Microsoft Word Materiallar Full

II INTERNATIONAL SCIENTIFIC CONFERENCE OF YOUNG RESEARCHERS 

72 

 Qafqaz University                         

          18-19 April 2014, Baku, Azerbaijan 

Nazik təbəqələr əsasında əmələ gələn strukturlar iri həcmli kristallara nisbətən daha ucuz, daha sürətli və daha asan başa 

gəlir. Cihaz texnologiyasına tətbiq edilən nazik təbəqələr gərək performanslarını artırılması  gərəksə  xərclərinin aşağı 

salınması üçün həm akademik həm də  sənaye sahəsində  əhəmmiyət kəsb edir. Bütün dünyada bu sahədə aparılan elmi 

işlərin sayının hər keçən gün artması və texnologiya şirkətlərinin bu sahədə etdikləri böyük investisyalar, nazik təbəqələrin 

alınmasının nə qədər əhəmiyyətli bir iş sahəsi olduğunun bir göstəricisidir. 

Buxar fazda nazik təbəqələrin  böyüdülməsi: Örtük və ya döşəmə vəsaitə  hər hansı bir məhdudlaşdırma gətirmədən 

yüksək keyfiyyətdə örtmələr  əldə etməyi təmin edən buxar fazında edilən örtmə texnikaları; kimyəvi buxar yığma 

(Chemical Vapour Deposition - CVD) və fiziki buxar yığma (Physical Vapour Deposition - PVD) olmaq üzrə ikiyə ayrılır. 

Fiziki buxar yığma  texnologiyası 19-cu əsrin əvvəllərindən bəri bilinməsinə baxmayaraq , ancaq son illərdə sənayedə özünə 

bir yer tapa bilmişdir. Günümüzə  qədər inkişaf etdirilən fərqli örtmə  əməliyyatları ilə  tətbiq olunan bu texnikanın 

mexanizmi 

i) 

Vakuumlu mühitdə , bir isidici ilə buxarlaşdırılan örtücü vəsait , örtüləcək olan vəsait üzərində incə bir film layı 

halında toplanılması, 

ii) 

Qatı haldakı xam maddə yüksək enerji ilə ionlaştırılmış  və reaktiv qazlarla yaradılmış plazma halına gətirilərək , 

idarəli olaraq, örtüləcək vəsaitin üzərinə yapıştırılması ,  

əməliyyatı olaraq yekunlaşdırıla bilər.  

Vakuum mühitində qatı və ya maye halda olan materialların buxarlandırılaraq və ya sıçradılaraq atomlarının səthdən 

qoparılması və örtüləcək olan altlıq vəsait səthinə atom və ya ion olaraq toplaşdırılması əsasına söykənən bu örtmə üsulu 

"buxarlandırma" və "sıçratma" olmaq üzrə iki qrupa ayrılır. 

Buxarlandırma texnikasında incə bir film halında örtmə etmək istədiyimiz vəsait  əvvəlcə buxarlanması üçün lazım 

olan istiliyə  qədər qızdırılır, sonra isidilərək buxarlaşdırılan vəsaitin aşağı temperaturlu bölgəsindəki altdaşlar üzərinə 

daşınaraq sıxlaşdırılır yəni buxarlanma baş verir. Buxarlanma üsuluna görə vəsait müxtəlif üsullarla  isidilərək buxar fazı 

yaradılmışdır. Yaranan buxar, aşağı temperaturda olan bölgəyə doğru daşınır və burada olan daşıyıcıların üzərinə sıxlaşır. 

Bu əməliyyat yüksək vakuum mühitində əldə edilə bildiyi kimi sadə bir qaz mühitində də həyata keçirilə bilər. 

Buxarlanma  əməliyyatı istifadə edilərək  əldə edilən örtmələr müqavimət, induksiya, arx, elektron bombardmanı  və 

lazer ilə buxarlandırma olaraq gruplara ayrılır. 

Sıçratma metodunda, hədəf alınan vəsait səthinin, ümumiyyətlə plazma və ya ion tapançası vasitəsi  ilə 

sürətləndirilmiş atomik  ölçüdəki yüksək enerjili qaz ionları vasitəsilə  bombardıman edilərək, atomların səthdən 

sıçradılması  və  hədəf alınan vəsait səthindən qoparılan atomların buxar fazına keçərək altlıq vəsait üzərinə  yığılmasının 

əsasına söykənir. O zamanlarda sıçratma metodu katodun xarab olmasına səbəb olduğu üçün istənilməyən bir metod idi. 

Lakin bu gün sıçratma məşhur olaraq səth təmizləmədə, səth aşındırmada, nazik film yığmaqda və səth analizində istifadə 

edilməkdədir. Sıçratma üsulunda istifadə edilen Soygaz ionları, hədəf vəsait səthinə çarparaq sahib olduqları enerjini vəsaitə 

verirlər və beləcə vəsait səthindən atomlar qopub ətrafa sıçrayır. 

Sıçratma texnikası ilə bir çox vəsait müvəffəqiyyətli bir şəkildə örtülməsinə baxmayaraq, yığılma sürətinin və plazma 

içindəki ionlaşma təsirinin aşağı olması və altdaş temperaturunun yüksəlməsi sistemin istifadəsini məhdudlaşdırmışdır. Son 

illərdə sıçratma texnologiyasındakı inkişafların çoxu, maqnetik sahədə edilmişdir. Bunun səbəbi, maqnetik sahədə sıçratma 

üsulu ilə edilən Örtmələrin, mikroelektronik, optik, turbin bıçakları, maqnit və optik disklər və kəsici komandalar kimi bir 

çox sənaye sahədə istifadə edilməsidir. Sıçratma üsulunun ən  əhəmiyyətli üstünlüyü fərqli buxar təzyiqlərində  fərqli 

buxarlanma sürətlərinə sahib ərintilər, tərkibləri dəyişmədən müvəffəqiyyətlə  yığılabilməsidir. Ayrıca bu üsulda film 

quruluşuna makro hissəciklərin  girmə ehtimalı çox aşağıdır. 

Nəticə olaraq sıçratma ilə  əldə edilən nazik filmin keyfiyyəti və quruluşu mükəmməldir. Metodun mənfi cəhətləri 

olaraq isə limitli örtmə qalınlığı və yüksək xərci sayıla bilər.Çünki sıçratma metodundakı elektrik istehlakı buxarlandırmaya 

nəzərən  daha çoxdur. Sıçratma əməliyyatından istifadə edilərək əldə edilən örtmələri diod, triyot, maqnetik sahədə sıçratma 

və ion dəstəsi ilə sıçratma olaraq gruplara ayrılır.