M.Ə. Ramazanov, A. Q. Həsənov



Yüklə 4.53 Kb.
PDF просмотр
səhifə2/16
tarix02.12.2016
ölçüsü4.53 Kb.
1   2   3   4   5   6   7   8   9   ...   16

Şəkil 1-5. Skanetmə prosesinin sxematik şəkli. 
 
Skanetmədən əvvəl seçilən əsas parametrlər bunlardır: 
-
 
Skanetmənin ölçüsü; 
-
 
Skanetmənin addımı 
∆ -nı  təyin edən, 
x
 və 
y
xətləri üzrə 
nöqtələrin sayı; 
-
 
Skanetmənin sürəti. 
Tədqiq olunan obyekt haqqında tədqiqatçının ilkin məlu-
matları əsasında skanetmənin parametrləri seçilir (səthin xarak-
teristik xüsusiyyətlərinin ölçülərini nəzərə almaqla).  
Skanetmənin ölçülərini seçərkən nümunənin səthi haqqında 
tam məlumat əldə etmək zəruridir, yəni nümunə səthinin xarak-
teristik xüsusiyyətləri haqqında geniş  məlumat olmalıdır. Mə-
sələn, periodu 3 mkm olan difraksiya qəfəsini skan etmək üçün, 
heç olmasa bir neçə period haqqında təsəvvür olmalıdır, yəni 
skanetmənin ölçüsü 10-15 mkm olmalıdır. Əgər tədqiq olunan 
obyektin xarakteristik xüsusiyyətlərinin səth üzrə yer-ləşməsi 
bircinsli deyilsə, onda kifayət qədər dəqiq qiymətlən-dirmək 
“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
 
 
16
üçün, nümunə səthi üzərində bir-birindən kənarda olan bir neçə 
nöqtələrdə skanetməni aparmaq zəruridir.  Əgər tədqiq olunan 
obyekt haqqında məlumat yoxdursa, əvvəlcə  səth haqqında 
ümumi xarakterli məlumat almaq üçün, səth üzərində elə sahəni 
seçmək lazımdır ki, skanetmə  nəticəsində obyekt haqqında 
müəyyən təsəvvürlər yaranmış olsun. Təkrar skan edərkən 
skanetmənin ölçülərinin seçilməsi ümumi xarakterli skanetmə 
zamanı alınmış verilənlər əsasda aparılmalıdır. 
Skanetmə zamanı nöqtələrin sayı (N
x
, N
y
) elə seçilir ki, 
skan etmə 
∆  addımı (nöqtələr arasında məsafə olub səth haq-
qında məlumatın oxunması həyata keçirilir) xarakteristik xüsu-
siyyətlərindən kiçik olsun, əks halda isə nöqtələr arası skan-
etmə zamanı  məlumatın bir hissəsi itmiş olar. Digər tərəfdən 
əlavə nöqtələrin seçilməsi skanetmə vaxtının artmasına səbəb 
olar. 
Məlumatın oxunması zamanı zondun nöqtələr arasında hə-
rəkət etmə sürəti skanetmənin sürətini təyin edir. Əlavə yük-sək 
sürətin olması  əks  əlaqə sisteminin zondu səthdən uzaqlaş-
dırmasına imkanı olmaz, bu isə  şaquli ölçülərin səhv oxun-
masına, həmçinin zondun və nümunə  səthinin zədələnməsinə 
səbəb olar. Skanetmənin kiçik sürətlə aparılması isə skanetmə 
vaxtının artmasına səbəb olardı. 
Əks əlaqə sistemi 
Skanetmə prosesi zamanı zond nümunə  səthinin müxtəlif 
fiziki xassələrə malik müxtəlif hissələri üzərində ola bilər, bu-
nun nəticəsində zond və nümunə arasında qarşılıqlı  təsir kə-
miyyətinin qiyməti və xarakteri dəyişmiş olacaqdır. Bundan 
əlavə, nümunə səthi hamar deyilsə, onda skanetmə zamanı zond 
və nümunə arasındakı z məsafəsi dəyişmiş olacaq və buna uy-
ğun olaraq lokal qarşılıqlı  təsir kəmiyyətlərinin qiymətləri də 
dəyişmiş olacaqdır. 
Əks  əlaqə sisteminin köməyilə skanetmə prosesi zamanı 
lokal qarşılıqlı  təsir kəmiyyətlərinin qiymətləri sabit saxlanılır 
(qüvvə  və ya tunel cərəyanı). Zond nümunə  səthinə yaxınlaş-

Skanedici zond mikroskopu (SZM) vasitəsilə nümunə  səthinin topoqrafiyasının 
alınması. Təcrübənin nəticələrinin işlənməsi  
 
 
 
 
 
 
17 
dıqca sensorun siqnalı artır. Komparator sensorun cari siqnalını 
dayaq gərginliklə-V
s
 müqayisə edərək, korrektə edən-V
fb
 siqnal 
yaradaraq pyezogətirmə qurğusunun idarə olunması zamanı 
istifadə edilərək zondun nümunə  səthindən uzaqlaşdırır. Bu 
zaman z pyezogətirmə kanalından nümunə səthinin topoqrafiya 
şəklini almaq üçün siqnal götürülür. Şəkil 1-6-da zond və nü-
munə arasında qarşılıqlı  təsir kəmiyyətlərini sabit saxlamaqla 
zondun nümunəyə nəzərən (əyri 2) və nümunənin zonda nəzə-
rən (əyri 1) hərəkət trayektoriyası göstərilmişdir. Əgər zond çu-
xur və ya hər hansı səth hissəsində olarkən qarşılıqlı təsir zəif-
dirsə onda nümunə yuxarıya qaldırılır, əks halda nümunə aşağı 
salınır.  Əks  əlaqə sisteminə müraciət V
fb
=V
lf
-V
s
 siqnalı yara-
narkən əks əlaqə dövrəsində K sabiti ilə (NanoEducator ciha-
zında – Feed Back Loop Gain) və ya bir neçə sabitlə xa-
rakterizə olunur. K-nın konkret qiyməti SZM-in xüsusi kons-
truksiyasından (skanedicinin konstruksiyası  və xarakteri, elek-
tron quruluşundan asılıdır), SZM-in iş rejimindən (skanet-mə-
nin ölçüləri və sürətini və i.a.), həmçinin tədqiq olunan səthin 
xüsusiyyətlərindən (kələ-kötürlülüyün səviyyəsindən, topoqra-
fiyasının masştab xüsusiyyətindən, materialın bərkliyindən və 
i.a.) asılıdır. 
Ümumiyyətlə,  K-nın qiyməti nə  qədər böyükdürsə,  əks 
əlaqə dövrəsi nümunə səthinin skanedilməsi zamanı alınan nəti-
cələrin kifayət qədər daha dəqiq alınmasına imkan verir. Bəzən 
-nın qiyməti hər hansı kritik qiyməti aşarsa əks əlaqə sistemi 
öz-özünü həyəcanlandırmağa meyl edərək, bu zaman skan-
edilmiş xətlərdə səs-küylər müşahidə olunur. 
SZM verilənlərin formatı, təcrübənin nəticələrinin iş-
lənməsi üsulları və təqdimi 
Skanedici zond mikroskopu vasitəsilə alınmış  məlumatlar 
SZM kadrı şəklində ikiölçülü Z
ij
 tam ədədlər massivi kimi sax-
lanılır. Hər bir ij cütünə skanedilmiş sahə  çərçivəsi daxi-lində 
nümunə  səthinin bir nöqtəsi uyğundur. Səth nöqtələrinin 
“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
 
 
18
koordinatlarını hesablamaq üçün nöqtələr arası məsafənin qiy-
mətini uyğun indeksə vurmaq lazımdır. SZM kadrları 200x200 
və ya 300x300 elementləri olan kvadrat matrislər kimi təsvir 
olunurlar.  
 
 
 
Şəkil 1-6. Əks əlaqə sistemində lokal qarşılıqlı təsiri sabit qalmaqla 
zondun və nümunənin hərəkət trayektoriyaları. 
 
SZM kadrların gözlə görünən kompüter qrafikası vasitələri 
ilə aparılır, əsasən ikiölçülü  işıqlı (2D) və üçölçülü (3D) təsvir-
ləri  şəklindədir. 2D gözlə görünən relyefin Z=F(x,y)  səthinin 
hər nöqtəsinə  səthin nöqtəsinin hündürlüyünə uyğun olaraq 
təyin olunmuş rəngin tonu qarşı qoyulur. Səth üzərində fəzada 
yerləşmiş  hər hansı nöqtənin səthin nöqtəvi mənbələrlə  şərti 
işıqlanma modelləşdirmə  əsasında 3D təsvirlərinin rəng-lən-
məsi üsulundan istifadə edilir (şəkil  1-7a). Bu zaman relye-fin 
ayrıca kiçik xüsusiyyətlərini qeyd etmək mümkündür. 
SZM şəkillərində əhəmiyyətli məlumatlarla bərabər, həmçi-
nin çoxlu əlavə məlumatlar da olur ki, bunlar nümunə səthinin 
morfologiyası və xüsusiyyətləri haqqında yanlış məlumatlardır. 
Şəkil 1-8 də səthin SZM şəkillərində sxematik olaraq müm-
kün təhrif olunmalar verilmişdir. 
SZM  şəkillərinə  həmişə sabit tərkib daxildir ki, bu səthin 
relyefi haqqında heç bir əhəmiyyətli məlumatı göstərmir. Bu z 
oxu üzrə skanedicinin dinamik diapazonda yerdəyişmələri 
zamanı nümunənin gətirilmə dəqiqliyini təsvir edir. Sabit tərkib 
SZM kadrlardan proqram yolu ilə silinir. 
2) Zond hərəkətsiz: 
Nümunənin hərəkət 
trayektoriyası 
1) Nümunə hərəkətsiz: 
Zondun hərəkət 
trayektoriyası 

Skanedici zond mikroskopu (SZM) vasitəsilə nümunə  səthinin topoqrafiyasının 
alınması. Təcrübənin nəticələrinin işlənməsi  
 
 
 
 
 
 
19 
 
Şəkil 1-7.  SZM təsvirlərinin qrafik üsulları: 
a) 2D;   b) 3D yandan işıqlanma
 
Şəkil 1-8. SZM şəkillərində mümkün təhrif olunmalar. 
 
Skanedici zond mikroskopu vasitəsilə  səthin alınmış  şək-
lində bir qayda olaraq ümumi meyl olur. Bu bir neçə səbəblərlə 
əlaqədardır.  
Birincisi, nümunə zonda nəzərən dəqiq qoyulmur və buna 
görə meyl əmələ gəlir. İkincisi, bu temperatur dreyfi ilə əlaqə-
dar olur. Bu isə nümunəyə  nəzərən zondun yerdəyişmə-sinə 
səbəb olur; Üçüncüsü, bu pyezoskanedicinin yerdəyişmə-sinin 
qeyri-xətliliyi ilə  əlaqədardır.  Şəkildə meylliyə SZM kadrında 
böyük ölçüdə  zəruri sahə ayrılır ki, nəticədə  şəkildə kiçik de-
“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
 
 
20
talların görünməsi mümkün olmur. Belə çatışmazlığı aradan 
qaldırmaq üçün daimi meyli çıxmaqla  əməliyyatı yerinə yeti-
rilir (şəkil 1-9). 
 
Şəkil 1-9. SZM şəkillərində daimi meylin kənarlaşdırılması. 
 
Pyezoskanedicinin xassələri ideal olmadığına görə SZM 
şəkillərində spesifik təhriflər olur. Xüsusi halda skanedicinin 
səth müstəvisi üzrə hərəkəti zondun səth (z oxu üzrə) üzərində 
vəziyyətinə  təsir edir, SZM şəkilləri real relyef və  hər hansı 
ikinci (çox halda daha yüksək) tərtibli səthin superpozisiyala-
rından ibarət olur. Bu qüsurları  kənarlaşdırmaq üçün ən kiçik 
kvadratlar üsulu vasitəsilə verilmiş  səthdən minimal fərqlənən 
apraksimasiyadan ikinci tərtib səth tapılır və sonra bu səth, ilkin 
SZM şəkillərindən çıxılır.  
Aparatların küyü skanetmə vaxtı zond-nümunə kontaktının 
stabil olmaması, xarici akustik səslər və titrəmələr SZM 
şəkillərində faydalı məlumatlarla bərabər, küy xarakterli yanlış 
məlumatlar da daxil olur. Xüsusi halda SZM şəkillərindən küyü 
müxtəlif filtrlər tətbiq etməklə proqram vasitələrinin köməyilə 
silmək olar. 
NanoEducator skanedici zond mikroskopunun konst-
ruksiyası [4] 
Şəkil 1-10-da NanoEducatorun ölçən başlığının xarici gö-
rünüşü verilmiş və işləyərkən cihazın əsas elementləri göstə-ril-
mişdir. Şəkil 1-11-də ölçən başlığın konstruksiyası verilmiş-dir: 

Skanedici zond mikroskopu (SZM) vasitəsilə nümunə  səthinin topoqrafiyasının 
alınması. Təcrübənin nəticələrinin işlənməsi  
 
 
 
 
 
 
21 
1-bünövrəsi üzərində skanedici yerləşdirilib; 7-altlıq; 6- zond; 
2-əsasında addımlı mühərrik olan gətirmə mexanizmi; 4-qarşı-
lıqlı  təsir çeviricisinə  bərkidilmiş 6-zond; 3 əl burğu (vinti) 
vasitəsilə nümunəyə  gətirmə; 8-burğusunun köməyilə nümunə 
üzərində tədqiqat üçün qabaqcadan yerin seçilməsi. Şəkil 1-12-
də cihazın funksional sxemi verilmişdir.  Nano-Eductor ölçən 
başlıqdan, elektron blokdan, birləşdirici kabellərdən, idarəedici 
kompüterdən ibarətdir. Kompüterlə  əlaqəsi olan videokamera 
ayrıca qurğu kimi göstərilmişdir. Qarşılıqlı təsir çeviricisindən 
siqnal alınan kimi əvvəlcə çevrildikdən sonra gücləndiricidən 
SZM kontrollerə daxil olur. Elektron blokdan daxil olan 
idarəedici siqnal ölçən başlığa daxil olur. Kontroller əlaqəsi ilə 
kompüterlə elektron blokun idarə olunması həyata keçirilir. 
Tunel cərəyanı  və qarşılıqlı  təsir qüvvəsinin universal 
çeviricisi 
NanoEductor cihazında tunel cərəyanı  və qarşılıqlı  təsir 
modulyasiya qüvvəsinin universal çeviricisi tətbiq olunur. Çe-
virici uzunluğu l=7 mm, diametri d=1,2 mm və divarının qalın-
lığı  h=0,25 mm olan bir tərəfi möhkəm bağlanmış pyezokera-
mik boru şəklində hazırlanmışdır. Borunun daxili səthində ke-
çirici elektrod yerləşir. Borunun xarici səthinə izolə edilmiş iki 
yarım silindrik elektrod yerləşdirilmişdir. Borunun sərbəst ucu-
na diametri 100 mkm olan volfram naqil bərkidilmişdir (şəkil  
1-13). 
Zond kimi istifadə olunan volfram naqilin sərbəst ucu elek-
trokimyəvi üsulla itilənir (əyrilik radiusu 0,2 - 0,05 mkm olur). 
Borunun daxili elektrodu ilə zond elektrik kontaktına malikdir. 
Tunel cərəyanını ölçərkən pyezoboru sərt passiv konsol rolunu 
oynayır. Yerlə birləşdirilmiş zonda nəzərən nümunəyə elektrik 
gərginliyi tətbiq olunur (şəkil 1-14). Şəkildəki təsvir olunan 
çevirici  U
T
  - elektrik gərginliyini  əmələ  gətirir, bu tunel cərə-
yanının yaranmasına səbəb olur və elektron blokda bu cərə-
yanla mütənasib olan U-gərginliyini verir. 
“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
 
 
22
 
Şəkil 1-10.   SZM NanoEducatorun ölçən başlığının xarici görünüşü: 
1 - əsası; 2 - altlıq; 3 - qarşılıqlı təsir çeviricisi; 
4 - çeviricini nizamlayan burğu; 5 - əl ilə gətirmə burğusu;   
6-nümunələrlə birlikdə skanedicinin yerdəyişmə burğusu; 
7 - kamera ilə birlikdə qapaq. 
 
 
 
Şəkil 1-11.   NanoEductorun konstruksiyası: 1-əsası; 2 - gətirmə 
mexanizmi; 3 - əl ilə gətirmə burğusu; 4-qarşılıqlı 
təsir çeviricisi; 5-çeviricini nizamlayan burğu; 6 - zond; 
7 - altlıq; 8 - skanedici; 9, 10-nümunə ilə birlikdə 
skanedicinin yerini dəyişdirən burğu. 

Skanedici zond mikroskopu (SZM) vasitəsilə nümunə  səthinin topoqrafiyasının 
alınması. Təcrübənin nəticələrinin işlənməsi  
 
 
 
 
 
 
23 
 
Şəkil 1-12. NanoEducator cihazının funksional sxemi. 
 
Qarşılıqlı  təsir qüvvəsi çeviricisi kimi pyezoelektrik boru-
nun  bir hissəsi pyezovibrator, o biri tərəfi mexaniki rəqsin 
çeviricisi kimi istifadə olunur. Pyezovibratora qüvvə çevirici-
sinin rezonans tezliyinə bərabər tezlikli dəyişən elektrik gərgin-
liyi verilir. Rəqs amplitudu zond-nümunə  məsafəsinin böyük 
qiymətlərində maksimal olur. Şəkil 1-16-dan  göründüyü kimi 
rəqs prosesində zond tarazlıq vəziyyətindən A
0
 kəmiyyəti qədər 
meyl edir. Bu onun məcburi mexaniki rəqs amplituduna bəra-
bərdir (mkr tərtibində). Bu zaman pyezoelementin ikinci hissə-
sində (rəqs çeviricisi) zondun yerdəyişməsinə mütənasib olan 
dəyişən elektrik cərəyanı yaranır və deməli, cihaz tərəfindən bu 
cərəyan qeydə alınır. 
Rəqs zamanı zond nümunə səthinə yaxınlaşdıqda zond nü-
munəyə toxunmağa başlayır. Bu çeviricinin rəqslərinin ampli-
tud-tezlik xarakteristikasının (ATX) səthdən uzaqda olar-kən 
ölçülmüş  ATX ilə müqayisəsinə görə sola tərəf yerinin dəyiş-
məsinə  gətirər. Belə ki, pyezoborunun məcburi rəqslərinin 
“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
 
 
24
tezliyi sabit saxlanılır və  sərbəst vəziyyətdəki
0
ω
tezliyinə  bə-
rabər olur, zond səthə yaxınlaşarkən onun rəqs amplitudu azalır 
və A-ya bərabər olur. Bu amplitud pyezoborunun ikinci yarım-
hissəsində qeydə alınır. 
 
Şəkil 1-13. NanoEductor cihazının universal çeviricisinin   
                   Konstruksiyası. 
 
Şəkil 1-14. Tunel cərəyanının qeydiyyatı prinsipi. 

Skanedici zond mikroskopu (SZM) vasitəsilə nümunə  səthinin topoqrafiyasının 
alınması. Təcrübənin nəticələrinin işlənməsi  
 
 
 
 
 
 
25 
 
Şəkil 1-15. Qarşılıqlı  təsir qüvvə çeviricisi kimi işlədilən 
pyezoelektrik borunun iş prinsipi. 
 
Şəkil 1-16. Qüvvə çeviricisinin nümunə səthinə yaxınlaşarkən rəqs  
tezliyinin dəyişməsi. 
Skanedici NanoEducator cihazında istifadə olunan mikro-
dəyişmələri təşkil etmək üsulları pyezolövhəyə yapışdırılmış 
səthə metal membranın bütün perimetri boyunca sıxılmasına 
əsaslanmışdır (şəkil 1-17a). İdarəedici gərginliyin təsiri altında 
pyezolövhənin ölçülərinin dəyişməsi membranın  əyilməsinə 
səbəb olur. Kubun üç perpendikulyar tərəfləri üzrə membranlar 
yerləşdirilir və onların mərkəzlərini metal istiqamətləndiricilə 
birləşdirərək 3 koordinatlı skanedici almaq olar (şəkil  1-17b). 
“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
 
 
26
2 kubun üzlərinə birləşdirilmiş hər bir 1 pyezoelementi ona 
birləşdirilmiş 3 itələyicisini tətbiq olunan elektrik gərginliyin 
hesabına x, y və z istiqamətlərdə hərəkət etdirə bilər. Şəkildən 
görünür ki, hər üç itələyici bir nöqtədə birləşibdir. Bəzi təqri-
biliyi nəzərə alaq ki, bu nöqtə üç x, y və z koordinatları üzrə 
yerini dəyişir. Bu nöqtəyə altlıq-6 və 5-dayağı  bərkidilmişdir. 
Beləliklə, üç asılı olmayan gərginlik mənbəyinin təsiri nəticə-
sində nümunə hər üç koordinat üzrə yerini dəyişir. NanoEdu-
cator da nümunənin maksimal yerdəyişməsi 50-70 mkm-dir. 
Bu skanetmənin maksimal sahəsini təyin edir. 
Zondun nümunəyə avtomatik yaxınlaşma mexanizmi 
(əks əlaqənin yaranması)  
Skanedicinin z oxu üzrə yerdəyişmə diapazonu 10 mkm təş-
kil edir, buna görə də skanetmədən əvvəl zondu nümunəyə bu 
məsafəyə  qədər yaxınlaşdırmaq lazımdır. Bunun üçün gətirmə 
mexanizmi var, bu şəkil 1-18 də verilmişdir. 1 addım mühərri-
kinə elektrik impulsu verərkən 3 çevirici burğunu fırladaraq və 
3 plankasını 4 zondu ilə birlikdə 6 skanedicisi ilə birləşdirilmiş 
nümunəyə yaxınlaşdırılır və ya uzaqlaşdırılır. Bir addımının 
uzunluğu təqribən 2 mkm-dir. 
Yaxınlaşma mexanizminin addımı zond və nümunə arasın-
dakı məsafədən xeyli böyük olduğundan skanetmə prosesi vaxtı 
zond deformasiyaya məruz qalmasın deyə onun yaxınlaşması 
addım mühərrikinin işləməsi ilə eyni zamanda həyata keçirilir 
və aşağıdakı alqoritm üzrə skanedici z oxu üzrə yerini dəyişir. 
Əks  əlaqə sistemi sönür və skanedici qalxır, yəni nümunə 
aşağıdakı son vəziyyətə düşür: 
1.
 
Zondun gətirilmə mexanizmi bir addım edir və dayanır; 
2.
 
Əks əlaqə sistemi işə düşür və skanedici yavaşca nümunəni 
yuxarıya qaldırır, bu zaman zond-nümunə qarşılıqlı  təsirin 
yaranması analiz edilir; 
3.
 
Əgər qarşılıqlı təsir yaranmırsa proses 1 punktunda yenidən 
təkrar olunur. 

Skanedici zond mikroskopu (SZM) vasitəsilə nümunə  səthinin topoqrafiyasının 
alınması. Təcrübənin nəticələrinin işlənməsi  
 
 
 
 
 
 
27 
 
 
 
a
a
a
)
)
)
 
 
 
b
b
b
)
)
)
 
 
 
Şəkil 1-17. NanoEducator skanedici cihazının hərəkət prinsipi (a)    
                   və konstruksiyası (b). 
 
Şəkil 1-18. Nümunə səthinə zondun gətirilmə mexanizminin sxemi. 
 
Əgər skanedici yuxarı hərəkət edərkən sıfırdan fərqli siqnal 
yaranarsa  əks  əlaqə sistemi skanedicinin yuxarıya hərəkətini 
saxlayır və bu səviyyədə qarşılıqlı təsirin qiymətini qeydə alır. 
Zondun nümunəyə yaxınlaşması dayandıqda və skanetmə pro-
sesi baş verdikdə qarşılıqlı təsir qüvvəsinin qiyməti NanoEdu-
cator qurğusunda Amplitude Suppresion(ampli-tudın azalma-
sı) parametri ilə xarakterizə olunur:  
 A=A
0
 (1 - Amplitude Suppression). 
SZM təcrübəsinin aparılması [4] 
NanoEducator proqramını çağırdıqdan sonra kompüterin 
ekranında baş  pəncərə  təsvir olunacaq (şəkil 1-19). File men-
“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
 
 
28
yusundan istifadə edərək  Open  və ya New  və yaxud alətlər 
panelində uyğun düymələri seçməklə  işə başlamaq olar. File 
⇒  New komandasını seçilməsi SZM də ölçmələrə keçməyi 
göstərir.  File
⇒ Open komandasının seçmək isə  əvvəllər alın-
mış  şəkillərə baxılması  və  işlədilməsi başa düşülür. Proqram 
ölçmələrlə yanaşı, həmçinin verilənlərə baxılmasını və həm də 
işlədilməsinə imkan verir. 
 
Şəkil 1-19. NanoEducator proqramının baş pəncərəsi. 
 
File
⇒ New komandasının icra olunmasından sonra ekranda 
dialoq pəncərəsi yaranmış olur, işçi qovluğun seçilməsi və ya 
yaradılması imkanı yaranır və cari ölçmələrin nəticələri qov-
luğa yazılacağı  nəzərdə tutulur. Ölçmə prosesini apararkən 
bütün alınmış verilənlər ardıcıl olaraq razılaşmaya görə 
ScanData+i.spm adlı fayla yazılacaq, burada i-indeksi proqram 
işə düşərkən sıfır qiymətini alır və  hər bir yeni ölçmələr üçün 
qiyməti artmış olur. ScanData+i.spm faylları  işçi qovluqda 
yerləşdirilir. Hər yeni ölçmələrə başlamazdan  əvvəl qərarlaş-
dırılır. Ölçmələr aparılan vaxtı başqa işçi qovluğun seçilməsi 

Skanedici zond mikroskopu (SZM) vasitəsilə nümunə  səthinin topoqrafiyasının 
alınması. Təcrübənin nəticələrinin işlənməsi  
 
 
 
 
 
 
29 
imkanı mövcuddur. Bunun üçün proqramın baş  pəncərəsinin 
alətlər panelində yerləşən 
 düyməsini sıxmaq lazımdır.  
Skanetmə  pəncərəsində  Save Experiment düyməsini sıx-
maqla cari ölçmələrin nəticələrini saxlamaq olar, yaranan 
dialoq pəncərəsində qovluğu seçmək və faylın adını göstərmək 
lazımdır, bu zaman ScanData+i.spm faylı ölçmələr aparılan 
proses vaxtı müvəqqəti fayl olub sizin göstərdiyiniz fayl adına 
dəyişəcək. Ölçmələrə başlamazdan  əvvəl fayl seçdiyiniz işçi 
qovluqda saxlanılacaq.  Əgər ölçmələrin nəticələrini saxlanıl-
mazsa onda yenidən proqramı işlədərkən ScanData+i.spm mü-
vəqqəti fayla yazılmış nəticələr ardıcıl olaraq yenidən yazılacaq 
(əgər işçi qovluq dəyişməyibdirsə) proqramı bağla-yarkən və 
yenidən işlədərkən işçi qovluqda ölçmələrin nəticələri olan 
müvəqqəti faylların mövcudluğu haqqında xəbərdaredici 
məlumat verilir. ScanData standart adını dəyişmək olar. Bunu 
işçi qovluğun seçilməsi pəncərəsində etmək olar. İşçi qovluğun 
seçilməsi pəncərəsi proqramın baş  pəncərəsinin alətlər pane-
lində yerləşən 
 düyməsini sıxmaqla həyata keçirilir. SPM 
File Explorer  pəncərəsində ölçmələrin nəticəsini saxlamaq 
olar. Lazımi faylları növbə ilə seçərək seçilmiş qovluqda onları 
saxlamaq lazımdır. 
NanoEducator cihazı ilə alınmış nəticələri ASCII formatı-
na çevirmək olar. Bunu NT MDT istifadə olunan Nova və baş-
qa proqramlarla da etmək olar. Skanedilmiş şəkillər, həmçinin 
onların kəsikləri olan verilənləri  ASCII formatına çevirmək 
olar. Verilənləri  ASCII formatına çevirmək üçün proqramın 
baş pəncərəsindəki alətlər panelində yerləşmiş Export düymə-
sini 
 sıxmalı    və  ya File menyusunun Export

 ASCII 
rejimini seçmək lazımdır.  
Dialoq pəncərəsini bağladıqdan sonra ekranda cihazın idarə 
olunması paneli görünür (şəkil 1-20). Cihazın idarə olunması 
“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
 
 
30
panelinin sol hissəsində SZM-in konfiqurasiyasını seçmək üçün 
düymələr yerləşir: 
- skanedici qüvvə mikroskopu (SQM); 
- skanedici tunel mikroskopu (STM). 
 
1   2   3   4   5   6   7   8   9   ...   16


Verilənlər bazası müəlliflik hüququ ilə müdafiə olunur ©azkurs.org 2016
rəhbərliyinə müraciət

    Ana səhifə