TəZYİQİN ÖLÇÜLMƏSİ

5. İonizasiyalı təzyiq ölçmə vasitələri
İonizasiyalı təzyiq ölçmə vasitələri çox aşağı təzyiqləri ölçmək üçün nəzərdə tutulmuş ən həssas ölçmə vasitələridir (Şəkil 7). İş prinsipi elektronların qaza təsiri nəticəsində meydana gələn ionların ölçülməsindən ibarətdir. Qazın sıxlığı nə qədər az olarsa, o qədər az ion əmələ gələcəkdir.

Şəkil 7. İonizasiyalı təzyiq ölçmə vasitəsi

Cihazın istismarı zamanı elektronlar qaz atomları ilə toqquşur və ionlar əmələ gətirirlər. İonlar elektroda kollektor kimi tanınan uyğun bir gərginlikdə cəzb edilir. Kollektor cərəyanı sistem təzyiqinin funksiyası olan ionlaşma sürətinə mütənasibdir. Beləliklə, kollektor cərəyanının ölçülməsi qazın təzyiqini təyin etməyə imkan verir. Bu tip ölçmə vasitələrinin ölçmə diapazonu 10^-3 - 10^-8 mmHg-dir.

İonizasiyalı təzyiq ölçmə vasitələrinin iş prinsipi əsasən iki katoda əsaslanır: isti katod və soyuq katod. Üçüncü növ, ilk ikisindən daha həssas və bahalı olan və burada müzakirə edilməyən dönən rotor təzyiq ölçənidir.

İsti katod vəziyyətində, elektrikli qızdırılan filament elektron şüa meydana gətirir. Elektronlar ölçü cihazından keçir və ətrafındakı qaz molekullarını ionlaşdırırlar. Yaranan ionlar mənfi yüklənmiş elektrodda toplanır. Yaranan ionlar cari ionların sayından, bu da öz növbəsində qazın təzyiqindən asılıdır. İsti katod təzyiq ölçənlər təzyiqi 10^-3 - 10^-8 mmHg aralığında ölçürlər. Soyuq katod təzyiq ölçmə cihazının prinsipi isti katod təzyiq öləçmə cihazı ilə eynidir, yeganə fərq burada meydana gələn yüksək gərginlikli elektrik axıdılması vasitəsilə boşalma zamanı elektronların meydana gəlməsidir. Soyuq katod təzyiq ölçənləri 10^-2 10^-9 mmHg aralığında təzyiqləri ölçə bilirlər.