uzaqlaşma Bərk cisimlərin səthinin kontaktsız rejimdə atom-qüvvə mikroskopu üsulu ilə tədqiqi 77 kəmiyyətini (Amlitude Suppresion) optimal seçməli. Yaşıl kursoru üfüqi sahəyə yaxın əyrinin əyilmə hissəsində yer- ləşdirmək məqsədəuyğundur, burada qarşılıqlı təsir zəif olub, Z oxu üzrə ayırdetmənin yuxarı olmasının nəticəsi kimi əyrinin dikliyi böyük olur. 4. Tədqiq olunan nümunə səthinin topoqrafiyasının və faza təzadının alınması. 4.1. Spektroskopiya rejimi pəncərəsindən çıxmaq. Skanetmə pəncərəsini açmaq. Tədqiq olunan nümunə haqqında qabaq- cadan verilmiş məlumatlar əsasında skanetmənin zəruri parametrlərini vermək. 4.2. Skanetmənin faza təzadının parametrləri ilə eyni zamanda aparılması üçün skanetməyə başlamazdan əvvəl Scannig pəncərəsinin sağ aşağı hissəsindəki uyğun zəruri imkanı (Phase shift) seçmək zəruridir. 4.3. Tədqiq olunan nümunənin səthinin topoqrafiyasını və faza təzadının ölçmələrini həyata keçirin. 4.4. Təcrübəni qurtardıqdan sonra skanetmə pəncərəsini bağ- layıb nümunədən zondu uzaqlaşdırmanı həyata keçirin. 3.5. Yoxlama sualları 1. Zond-nümunə məsafəsinə görə qarşılıqlı təsir qüvvəsinin asılılığını təsvir edin. 2. AQM-in əsas iş rejimlərini və onların təyinatını deyin. 3. AQM-in kontakt rejimində qüvvələrin detektə(aşkarlanma- sının) alınmasının əsas üsullarını izah edin. 4. AQM-in kontaktsız iş prinsipini izah edin. 5. AQM kontaktsız iş rejimində işləyərkən nəyə görə faza təzad seçmələri rejimi istifadə olunur? 6. NanoEducator cihazının kontaktsız qüvvə sensoru qurğusu və iş prinsipini izah edin. 7. NanoEducator cihazında spektroskopiyanın yerinə yetiril- məsi rejimini izah edin. “Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti 78 Laboratoriya işi № 4 Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər 4.1. İşin məqsədi …….....………………..............................79 4.2. İşin məzmunu .................................................................79 4.3. Metodik göstərişlər....…….............…...........................109 4.4. Tapşırıq ………......………......…….............................109 4.5. Yoxlama sualları ……….….....……….……..............114 Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər 79 İstənilən ölçmələr zamanı nümunənin səthinin alınan şək- linin (xəyalının) onun həqiqi səthindən fərqlənməsi təhriflər adlanır. 4.1. İşin məqsədi 1. Skanedici zond mikroskopunda təhriflərin mənbəyinin öyrə- nilməsi. 2. Pyezoelektrik keramikalarının və SZM skanedicisinin əsas xarakteristikasının tədqiqi. 3. Zondun formalarının və SZM-in ayırdetmə qabiliyyətinin təyini. İş iki hissədən ibarət olub iki dərs müddətində yerinə yetirilir (4 saat). İşin birinci hissəsi TGX1 test nümunəsinə görə skanedicinin əsas xarakteristikalarının tədqiq olunmasın- dan ibarətdir. İşin ikinci hissəsi isə TGT1 test nümunəsinin şəklinə görə zondun formalarının təyini, zondun elektrokimyə- vi üsulla itilənməsi (yəni yeni zondların hazırlanması) və zond formalarının təkrar təyinindən ibarətdir. Ləvazimat: Skanedici zond mikroskopu (Model SZMU-L5), zond, NanoEducator proqramı və kompüter. Tədqiqat üçün nümunə: TGX1 və TGT1 test nümunələri. 4.2. İşin məzmunu Pyezokeramikanın və skanedicinin əsas xarakteristikaları- nın öyrənilməsi (rezonans tezlik, yerdəyişmə diapozonu, qeyri- xəttilik, histerezis, skanedicinin sürüşməsi, temperatur dreyfi (kənara çıxma)). TGX1 test nümunəsinə görə skanedicinin əsas xarakteristikasının tədqiqi. Zondun həndəsi ölçülərinin müxtəlif səthlərin xüsusiyətləri- nin skanedilməsi zamanı SZM ayırdetməsinə təsiri. TGT1 test qəfəsinə görə zondun formalarının təyini, zondun elektrokim- yəvi üsulla itilənməsi və SZM-də şəkillərin təkrar alınması. Skanedici zond mikroskopunda təhriflər Bərk cisimlərin mikroskopik tədqiqi, həmçinin skanedici “Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti 80 zond mikroskopiya üsullarının məqsədi səthin böyüdülmüş şə- kilini almaqdır. İdeal mikroskop səthin həqiqi şəklini almağa imkan verir. İstənilən ölçmələr zamanı alınan şəkillərin nümu- nənin həqiqi səthindən fərqlənməsi təhriflər adlanır. Bütün analitik tədqiqat üsullarında təhriflər olur. Tarixən texniki alətlərin və tədqiqat üsullarının inkişafı təhriflərin daha aydın olmasına; qurğuların konstruksiyalarında və material- larında dəyişikliklər və alınmış nəticələrin təhlilində təhriflərin minimal olmasına və daha aydın başa düşülməsinə imkan ver- mişdir. Skanedici zond mikroskoplarının işi də təhriflərsiz mümkün deyildir. Əgər bunlar aydın deyilsə, onda tədqiqatçı SZM vasitəsi ilə alınmış nəticələri düzgün təhlil edə bilmir. Bu çoxlu arzuolunmaz nəticələrə gətirib çıxarır, məsələn cihazın işini düzgün qiymətləndirməməyə və təcrübənin nəticələrinin səhv istifadə olunmasına səbəb olur. Əgər təhriflər yaxşı öyrənilsə və onların yaranma səbəbləri aydınlaşsa, SZM-in nəticələri düzgün təhlil olunar və alınmış məlumatlardan inamla istifadə olunar. SZM-də təhriflərin olmasının çoxlu mənbələri mövcuddur. Təqdim olunan laboratoriya işinin məqsədi SZM şəkillərində təhriflərin mənbəyini və alınmış nəticələrin düzgün təhlilini öyrənməkdir. SZM-in təhriflərə səbəb olan əsas komponentləri: 1. Pyezoelektrik keramika SZM-də kiçik məsafələrdə iynənin yerdəyişməsininin idarə olunması üçün pyezoelektrik mühərriklərdən istifadə olunur. Bunların vəzifəsi tədqiq olunan və hərəkət etməyən nümunəyə nəzərən zondun və ya hərəkət etməyən zonda nəzərən nü- munənin yerinin dəyişməsi zamanı zondun dəqiq mexaniki skanetməsini təmin etməkdir. Müasir SZM-də istifadə olunan əksər pyezoelektrik mühər- riklərin işi elektrik sahəsinin təsiri nəticəsində pyezomaterialın ölçülərinin dəyişməsi, yəni əks pyezoeffektdən istifadə olun- masına əsaslanır. Pyezoeffektin mexanizmini SiO 2 kvars Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər 81 strukturuna bənzəyən sadə modeldə izləmək olar. SiO 2 qəfə- sində silisiumun müsbət ionları oksigenin mənfi ionları ilə növbə ilə əvəzləmə. Deformasiya olunmayan (elementar qəfəs- də) yerlərdə müsbət və mənfi yüklərin mərkəzləri üst-üstə düşür (şəkil 4-1a). Əgər kvars kristalın əks üzlərində yerləşmiş metal elektrodlara (şəkil 4-1b göstərildiyi kimi) xarici elektrik gərginliyi tətbiq edilərsə, onda ionlar yerlərini dəyişər və bu kristallik qəfəsin deformasiyası ilə nəticələnər. a) b) Şəkil 4-1. Kvarsın quruluş sxemi (a) və əks pyezoelektrik effektin yaranması (b). SZM-də pyezomaterial kimi kvars kristallik material əvə- zinə, pyezomodulu böyük olan pyezokeramika istifadə olunur. Pyezokeramika 0,5-50 mkm ölçülü seqnoelektrik monokristal dənələr yığımından ibarətdir. SZM-də istifadə olunan əksər pyezokeramikalar [12, 13] PbZr 1-x Ti x O 3 tərkibli (qurğuşun sirkonat-titanat) müxtəlif əla- vələr olan materiallardır. Əlavələr kimi Nb, Su, Bi, La əlavə (5%-dən az olan) qatışıqlardan və Ba, La kimi modifikasiya edən aşqarlar (5%-dən çox olan) istifadə olunur. Standart kera- mikanın alınma üsulu kimi atmosfer təzyiqində verilmiş tər- kibli tozların birləşməsi üsulundan istifadə olunur. Həmçinin 200 kq/sm 2 təzyiq altında isti presləmə üsulu da mövcuddur. Bu üsulla sıxlığı 99,9 %-dan böyük və nəzəri alınması mümkün “Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti 82 olan kristallik quruluşlu nümunələrin xüsusi keyfiyyətlərinə malik keramika almaq mümkündür. Polyar olmayan keramikada dənələr və onların domenlə- rinin polyar oxları xaotik düzülür ki, bu da keramikanın elek- trik, pyezoelektrik və başqa xarakteristikalarının kvaziizotrop olmasına səbəb olur. Tələb olunan xassələri, məsələn əks pye- zoeffekti almaq üçün, xarici elektrik sahəsinin köməyilə ma- terialın bütün həcm üzrə polyar oxlarını bircins istiqamət- ləndirmək zəruridir. Polyarlaşma adlanan bu proses materialın Tc Küri temperaturundan yüksək temperatura kimi qızdırma- sına və xarici elektrik sahəsinin təsiri altında otaq tempera- turuna qədər soyudulmasına əsaslanır. Xarici elektrik sahəsini kənarlaşdırdıqdan sonra domenlərin dipol momentləri bir istiqamətə yönəlir, yəni materialda qalıq polyarlaşma yaranır. Pyezokeramikanı istifadə edərkən onu Küri temperatu-rundan yüksək temperaturda qızdırmaq olmaz, bu temperaturda pye- zokeramika depolyarlaşır və pyezoeffekt müşahidə olunmur. Bir tərəfi bərkidilmiş pyezolövhənin (şəkil 4-2) uzanması 31 d h U l l = ∆ (1) ifadəsi ilə təyin olunur. Burada l -lövhənin uzunluğu, h-lövhənin qalınlığı, U- pye- zolövhənin kənarlarında yerləşmiş elektrodlara tətbiq olunan elektrik gərginliyi, d 31 - materialın pyezomoduludur. d 31 -pyezomodulu uzununa istiqamətdə tətbiq olunan gərgin- liyin yerdəyişməyə çevirilməsini təyin edib, adətən 30-350X10 -12 m/V- ə bərabər olur. Məsələn, d 31 =200 m/V(2 o A /V) qiymətində uzunluğu l =200 mm, qalınlığı h=0,5 mm olan lövhənin idarəedici gərginliyinin qiyməti U 0-dan 300V-a kimi dəyişmə- si nəticəsində 0-2,4 mkm diapazonunda l ∆ mexaniki deforma- siyasını təmin edir. Pyezomodul əmsalının böyük qiymətləri kiçik ölçülü skanedicilər və kiçik idarəedici gərginlik üçün vacibdir. Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər 83 Pyezomaterialın deformasiyasının maksimal qiyməti skanet- mənin maksimal sahəsini təyin edir, lakin bu elektrik sahəsinin gərginliyinin qiyməti ilə məhdudlaşır, belə ki, bu zaman ma- terial elektrikin təsirindən deşilir. Minimal addım və ya yerdə- yişmənin dəqiqliyi idarəedici elektrik gərginliyinin küyləri, mexaniki titrəmələrin və termodreyfin səviyyəsinə əsasən təyin olunur. Şəkil 4-2. Bir tərəfi bərkidilmiş pyezolövhənin uzanması. SZM-də istifadə olunan pyezokeramikaların əsas xarakte- ristikalarından bunları seçmək olar: - Sərf edilən gücün az olması və istilik ayrılmaması - SZM üçün helium(4,2K) temperaturuna qədər alçaq tem- peraturlarda d 31 -pyezomodulunun dəyişməməsi - Kuri temperaturu 170-350 0 S - Keramikanın istidən genişlənmə əmsalı β=1-10*10 -6 K -1 -ə bərabər olur. Bu zaman β-nın qiyməti böyük əhəmiyyət kəcb etmir. Keramikanın və konstruksiyada istifadə olunan materialın istidən genişlənmə əmsallarının fərqinin çox kiçik olması temperatur dreyfini azaltmağa imkan verir. - Kiçik ölçüyə, yüksək sərtliyə və bunun nəticəsində yüksək rezonans tezliyinə (10kHs-dən böyük olması məqsədə uy- ğundur) malik olması. Bu da titrəmələrdən qorunmaq üçün “Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti 84 lazımdır. Yüksək rezonans tezlik, həmçinin skanet-mənin sürətini artırmağa imkan verir, yəni SZM-də nəticələrin alınması vaxtını azaltmaq olar. - Müxtəlif mühitlərdə və yüksək vakuumda tətbiq olunması. Onlar kimyəvi aktiv deyillər və elektromaqnit sahəsi yarat- mırlar. Tətbiq olunan pyezokeramikaların üstün keyfiyyətlərinə baxmayaraq, onların bir sıra çatışmayan cəhətləri vardır. İdeal pyezoelektrik keramika (1) ifadəsinə uyğun olaraq tətbiq olunan gərginliyin təsiri nəticəsində şəkil 4-3-də göstə- rildiyi kimi xətti olaraq deformasiya edir. Yüklə 4,53 Kb. Dostları ilə paylaş:
|