M.Ə. Ramazanov, A. Q. Həsənov

Scanning
  pəncərəsinin aşağı sağ hissəsində  Lithography 
imkanını    seçərək litoqrafiya prosedurasını yerinə yetirmək 

“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
128
olar. Bu zaman Scanning  pəncərəsinin sol aşağı sahəsində 
litoqrafiyanın idarəedici elementləri yaranacaqdır (şəkil 5-7). 
 
Şəkil 5-6. Kontakt nöqtədə zond və nümunə arasında məsafəni 
qiymətləndirmək üçün spektroskopiya əyrisi. 
 
 
Şəkil 5-7. Litoqrafiya prosedurasının pəncərəsi. 
Skanedici zond litoqrafiyası 
 
129
Litoqrafiya prosedurası  aşağıdakı addımlarla yerinə ye-
tirilir: 
1.Nümunə  səthinə yazılası  şəkil-şablonu daxil edin. Şəkili qa-
baqcadan *.bmp qrafik formasında hazırlamalı və sax-lamalı. 
Şəklin seçilməsi və daxil olunması  Load Image düyməsini 
sıxmaqla edilir. 
2.Nümunəyə zondun maksimal dərinliyə  təsirinin qiymətini 
Action
  nm vasitəsi ilə  təyin edərək daxil edin. Bu kəmiy-
yətin qiymətini səthin hamarlılığı  nəzərə alınmaqla, zond və 
nümunə arasındakı məsafənin qiymətləndirilmiş nəticəsindən 
10-50% böyük olmaq şərti ilə təyin edərək daxil edin. 
3.Təsiretmə vaxtının qiymətini  Action Time  mks vasitəsilə 
təyin edərək daxil edin. Razılaşmağa görə ilkin olaraq 22 mks 
götürmək olar. 
4.Nümunə  səthinin nöqtələri arasındakı  məsafənin qiymətini 
(litoqrafiyanın addımını)  Step X, Y nm vasitəsilə  təyin 
edərək daxil etməli. Razılaşmaya görə bu parametr səthin 
relyefinin  əvvəlki ölçmələrindəki skanetmə addımına bəra-
bər götürülür. Litoqrafiya addımının dəyişməsi Step X, Y nm 
litoqrafiya  şəklinin alınması zamanı  səth sahəsinin də-
yişməsində özünü göstərir. 
5.Projection düyməsini sıxaraq  şəkil-şablonun skanedilmiş 
səth sahəsində  çəkilməsi və  səthə  təsiretmə matrisinin for-
malaşması baş verir. Bundan sonra istifadəçi litoqrafiya 
yerinə yetiriləsi sahənin vəziyyətini dəyişə bilər. Bunu 
skanetmə sahəsinin tam sərhədləri daxilində  çərçivəni 
dəyişməklə etmək olar. Ancaq bunları etmək məsləhət 
görülmür.  Əgər yeni skanetmə sahəsi verilmiş  əvvəlki sahə 
ilə üst-üstə düşmürsə, onda Apply düyməsi qırmızı  rənglə 
rənglənmiş olacaq və buna görə  də verilmiş parametrlərin 
təsdiq (qəbul) olunması üçün onu sıxmaq lazımdır. 
6.Scanning  pəncərəsində  RUN düyməsini sıxmalı. Bundan 
sonra litoqrafiya prosesi  başlayır,  Scanning  pəncərəsinin 
aşağı sağ sahəsində səthin əks olunması, litoqrafiyanın yerinə 

“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
130
yetirilməsini göstərəcəkdir.  Şəkil-şablondakı qara rəngə 
uyğun nöqtələrdə  Action  təsir etmənin maksimal  mümkün 
dərinlik qiymətinə  bərabər amplitudla nümunə  səthini zond 
döyəcləyir və bu zaman xarakteristik səs eşidiləcəkdir. 
Scanning
  pəncərəsinin sol hissəsində skanedicinin əks 
gedişində ölçmələrin nəticəsi kimi səthin  şəkli alınacaq. 
Beləliklə, istifadəçi litoqrafiya apararkən səthə  təsir etmənin 
nəticələrini dinamik nəzarət etmək imkanına malikdir. 
 Litoqrafiyanın yerinə yetirilməsi prosesində nümunəyə 
maksimal dərinliyə təsir etməni (Action) 2 və ya 4 dəfə artır-
maq olar. 
 Litoqrafiya 
prosedurasını yerinə yetirdikdən sonra aparılmış 
təsirlərin nəticələrini yoxlamaq lazımdır. Litoqrafiya aparılmış 
və ya böyük sahə  səth hissəsinin skanedilməsini yerinə 
yetirmək lazımdır. 
 
NanoEducator
 cihazında litoqrafiyanı yerinə yetirmək 
üçün ucunun əyrilik radiusu 100nm dən böyük olmayan zondla, 
skanetmənin sürəti 2000nm/s, Action  təsir etmənin qiyməti 
100-dən 1000nm-ə  qədər, litoqrafiya nöqtələri arasındakı 
addımlar ~100nm olmaq şərti ilə aparılması məqsədəuyğundur. 
 
5.3. Metodik göstərişlər 
NanoEducator
 skanedici zond mikroskopunda işləməyə 
başlamazdan  əvvəl cihazın istifadəçilərə  rəhbərlik sənədini 
öyrənmək zəruridir.  
 
5.4. Tapşırıq 
I Hissə 
1.
 
   Litoqrafiyanın yerinə yetirilməsi üçün nümunə  səthi   
üzərində səth hissəsini seçin. 
1.1.  Tədqiq olunan nümunəni altlıqda yerləşdirin. 
1.2. NanoEducator cihazında ölçən başlığın yuvasına zond  
çeviricini yerləşdirin. 
Skanedici zond litoqrafiyası 
 
131
1.3.  NanoEducator cihazının idarəetmə proqramını işə salın. 
Skanedici qüvvə mikroskopu (SQM) rejimini seçin. 
1.4.
 
Zond çeviricisinin amplitud-tezlik xarakteristikasını təyin  
edin və işçi tezliyi daxil edin. 
1.5. Zondun nümunəyə (yaxınlaşmasını)  əl və vint vasitəsilə  
1mm məsafəyə qədər yaxınlaşdırın. 
1.6.  Qarşılıqlı təsirin alınmasını 
-Amplitud Suppression = 0,3:    
-Feed Back Loop Gain = 3.   
qiymətlərində yerinə yetirin. 
1.7. Skanetmə  pəncərəsini açın. Litoqrafiyanı yerinə yetirmək 
üçün  şəkil-şablon (nanoworld.bmp) verilənlərinə  əsasən 
skanetmənin lazımi parametrlərini daxil etməli. Skanetmə 
sahəsinin işçi ölçülərini 10x10 mkm², skanetmə nöqtələri-
nin sayının  şəkildə piksellərin sayına bərabər verilməsi 
məqsədəuyğundur. 
 
Şəkil 5-9. Dinamik qüvvə litoqrafiyanı yerinə yetirmək üçün şablon 
- şəkil. nanoworld.bmp faylındakı ölçüsü 180x180 piksel 
olan şəkil. 
 
1.8
 
.Nümunə  səthinin işçi hissəsinin SZM şəklini almalı. Alın-
mış nəticələri saxlamalı. 
1.9
 
. Zondun yerləşdiyi cari nöqtədə spektroskopiyanı yerinə 
yetirin. Zond və nümunə arasındakı  məsafəni qiymətlən-
dirin. 
2.0
 
. Test şəklinin litoqrafiyasını yerinə yetirin. 
      Səthin seçilmiş işçi hissəsində nanoworld.bmp şəkli üçün 
litoqrafiya prosesini yerinə yetirin.   
      Səthə zondun maksimal təsir dərinliyini, səthin hamarlılı-
ğının qiymətlərindən böyük qiyməti  Action nm-lə  təyin 

“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
132
edərək daxil edin (kompakt diskin səthində  cığırların də-
rinliyi) və zond-nümunə arasında qiymətləndirilmiş  məsa-
fədən 10-50% böyük olmasını nəzərə almalı. 
3.0
 
.Litoqrafiyanın yerinə yetirilməsinin nəticəsi kimi səth his-
səsinin topoqrafiyasının şəklinin alınması.  
3.1
 
Litoqrafiya prosesi qurtardıqdan sonra Scanning  pəncərə-
sinin sağ aşağı hissəsində Topography imkanını seçməli. 
3.2
 
Skanetmənin parametrlərini dəyişmədən və skanetmə sahə-
sini dəyişmədən litoqrafiya aparılmış  səth hissəsi üçün 
toqoqrafiya ölçülərini aparın. Skanetmənin kənara çıxmala-
rı nəticəsində litoqrafiya şəklinin qismən dəyişməsi halında 
skanetmə sahəsini artırmalı. Nəticədə aparılmış litoqrafiya 
işçi hissəni tamamilə əhatə etmiş olsun. 
3.3
 
Nümunə  səthinin işçi hissəsinin SZM şəklinin (şəkil 5-10) 
alınması.  Alınmış nəticələrin saxlanması. 
3.4
 
Litoqrafiya şəklinin keyfiyyətini qiymətləndirin. Şəkil 5-10 
dan görünür ki, təzyiqlə  dərinlik kifayət deyil. Bu şəkil 5-
10b-də aydın görünür. Bu bəzi sahələrdə materialın sət-
hində  təzyiqlə müşahidə olunur. Yəni təsir etmənin dərin-
liyi azacıq çox olmuşdur. 
3.5
 
Zondun nümunəyə maksimum dərinliyə  təsirinin paramet-
rinin dəyişməsini nəzərə almaqla litoqrafiya prosesinin tək-
rar olunması zəruri olarsa bunu etməli (Action). 
II  Hissə    
4.  Müəlliflik şəklinin litoqrafiyası 
4.1. Litoqrafiya üçün aşağıdakı xarakteristikaları olan şəkil 
hazırlayın:  *.bmp formasında saxlanmış qara-ağ  şəkil(iki 
rəngli 200x200piksel, 50-100 piksel/düyüm mümkünlüyü) 
Şəkil 5-10-da litoqrafiyanın yerinə yetirilməsi  şəkil-şab-
lonlar üçün AQM səthi hissəsinin topoqrafiyasının  şəkillə-
rinin mümkün variantları göstərilmişdir.  
4.2. I hissədə edilmiş  zəruri  əməlləri yerinə yetirin. I hissədə 
işçi parametrləri optimal seçərək müəlliflik  şəkillərinin 
litoqrafiyasının yerinə yetirilməsi çalışmasını edin.  
Skanedici zond litoqrafiyası 
 
133
 
 
Şəkil 5-10. Səth hissəsinə SZM vasitəsi ilə 300nm (a) dərinliyə  və 
1000nm (b) olanda litoqrafiyanın aparılması  şəkli (skan 
etmənin ölçüləri 10x10 mkm
2
) . 
 
 
 
 
Şəkil 5-11. NanoEducator cihazında səth hissəsinin litoqrafiyasının 
mümkün şablon (solda) və topoqrafiya variantları (sağda). 

“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
134
5.6. Yoxlama sualları 
1.
 
Skanedici zond mikroskopu informasiyanın oxunması  və 
yazılması üçün bir alətdir. Zond nanotexnologiyasının fiziki 
əsasları haqqında danışın.  
2.
 
Skanedici zond litoqrafiyası  nədir? Onun əsas növləri 
haqqında danışın. 
3.
 
NanoEducator
 cihazında dinamik qüvvə litoqrafiyasının 
xüsusiyyətləri haqqında danışın.  
4.
 
Dinamik qüvvə litoqrafiyasının aparılması üçün nümunələ-
rin seçilməsi kriteriyalarını deyin.  

SZM şəkillərinin işlənməsi və kəmiyyətcə təhlili 
 
135
 
Laboratoriya işi
 
 
 № 6 
 
SZM şəkillərinin işlənməsi və kəmiyyətcə təhlili 
 
 
 
6.1. İşin məqsədi …….................…....…..………………....136 
6.2. İşin məzmunu ……..……………......................…….....136 
6.3. Tapşırıq  …………..…………….......….……………...140 
6.4. Metodik göstərişlər .....….….........................…….........141 
6.5. Yoxlama sualları .....……….…….......………………...143 
 
 
“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
136
 6.1. İşin məqsədi 
SZM şəkillərinin işlənməsi və kəmiyyətcə təhlili sahəsində 
təcrübi vərdişlərin əldə olunması. 
Ləvazimat:  Skanedici zond mikroskopu (Model SZMU-L5),  
zond, NanoEducator proqramı və kompüter.  
Tədqiqat üçün nümunə:    Periodik quruluşlu nümunələr 
 
6.2. İşin məzmunu 
 
SZM şəkillərinin keyfiyyətinin yaxşılaşdırılması 
Metodikanın spesifikliyinə  əsasən SZM şəkillərə adətən 
küylərlə  əlaqədar məlumatlar daxildir. Bu nümunəyə  nəzərən 
zondun titrəməsi, akustik təsirlər cihazın elektrik küyləri ilə 
əlaqəli olub zəif siqnalları ölçərkən həmişə yaranır.  Şəkildəki 
təhriflər nümunəyə  nəzərən zondun istilik dreyfinə görə  də 
əmələ gəlir. Bununla əlaqədar SZM şəkillərinin yüksək keyfiy-
yətdə alınması və onların kəmiyyətcə təhlilinin aparılması üçün 
bu  şəkillərin xüsusi ədədi üsulların  köməyilə  işlənməsini və  
təkmilləşdirilməsini tələb edir.  
      SZM şəkillərinin filtrlənməsinin əsas üsulları bunlardır: 
       Hamarlama 
Sadə halda şəklin hamarlanması hər bir nöqtədə kəmiyyətin 
qiymətinin, bu nöqtənin yaxın  ətrafında kəmiyyətin orta qiy-
məti ilə əvəz etmək yolu ilə yerinə yetirilir.  
      Median filtrləmə 
Median filtrləmə zamanı  şəklin hər bir nöqtəsi üçün, bu 
nöqtənin müəyyən  ətrafına görə variasiya sırası qurulur,  yəni 
bu  ətrafın elementləri artan sıra ilə yerləşdirilir və bu nöqtədə 
qiymət variasiya sırasındakı  mərkəzi səviyyədə yerləşən ele-
mentin qiyməti ilə  əvəz olunur. Median filtrasiyası impuls 
maneələri olan şəkillərin istifadəsi və ya təkmilləşdirilməsi za-
manı xüsusi ilə effektlidir.  
Şəkildə üfüqi sahənin silinməsi  şəklin hər bir nöqtəsində 
elementlərin orta qiymətlərinin bərabərləşdirilməsi yolu ilə 
aparılır. Üfüqi sahələrin  şəkildə alınması SZM şəkillərində 

SZM şəkillərinin işlənməsi və kəmiyyətcə təhlili 
 
137
xarakterik təhriflərdəndir. Bu onunla əlaqədardır ki, SZM 
təcrübələrində şəkil adətən xətt boyunca skanedilməsi yolu ilə 
alınır, bir xətdəki qonşu nöqtələrin ölçmələr arası vaxtı skan-
etmənin perpendikulyar istiqamətdə qonşu nöqtələrin ölçmələr 
arası vaxtından kifayət qədər kiçikdir. 
Şəkildən meylin silinməsi sahənin sıxılması yolu ilə 
aparılır.  Şəklin meyli nümunənin müstəviyə  nəzərən meyllik 
vəziyyətinin nəticəsinə görə ola bilər,  bu skan edərkən zondun 
yerdəyişməsi zamanı, həmçinin istilik dreyfinin təsiri  nəticə-
sində yarana bilər.  
Səthin ikinci tərtibinin çıxılması  səthin nazik təbəqəsinin 
tədqiqi zamanı istifadə olunur. Buna görə də SZM şəkillərində 
kobud relyef adətən informasiya xarakterli olmadığına görə və 
onu kənarlaşdırmaq zəruridir. 
SZM şəkillərinin kəmiyyətcə təhlili 
Şəklin histoqramının qurulması 
Şəklin analizi üsullarından biri şəkil nöqtələrinin qiymətlə-
rinin histoqramının qurulmasıdır. Histoqramı qurarkən üfüqi 
oxda şəklin nöqtələrindəki bütün qiymətlər diapazonu yerləşir, 
bu diapazonun bütün qiymətləri üçün uyğun qiymətlər çoxluğu  
şaquli ox üzrə yerləşdirilir. 
Səthin hamarlılığının təyini parametrləri 
SZM  şəkillərinin kəmiyyətcə xarakteristikası üçün şəklin 
hamarlılıq parametrindən həmişə istifadə edilir:  
Orta hamarlılıq 
parametri 
      
∑ ∑
−
=
−
=
−
=
1
0
1
0
)
,
(
1
M
k
N
l
l
k
a
y
x
z
MN
S
µ , 
   (1) 
kimi təyin olur. 
burada 
µ
 şəkilin orta hündürlüyüdür:  
∑ ∑
−
=
−
=
=
1
0
1
0
)
,
(
1
M
k
N
l
l
k
y
x
z
MN
µ
 
orta kvadratik hamarlılıq isə  
[
]
∑∑
−
=
−
=
−
=
1
0
1
0
2
)
,
(
1
M
k
N
l
l
k
q
y
x
z
MN
S
µ      (2)
 
“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
138
kimi təyin olunur. 
Hamarlılığın düzgün təyini üçün şəklin qeyri-hamarlığını 
qabaqcadan silmək zəruridir. Bunun üçün sahəni çıxmaq və ya  
ikinci tərtib səthi silmək lazımdır. 
      Şəklin Furye spektrinin qurulması  
Şəklin fəza tezliklərinin kompleks eksponentdən ibarət 
Furye-spektri onun  ortanormal bazisdə tezlik təsviridir. Belə 
fəzada şəklin təsviri kiçik detallar, elementlərin xassələrindəki 
periodik təkrarlığı  və s. ilə  əlaqədar struktur xüsusiyyətlərinin 
müşahidə olunmasına imkan verir. Fəza tezliklərinin ölçüsü, 
şəkil üzərində  məsafənin ölçülməsinin tərs qiyməti ilə  təyin 
olunur. 
Şəklin kompleks eksponensial funksiyalar bazisində ayrılışı 
Furye çevirməsi cütü ilə verilir (sonsuz sahədə verilmiş a(x,y) 
kəsilməz intensivlik funksiyası halına baxılır). 
(
)
[
]
∫ ∫
∞
∞
−
∞
∞
−
+
−
=
dxdy
i
y
x
a
 
y)
f 
x
(f
2
exp
)
,
(
 )
f
 ,
F(f
y
x
y
x
π
 (3) 
   
düzünə çevirmə, 
(
)
[
]
∫ ∫
∞
∞
−
∞
∞
−
+
=
dxdy
i
y
x
a
 
y)
f 
x
(f
2
exp
 )
f 
,
F(f
)
,
(
y
x
y
x
π
   (4) 
əksinə çevirmədir. 
Burada x, y-şəkil müstəvisində koordinatları, f
x
, f
y
-fəza tezlik-
ləridir. 
Sonsuz kəsilməz siqnalların tezliklə əlaqədar ifadə olunma-
sı anlayışı təcrübədə istifadə olunan  məhdud aralıqlı və diskret 
siqnallar halına şamil oluna bilər. 
Eni N və hündürlüyü M olan düzbucaqlı şəklə baxaq. Belə 
şəklin Furye çevrilməsi  
(
)
[
]
∫ ∫
−
−
+
−
=
2
/
2
/
2
/
2
/
 
 vy)
(ux
2
exp
)
,
(
 
 v)
F(u,
M
M
N
N
dxdy
i
y
x
a
π
  
(5)
  
 
şəklindədir. 
Siqnal fəzasında (|x| >N/2 və  |y| >M/2, qiymətlərində f(x, 
y) = 0) əgər bütün müstəvi üzrə  məhdud Furye çevirməsi 

SZM şəkillərinin işlənməsi və kəmiyyətcə təhlili 
 
139
periodik ifadə olunarsa və diskretdirsə, onda (k/N,  l/M) 
∞
<
<
∞
−
l
k,
 tezliklərdə harmonikanın miqdarı yalnız hesabı 
saydadır.  
Şəklin diskret fəzasında qeyri məhdud spektri periodik 
funksiyadır.  Əgər Ox və Oy oxları üzrə nöqtələr arası  məsafə 
uyğun olaraq 
∆x və  ∆y olarsa, onda  Furye çevirmələrinin 
təkrarlanma periodları uyqun olaraq 1/
∆x və 1/∆y olacaqdır. 
Əgər hesablama başlanğıcını Furye obrazının təkrarlanan 
periodlı matrisinin orta nöqtəsində yerləşdirsək, maksimal fəza 
tezliyi
x
∆
±
2
1
 və 
y
∆
±
2
1
 olacaqdır. Verilmiş siqnalın diskretləş-
mə addımda alınmış maksimal tezliyə Naykvist tezliyi adlanır. 
Alınmış periodik Furye çevirmələrində  təkrarlanan spektrləri 
atmaq olar və hesab etmək olar ki, diskret siqnal spektr tezli-
yinə görə  məhduddur. 
Beləliklə, yuxarıda verilmiş mühakimələri ümumiləşdirərək 
belə  qərara gəlmək olar ki, şəklin Furye çevirməsi diskret 
fəzada məhduddursa, onda o həmçinin tezliyə görə diskret və 
məhduddur. Maksimal fəza tezlikləri şəkilin diskretlilik addımı 
ilə təyin olunur. 
Tezliyə görə şəklin diskret spektrinin məhdudluğunun gös-
tərilməsinə sadə misalda baxmaq olar. OX oxu üzrə əgər ağ və 
qara nöqtələri növbələşdirərək  şəkildə  ən kiçik təkrarlanma  
periodu almaq olar. Bu period 2∆x-ə  bərabər olacaq, buna 
uyğun  fəza tezliyi 1/(2∆x) -ə bərabərdir. 
Verilmiş 
,
1
,...,
0
,
,
−
=
M
k
f
l
k
 
1
,...,
0
−
=
n
l
nöqtələrdə 
şəklin diskret Furye çevirməsi (DFÇ) 
 
∑ ∑
−
=
−
=
⎥
⎦
⎤
⎢
⎣
⎡
⎟
⎠
⎞
⎜
⎝
⎛
+
−
=
1
0
1
0
,
,
ln
2
exp
M
k
N
l
l
k
n
m
N
M
km
i
f
F
π
,     (6) 
düsturu ilə təyin edilir. 
Şəkilin Furye-obrazının qrafik təsviri üçün (6) düsturuna 
görə alınmış kompleks çevirmələr kəmiyyətinin matrislər mo-
dulu qurulur. Şəkilin həqiqi çevirmələr matrisi-mərkəzi 
“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
140
simmetrik matris adlanır. Tezliyə görə hesabat onun mərkəzinə 
görə aparılır.  Şaquli oxda tezlik müstəvisində  mərkəzdən eyni 
bir 
0
f  məsafəsində iki nöqtədən ibarət olan  şəklin Furye- 
obrazı üfüqi sinusoidal zolaqdan təşkil olunmuşdur. Bu zaman 
şəkildə  təkrarlanma sahəsinin periodu T olub 
0
1
f
T
=
 
bərabərdir. 
 
6.3. Tapşırıq  
İş iki variantda aparıla bilər: 
- Əvvəlki alınmış şəkillərin təhlili 
- Ölçmələrin aparılması və yeni şəklin alınması, işlədilməsi və 
bu şəklin təhlili 
İşdə zəruridir: 
-  Şəklin filtrlənməsinin yerinə yetirilməsi 
- Filtrlənmədən qabaq və sonra şəklin kələ - kötürlüyünün 
parametrlərinin ölçülməsi və müqayisəsi.  
- Şəklin Furye-spektrini qurmaq və spektrin əsas fəza tezliyinin 
qiymətlərini ölçmək.  Şəklin bu tezliklərə uyğun təkrarlanma 
periodlarının elementləri ilə, həmin intervallarla şəkildə alın-
mış ölçmələrlə müqayisə etmək.  
 
Şəkil 6-1. Şəkillərin analizi pəncərəsi.  Şəkil səthinin xüsusiy-
yətinin analizinin yerinə yetirilməsi. 

SZM şəkillərinin işlənməsi və kəmiyyətcə təhlili 
 
141
6.4. Metodik göstərişlər 
A variantının yerinə yetirilməsi halında laboratoriya işi üçün 
zəruridir: 
-  İstifadəçilərə göstərişlərə uyğun olaraq SZM təcrübələrinin 
aparılması  üçün ilkin hazırlıq işlərinin yerinə yetirilməsi 
- İstifadəçilərə rəhbərlik sənədində göstərilmiş üsulların biri ilə 
nümunənin  skan edilməsini yerinə yetirmək.  
-  Alınmış şəkli seçilmiş qovluqda saxlamalı.  
İstifadə olunma və verilənlərin analizinə aid olan növbəti işin 
mərhələləri A və B variantları üçün üst-üstə düşür. 
Bunların yerinə yetirilməsi üçün zəruridir: 
- İstifadəçilərə köməkdə “əvvəllər alınmış fayllarla iş bölməsi”  
ilə tanış olmalı. 
-  NanoEducator proqramının köməyilə verilənlərə baxılması 
və işlədilməsinə keçməli. 
-  İş aparılan faylı açmalı  və  şəklin yoxlama kəsiyini təyin 
etməli. 
- Proqramda mümkün olan metodların birinin köməyilə təhrif-
lərin  əmələ  gəlmə xarakterini verməli, verilənlərin işlənməsi 
və filtrasiyasını aparmalı. 
- faylın işlənməsindən sonra yoxlama kəsiyinin aparılması  və 
verilmiş şəklin kəsiyi ilə müqayisə etməli. 
- İstifadə olunan aktiv pəncərədə şəklin  İmage analysis (şəkil 
6.1.) pəncərəsini açmaq. Şəklin histoqramını öyrənmək və 
təsvir etmək. Orta və orta kvadratik hamarlılıq qiymətlərini 
qeyd etmək. 
- Furier Spectrum
  (şəkil 6-2, şəkil 6-3) imkanını seçmək. 
Spektrin xarakterinə görə şəkildə periodik strukturların olma-
sını yəqin etmək. Əgər varsa onda əsas xarakterli tezliyin qiy-
mətini ölçməli (tezliyin ölçülməsinə Freq sıxmaqla keç-mək 
olar). Mışın sol düyməsinin köməyilə  şəkildə Furye- 
obrazının şəklini göstərmək. İlkin şəkil üzərində yerləşən 
 
alət  vasitəsilə ölçülmüş periodik şəkilləri Furye-obrazın 
köməyi ilə alınmış  nəticələrlə müqayisə etməli. Furye- 
“Nanotexnologiyadan laboratoriya  işləri”. Dərs vəsaiti  
 
 
142
obrazının  şəklinə görə istiqamətlər arası bucaqların qiyməti-
nin təyin edilməsi( 
   aləti ilə) və  tədqiq olunan nümunə 
şəkillərinin uyğun kəsikləri arası bucağının qiymətləri ilə 
müqayisə etməli.