M.Ə. Ramazanov, A. Q. Həsənov
Şəkil 1-5. Skanetmə prosesinin sxematik şəkli
Yüklə 4,53 Kb. Pdf görüntüsü
|
|
Şəkil 1-5. Skanetmə prosesinin sxematik şəkli. Skanetmədən əvvəl seçilən əsas parametrlər bunlardır: - Skanetmənin ölçüsü; - Skanetmənin addımı ∆ -nı təyin edən, x N və y N xətləri üzrə nöqtələrin sayı; - Skanetmənin sürəti. Tədqiq olunan obyekt haqqında tədqiqatçının ilkin məlu- matları əsasında skanetmənin parametrləri seçilir (səthin xarak- teristik xüsusiyyətlərinin ölçülərini nəzərə almaqla). Skanetmənin ölçülərini seçərkən nümunənin səthi haqqında tam məlumat əldə etmək zəruridir, yəni nümunə səthinin xarak- teristik xüsusiyyətləri haqqında geniş məlumat olmalıdır. Mə- sələn, periodu 3 mkm olan difraksiya qəfəsini skan etmək üçün, heç olmasa bir neçə period haqqında təsəvvür olmalıdır, yəni skanetmənin ölçüsü 10-15 mkm olmalıdır. Əgər tədqiq olunan obyektin xarakteristik xüsusiyyətlərinin səth üzrə yer-ləşməsi bircinsli deyilsə, onda kifayət qədər dəqiq qiymətlən-dirmək “Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti 16 üçün, nümunə səthi üzərində bir-birindən kənarda olan bir neçə nöqtələrdə skanetməni aparmaq zəruridir. Əgər tədqiq olunan obyekt haqqında məlumat yoxdursa, əvvəlcə səth haqqında ümumi xarakterli məlumat almaq üçün, səth üzərində elə sahəni seçmək lazımdır ki, skanetmə nəticəsində obyekt haqqında müəyyən təsəvvürlər yaranmış olsun. Təkrar skan edərkən skanetmənin ölçülərinin seçilməsi ümumi xarakterli skanetmə zamanı alınmış verilənlər əsasda aparılmalıdır. Skanetmə zamanı nöqtələrin sayı (N x , N y ) elə seçilir ki, skan etmə ∆ addımı (nöqtələr arasında məsafə olub səth haq- qında məlumatın oxunması həyata keçirilir) xarakteristik xüsu- siyyətlərindən kiçik olsun, əks halda isə nöqtələr arası skan- etmə zamanı məlumatın bir hissəsi itmiş olar. Digər tərəfdən əlavə nöqtələrin seçilməsi skanetmə vaxtının artmasına səbəb olar. Məlumatın oxunması zamanı zondun nöqtələr arasında hə- rəkət etmə sürəti skanetmənin sürətini təyin edir. Əlavə yük-sək sürətin olması əks əlaqə sisteminin zondu səthdən uzaqlaş- dırmasına imkanı olmaz, bu isə şaquli ölçülərin səhv oxun- masına, həmçinin zondun və nümunə səthinin zədələnməsinə səbəb olar. Skanetmənin kiçik sürətlə aparılması isə skanetmə vaxtının artmasına səbəb olardı. Əks əlaqə sistemi Skanetmə prosesi zamanı zond nümunə səthinin müxtəlif fiziki xassələrə malik müxtəlif hissələri üzərində ola bilər, bu- nun nəticəsində zond və nümunə arasında qarşılıqlı təsir kə- miyyətinin qiyməti və xarakteri dəyişmiş olacaqdır. Bundan əlavə, nümunə səthi hamar deyilsə, onda skanetmə zamanı zond və nümunə arasındakı z məsafəsi dəyişmiş olacaq və buna uy- ğun olaraq lokal qarşılıqlı təsir kəmiyyətlərinin qiymətləri də dəyişmiş olacaqdır. Əks əlaqə sisteminin köməyilə skanetmə prosesi zamanı lokal qarşılıqlı təsir kəmiyyətlərinin qiymətləri sabit saxlanılır (qüvvə və ya tunel cərəyanı). Zond nümunə səthinə yaxınlaş- Skanedici zond mikroskopu (SZM) vasitəsilə nümunə səthinin topoqrafiyasının alınması. Təcrübənin nəticələrinin işlənməsi 17 dıqca sensorun siqnalı artır. Komparator sensorun cari siqnalını dayaq gərginliklə-V s müqayisə edərək, korrektə edən-V fb siqnal yaradaraq pyezogətirmə qurğusunun idarə olunması zamanı istifadə edilərək zondun nümunə səthindən uzaqlaşdırır. Bu zaman z pyezogətirmə kanalından nümunə səthinin topoqrafiya şəklini almaq üçün siqnal götürülür. Şəkil 1-6-da zond və nü- munə arasında qarşılıqlı təsir kəmiyyətlərini sabit saxlamaqla zondun nümunəyə nəzərən (əyri 2) və nümunənin zonda nəzə- rən (əyri 1) hərəkət trayektoriyası göstərilmişdir. Əgər zond çu- xur və ya hər hansı səth hissəsində olarkən qarşılıqlı təsir zəif- dirsə onda nümunə yuxarıya qaldırılır, əks halda nümunə aşağı salınır. Əks əlaqə sisteminə müraciət V fb =V lf -V s siqnalı yara- narkən əks əlaqə dövrəsində K sabiti ilə (NanoEducator ciha- zında – Feed Back Loop Gain) və ya bir neçə sabitlə xa- rakterizə olunur. K-nın konkret qiyməti SZM-in xüsusi kons- truksiyasından (skanedicinin konstruksiyası və xarakteri, elek- tron quruluşundan asılıdır), SZM-in iş rejimindən (skanet-mə- nin ölçüləri və sürətini və i.a.), həmçinin tədqiq olunan səthin xüsusiyyətlərindən (kələ-kötürlülüyün səviyyəsindən, topoqra- fiyasının masştab xüsusiyyətindən, materialın bərkliyindən və i.a.) asılıdır. Ümumiyyətlə, K-nın qiyməti nə qədər böyükdürsə, əks əlaqə dövrəsi nümunə səthinin skanedilməsi zamanı alınan nəti- cələrin kifayət qədər daha dəqiq alınmasına imkan verir. Bəzən K -nın qiyməti hər hansı kritik qiyməti aşarsa əks əlaqə sistemi öz-özünü həyəcanlandırmağa meyl edərək, bu zaman skan- edilmiş xətlərdə səs-küylər müşahidə olunur. SZM verilənlərin formatı, təcrübənin nəticələrinin iş- lənməsi üsulları və təqdimi Skanedici zond mikroskopu vasitəsilə alınmış məlumatlar SZM kadrı şəklində ikiölçülü Z ij tam ədədlər massivi kimi sax- lanılır. Hər bir ij cütünə skanedilmiş sahə çərçivəsi daxi-lində nümunə səthinin bir nöqtəsi uyğundur. Səth nöqtələrinin “Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti 18 koordinatlarını hesablamaq üçün nöqtələr arası məsafənin qiy- mətini uyğun indeksə vurmaq lazımdır. SZM kadrları 200x200 və ya 300x300 elementləri olan kvadrat matrislər kimi təsvir olunurlar. Şəkil 1-6. Əks əlaqə sistemində lokal qarşılıqlı təsiri sabit qalmaqla zondun və nümunənin hərəkət trayektoriyaları. SZM kadrların gözlə görünən kompüter qrafikası vasitələri ilə aparılır, əsasən ikiölçülü işıqlı (2D) və üçölçülü (3D) təsvir- ləri şəklindədir. 2D gözlə görünən relyefin Z=F(x,y) səthinin hər nöqtəsinə səthin nöqtəsinin hündürlüyünə uyğun olaraq təyin olunmuş rəngin tonu qarşı qoyulur. Səth üzərində fəzada yerləşmiş hər hansı nöqtənin səthin nöqtəvi mənbələrlə şərti işıqlanma modelləşdirmə əsasında 3D təsvirlərinin rəng-lən- məsi üsulundan istifadə edilir (şəkil 1-7a). Bu zaman relye-fin ayrıca kiçik xüsusiyyətlərini qeyd etmək mümkündür. SZM şəkillərində əhəmiyyətli məlumatlarla bərabər, həmçi- nin çoxlu əlavə məlumatlar da olur ki, bunlar nümunə səthinin morfologiyası və xüsusiyyətləri haqqında yanlış məlumatlardır. Şəkil 1-8 də səthin SZM şəkillərində sxematik olaraq müm- kün təhrif olunmalar verilmişdir. SZM şəkillərinə həmişə sabit tərkib daxildir ki, bu səthin relyefi haqqında heç bir əhəmiyyətli məlumatı göstərmir. Bu z oxu üzrə skanedicinin dinamik diapazonda yerdəyişmələri zamanı nümunənin gətirilmə dəqiqliyini təsvir edir. Sabit tərkib SZM kadrlardan proqram yolu ilə silinir. 2) Zond hərəkətsiz: Nümunənin hərəkət trayektoriyası 1) Nümunə hərəkətsiz: Zondun hərəkət trayektoriyası Skanedici zond mikroskopu (SZM) vasitəsilə nümunə səthinin topoqrafiyasının alınması. Təcrübənin nəticələrinin işlənməsi 19 Şəkil 1-7. SZM təsvirlərinin qrafik üsulları: a) 2D; b) 3D yandan işıqlanma. Şəkil 1-8. SZM şəkillərində mümkün təhrif olunmalar. Skanedici zond mikroskopu vasitəsilə səthin alınmış şək- lində bir qayda olaraq ümumi meyl olur. Bu bir neçə səbəblərlə əlaqədardır. Birincisi, nümunə zonda nəzərən dəqiq qoyulmur və buna görə meyl əmələ gəlir. İkincisi, bu temperatur dreyfi ilə əlaqə- dar olur. Bu isə nümunəyə nəzərən zondun yerdəyişmə-sinə səbəb olur; Üçüncüsü, bu pyezoskanedicinin yerdəyişmə-sinin qeyri-xətliliyi ilə əlaqədardır. Şəkildə meylliyə SZM kadrında böyük ölçüdə zəruri sahə ayrılır ki, nəticədə şəkildə kiçik de- “Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti 20 talların görünməsi mümkün olmur. Belə çatışmazlığı aradan qaldırmaq üçün daimi meyli çıxmaqla əməliyyatı yerinə yeti- rilir (şəkil 1-9). Şəkil 1-9. SZM şəkillərində daimi meylin kənarlaşdırılması. Pyezoskanedicinin xassələri ideal olmadığına görə SZM şəkillərində spesifik təhriflər olur. Xüsusi halda skanedicinin səth müstəvisi üzrə hərəkəti zondun səth (z oxu üzrə) üzərində vəziyyətinə təsir edir, SZM şəkilləri real relyef və hər hansı ikinci (çox halda daha yüksək) tərtibli səthin superpozisiyala- rından ibarət olur. Bu qüsurları kənarlaşdırmaq üçün ən kiçik kvadratlar üsulu vasitəsilə verilmiş səthdən minimal fərqlənən apraksimasiyadan ikinci tərtib səth tapılır və sonra bu səth, ilkin SZM şəkillərindən çıxılır. Aparatların küyü skanetmə vaxtı zond-nümunə kontaktının stabil olmaması, xarici akustik səslər və titrəmələr SZM şəkillərində faydalı məlumatlarla bərabər, küy xarakterli yanlış məlumatlar da daxil olur. Xüsusi halda SZM şəkillərindən küyü müxtəlif filtrlər tətbiq etməklə proqram vasitələrinin köməyilə silmək olar. NanoEducator skanedici zond mikroskopunun konst- ruksiyası [4] Şəkil 1-10-da NanoEducatorun ölçən başlığının xarici gö- rünüşü verilmiş və işləyərkən cihazın əsas elementləri göstə-ril- mişdir. Şəkil 1-11-də ölçən başlığın konstruksiyası verilmiş-dir: Skanedici zond mikroskopu (SZM) vasitəsilə nümunə səthinin topoqrafiyasının alınması. Təcrübənin nəticələrinin işlənməsi 21 1-bünövrəsi üzərində skanedici yerləşdirilib; 7-altlıq; 6- zond; 2-əsasında addımlı mühərrik olan gətirmə mexanizmi; 4-qarşı- lıqlı təsir çeviricisinə bərkidilmiş 6-zond; 3 əl burğu (vinti) vasitəsilə nümunəyə gətirmə; 8-burğusunun köməyilə nümunə üzərində tədqiqat üçün qabaqcadan yerin seçilməsi. Şəkil 1-12- də cihazın funksional sxemi verilmişdir. Nano-Eductor ölçən başlıqdan, elektron blokdan, birləşdirici kabellərdən, idarəedici kompüterdən ibarətdir. Kompüterlə əlaqəsi olan videokamera ayrıca qurğu kimi göstərilmişdir. Qarşılıqlı təsir çeviricisindən siqnal alınan kimi əvvəlcə çevrildikdən sonra gücləndiricidən SZM kontrollerə daxil olur. Elektron blokdan daxil olan idarəedici siqnal ölçən başlığa daxil olur. Kontroller əlaqəsi ilə kompüterlə elektron blokun idarə olunması həyata keçirilir. Tunel cərəyanı və qarşılıqlı təsir qüvvəsinin universal çeviricisi NanoEductor cihazında tunel cərəyanı və qarşılıqlı təsir modulyasiya qüvvəsinin universal çeviricisi tətbiq olunur. Çe- virici uzunluğu l=7 mm, diametri d=1,2 mm və divarının qalın- lığı h=0,25 mm olan bir tərəfi möhkəm bağlanmış pyezokera- mik boru şəklində hazırlanmışdır. Borunun daxili səthində ke- çirici elektrod yerləşir. Borunun xarici səthinə izolə edilmiş iki yarım silindrik elektrod yerləşdirilmişdir. Borunun sərbəst ucu- na diametri 100 mkm olan volfram naqil bərkidilmişdir (şəkil 1-13). Zond kimi istifadə olunan volfram naqilin sərbəst ucu elek- trokimyəvi üsulla itilənir (əyrilik radiusu 0,2 - 0,05 mkm olur). Borunun daxili elektrodu ilə zond elektrik kontaktına malikdir. Tunel cərəyanını ölçərkən pyezoboru sərt passiv konsol rolunu oynayır. Yerlə birləşdirilmiş zonda nəzərən nümunəyə elektrik gərginliyi tətbiq olunur (şəkil 1-14). Şəkildəki təsvir olunan çevirici U T - elektrik gərginliyini əmələ gətirir, bu tunel cərə- yanının yaranmasına səbəb olur və elektron blokda bu cərə- yanla mütənasib olan U-gərginliyini verir. “Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti 22 Şəkil 1-10. SZM NanoEducatorun ölçən başlığının xarici görünüşü: 1 - əsası; 2 - altlıq; 3 - qarşılıqlı təsir çeviricisi; 4 - çeviricini nizamlayan burğu; 5 - əl ilə gətirmə burğusu; 6-nümunələrlə birlikdə skanedicinin yerdəyişmə burğusu; 7 - kamera ilə birlikdə qapaq. Şəkil 1-11. NanoEductorun konstruksiyası: 1-əsası; 2 - gətirmə mexanizmi; 3 - əl ilə gətirmə burğusu; 4-qarşılıqlı təsir çeviricisi; 5-çeviricini nizamlayan burğu; 6 - zond; 7 - altlıq; 8 - skanedici; 9, 10-nümunə ilə birlikdə skanedicinin yerini dəyişdirən burğu. Skanedici zond mikroskopu (SZM) vasitəsilə nümunə səthinin topoqrafiyasının alınması. Təcrübənin nəticələrinin işlənməsi 23 Şəkil 1-12. NanoEducator cihazının funksional sxemi. Qarşılıqlı təsir qüvvəsi çeviricisi kimi pyezoelektrik boru- nun bir hissəsi pyezovibrator, o biri tərəfi mexaniki rəqsin çeviricisi kimi istifadə olunur. Pyezovibratora qüvvə çevirici- sinin rezonans tezliyinə bərabər tezlikli dəyişən elektrik gərgin- liyi verilir. Rəqs amplitudu zond-nümunə məsafəsinin böyük qiymətlərində maksimal olur. Şəkil 1-16-dan göründüyü kimi rəqs prosesində zond tarazlıq vəziyyətindən A 0 kəmiyyəti qədər meyl edir. Bu onun məcburi mexaniki rəqs amplituduna bəra- bərdir (mkr tərtibində). Bu zaman pyezoelementin ikinci hissə- sində (rəqs çeviricisi) zondun yerdəyişməsinə mütənasib olan dəyişən elektrik cərəyanı yaranır və deməli, cihaz tərəfindən bu cərəyan qeydə alınır. Rəqs zamanı zond nümunə səthinə yaxınlaşdıqda zond nü- munəyə toxunmağa başlayır. Bu çeviricinin rəqslərinin ampli- tud-tezlik xarakteristikasının (ATX) səthdən uzaqda olar-kən ölçülmüş ATX ilə müqayisəsinə görə sola tərəf yerinin dəyiş- məsinə gətirər. Belə ki, pyezoborunun məcburi rəqslərinin “Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti 24 tezliyi sabit saxlanılır və sərbəst vəziyyətdəki 0 ω tezliyinə bə- rabər olur, zond səthə yaxınlaşarkən onun rəqs amplitudu azalır və A-ya bərabər olur. Bu amplitud pyezoborunun ikinci yarım- hissəsində qeydə alınır. Şəkil 1-13. NanoEductor cihazının universal çeviricisinin Konstruksiyası. Şəkil 1-14. Tunel cərəyanının qeydiyyatı prinsipi. Skanedici zond mikroskopu (SZM) vasitəsilə nümunə səthinin topoqrafiyasının alınması. Təcrübənin nəticələrinin işlənməsi 25 Şəkil 1-15. Qarşılıqlı təsir qüvvə çeviricisi kimi işlədilən pyezoelektrik borunun iş prinsipi. Şəkil 1-16. Qüvvə çeviricisinin nümunə səthinə yaxınlaşarkən rəqs tezliyinin dəyişməsi. Skanedici NanoEducator cihazında istifadə olunan mikro- dəyişmələri təşkil etmək üsulları pyezolövhəyə yapışdırılmış səthə metal membranın bütün perimetri boyunca sıxılmasına əsaslanmışdır (şəkil 1-17a). İdarəedici gərginliyin təsiri altında pyezolövhənin ölçülərinin dəyişməsi membranın əyilməsinə səbəb olur. Kubun üç perpendikulyar tərəfləri üzrə membranlar yerləşdirilir və onların mərkəzlərini metal istiqamətləndiricilə birləşdirərək 3 koordinatlı skanedici almaq olar (şəkil 1-17b). “Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti 26 2 kubun üzlərinə birləşdirilmiş hər bir 1 pyezoelementi ona birləşdirilmiş 3 itələyicisini tətbiq olunan elektrik gərginliyin hesabına x, y və z istiqamətlərdə hərəkət etdirə bilər. Şəkildən görünür ki, hər üç itələyici bir nöqtədə birləşibdir. Bəzi təqri- biliyi nəzərə alaq ki, bu nöqtə üç x, y və z koordinatları üzrə yerini dəyişir. Bu nöqtəyə altlıq-6 və 5-dayağı bərkidilmişdir. Beləliklə, üç asılı olmayan gərginlik mənbəyinin təsiri nəticə- sində nümunə hər üç koordinat üzrə yerini dəyişir. NanoEdu- cator da nümunənin maksimal yerdəyişməsi 50-70 mkm-dir. Bu skanetmənin maksimal sahəsini təyin edir. Zondun nümunəyə avtomatik yaxınlaşma mexanizmi (əks əlaqənin yaranması) Skanedicinin z oxu üzrə yerdəyişmə diapazonu 10 mkm təş- kil edir, buna görə də skanetmədən əvvəl zondu nümunəyə bu məsafəyə qədər yaxınlaşdırmaq lazımdır. Bunun üçün gətirmə mexanizmi var, bu şəkil 1-18 də verilmişdir. 1 addım mühərri- kinə elektrik impulsu verərkən 3 çevirici burğunu fırladaraq və 3 plankasını 4 zondu ilə birlikdə 6 skanedicisi ilə birləşdirilmiş nümunəyə yaxınlaşdırılır və ya uzaqlaşdırılır. Bir addımının uzunluğu təqribən 2 mkm-dir. Yaxınlaşma mexanizminin addımı zond və nümunə arasın- dakı məsafədən xeyli böyük olduğundan skanetmə prosesi vaxtı zond deformasiyaya məruz qalmasın deyə onun yaxınlaşması addım mühərrikinin işləməsi ilə eyni zamanda həyata keçirilir və aşağıdakı alqoritm üzrə skanedici z oxu üzrə yerini dəyişir. Əks əlaqə sistemi sönür və skanedici qalxır, yəni nümunə aşağıdakı son vəziyyətə düşür: 1. Zondun gətirilmə mexanizmi bir addım edir və dayanır; 2. Əks əlaqə sistemi işə düşür və skanedici yavaşca nümunəni yuxarıya qaldırır, bu zaman zond-nümunə qarşılıqlı təsirin yaranması analiz edilir; 3. Əgər qarşılıqlı təsir yaranmırsa proses 1 punktunda yenidən təkrar olunur. Skanedici zond mikroskopu (SZM) vasitəsilə nümunə səthinin topoqrafiyasının alınması. Təcrübənin nəticələrinin işlənməsi 27 a a a ) ) ) b b b ) ) ) Şəkil 1-17. NanoEducator skanedici cihazının hərəkət prinsipi (a) və konstruksiyası (b). Şəkil 1-18. Nümunə səthinə zondun gətirilmə mexanizminin sxemi. Əgər skanedici yuxarı hərəkət edərkən sıfırdan fərqli siqnal yaranarsa əks əlaqə sistemi skanedicinin yuxarıya hərəkətini saxlayır və bu səviyyədə qarşılıqlı təsirin qiymətini qeydə alır. Zondun nümunəyə yaxınlaşması dayandıqda və skanetmə pro- sesi baş verdikdə qarşılıqlı təsir qüvvəsinin qiyməti NanoEdu- cator qurğusunda Amplitude Suppresion(ampli-tudın azalma- sı) parametri ilə xarakterizə olunur: A=A 0 (1 - Amplitude Suppression). SZM təcrübəsinin aparılması [4] NanoEducator proqramını çağırdıqdan sonra kompüterin ekranında baş pəncərə təsvir olunacaq (şəkil 1-19). File men- “Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti 28 yusundan istifadə edərək Open və ya New və yaxud alətlər panelində uyğun düymələri seçməklə işə başlamaq olar. File ⇒ New komandasını seçilməsi SZM də ölçmələrə keçməyi göstərir. File ⇒ Open komandasının seçmək isə əvvəllər alın- mış şəkillərə baxılması və işlədilməsi başa düşülür. Proqram ölçmələrlə yanaşı, həmçinin verilənlərə baxılmasını və həm də işlədilməsinə imkan verir. Şəkil 1-19. NanoEducator proqramının baş pəncərəsi. File ⇒ New komandasının icra olunmasından sonra ekranda dialoq pəncərəsi yaranmış olur, işçi qovluğun seçilməsi və ya yaradılması imkanı yaranır və cari ölçmələrin nəticələri qov- luğa yazılacağı nəzərdə tutulur. Ölçmə prosesini apararkən bütün alınmış verilənlər ardıcıl olaraq razılaşmaya görə ScanData+i.spm adlı fayla yazılacaq, burada i-indeksi proqram işə düşərkən sıfır qiymətini alır və hər bir yeni ölçmələr üçün qiyməti artmış olur. ScanData+i.spm faylları işçi qovluqda yerləşdirilir. Hər yeni ölçmələrə başlamazdan əvvəl qərarlaş- dırılır. Ölçmələr aparılan vaxtı başqa işçi qovluğun seçilməsi Skanedici zond mikroskopu (SZM) vasitəsilə nümunə səthinin topoqrafiyasının alınması. Təcrübənin nəticələrinin işlənməsi 29 imkanı mövcuddur. Bunun üçün proqramın baş pəncərəsinin alətlər panelində yerləşən düyməsini sıxmaq lazımdır. Skanetmə pəncərəsində Save Experiment düyməsini sıx- maqla cari ölçmələrin nəticələrini saxlamaq olar, yaranan dialoq pəncərəsində qovluğu seçmək və faylın adını göstərmək lazımdır, bu zaman ScanData+i.spm faylı ölçmələr aparılan proses vaxtı müvəqqəti fayl olub sizin göstərdiyiniz fayl adına dəyişəcək. Ölçmələrə başlamazdan əvvəl fayl seçdiyiniz işçi qovluqda saxlanılacaq. Əgər ölçmələrin nəticələrini saxlanıl- mazsa onda yenidən proqramı işlədərkən ScanData+i.spm mü- vəqqəti fayla yazılmış nəticələr ardıcıl olaraq yenidən yazılacaq (əgər işçi qovluq dəyişməyibdirsə) proqramı bağla-yarkən və yenidən işlədərkən işçi qovluqda ölçmələrin nəticələri olan müvəqqəti faylların mövcudluğu haqqında xəbərdaredici məlumat verilir. ScanData standart adını dəyişmək olar. Bunu işçi qovluğun seçilməsi pəncərəsində etmək olar. İşçi qovluğun seçilməsi pəncərəsi proqramın baş pəncərəsinin alətlər pane- lində yerləşən düyməsini sıxmaqla həyata keçirilir. SPM File Explorer pəncərəsində ölçmələrin nəticəsini saxlamaq olar. Lazımi faylları növbə ilə seçərək seçilmiş qovluqda onları saxlamaq lazımdır. NanoEducator cihazı ilə alınmış nəticələri ASCII formatı- na çevirmək olar. Bunu NT MDT istifadə olunan Nova və baş- qa proqramlarla da etmək olar. Skanedilmiş şəkillər, həmçinin onların kəsikləri olan verilənləri ASCII formatına çevirmək olar. Verilənləri ASCII formatına çevirmək üçün proqramın baş pəncərəsindəki alətlər panelində yerləşmiş Export düymə- sini sıxmalı və ya File menyusunun Export → ASCII rejimini seçmək lazımdır. Dialoq pəncərəsini bağladıqdan sonra ekranda cihazın idarə olunması paneli görünür (şəkil 1-20). Cihazın idarə olunması “Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti 30 panelinin sol hissəsində SZM-in konfiqurasiyasını seçmək üçün düymələr yerləşir: - skanedici qüvvə mikroskopu (SQM); - skanedici tunel mikroskopu (STM). Yüklə 4,53 Kb. Dostları ilə paylaş:
|