42
2-ci mərhələ: səth üzərinə yaratmaq istədiyimiz quruluşun şablonu qoyulur.
3-cü mərhə: bu mərhələ eksponiləşmə (yəni lazım olan şəklin alınması)
mərhələsi adlanır. Bu zaman səth lampa və ya lazerlə optik şüalanmaya məruz
qalır. Fotorezistisin təsiri nəticəsində şablondan keçən
şüa səthin dəyişməsinə
səbəb olur. Səthi aşılamaqla onun müəyyən hissəsi çıxarılır.
Dostları ilə paylaş: