Naotexnologiyaga kirish

    birikmalar olish  uchun  molekulyar                              jarayoni 

        -nurli epitaksiya  qurilmasining 

                     sxemasi 

 

 

Epitaksiya    mikroelektronikada    (tranzistorlar,    integral    sxemalar,  yorug’lik 

texnikasida (xotiraning magnitli elemenlari)  keng  qo’llanilmoqda. 

 

Epitaksiya  jarayonini  amalga  oshirishning  eng  zamonaviy  metodi molekulyar-

nur    epitaksiyasi    hisoblanadi.    Bu    metodda  tayyorlangan    va    tozalangan    taglikka  

alohida  atomlarning  oqimlari  yo’naltiriladi  (2.11-rasm).  

 

Taglikning    sirtiga  etib    borib  atomlar    u  yoki  bu    usul    bilan  tartiblanadilar  va  

bizga  kerakli  strukturani  hosil  qiladilar(2.12-rasm).