Oliy ta’lim, fan va innovatsiyalar vazirligi islom karimov nomidagi toshkent davlat texnika universitetining qo‘qon filiali

Pardalar hosil qilish. Pardalar IS elementlarini elektr jihatdan ulash hamda rezistorlar, kondensatorlar va gibrid ISlarda elementlar orasidagi izolyatsiyani amalga oshirish uchun qo‘llaniladi.
Pardalar vakuumda termik bug‘latish, materialni ionlar bilan bombardimon qilib uchirish yoki gaz fazadan, suvli eritmadan kimyoviy o‘tkazish usullari bilan hosil qilinadi. Har bir usulning afzalligi va kamchiligi mavjud.
Misol tariqasida metallashni – kristall yoki asos sirtida metall pardalar (sxemada elementlarning o‘zaro ulanishi, kontakt yuzachalar, pasiv va aktiv elementlar elektrodlari) hosil qilish jarayonini ko‘rib chiqamiz. Metallash uchun oltin, nikel, kumush, alyuminiy va Cr-Au, Ti-Au va boshqalar ishlatiladi.
Plastinalarni kristallarga ajratish va yig‘ish operatsiyalari. Barcha asosiy texnologik operatsiyalar bajarib bo‘lingandan so‘ng, yuzlarcha va undan ko‘p ISlarga ega plastina alohida kristallarga bo‘linadi. Plastinalar lazer skrayber yordamida, ya’ni tayyorlangan ISlar orasidan lazer nurini yurgizib kristallarga ajratiladi.


6-7-Amaliy mashg’ulotlar
Yarim o‘tkazgichli quymalar va plastinkalarga mexanik ishlov berishni tadqiq qilish
IS lar asosan kremniy monokristalidan tayerlanadi, bunga sabab nisbatan sodda usul bilan xosil kilinadigan SiO₂ katlami yukori sifatlidir. Katta diametrli Si monokristalini olish texnologiyasi ancha arzon va yaxshi uzlashtirilgan
Kremniy monokristall kuymasidan kirkib olingan va ma’lum mexanik va kimeviy ishlov berilgan plastina IS tagligi deyiladi. Si kuymasidan plastina kirkish uchun olmos kukuni surilgan metall diskdan foydalaniladi.Disk kalinligi 0.1- 0.15 mm.Kirkuvchi uskuna
Ushlagich (derjatel) ning siljish tezligi 40-50 mm/min. Kuyma diametri 60 mm dan katta bulganda 20-30 mm/min. Bitta plastina kirkilgandan keyin avtomatik sistema kuymani boshlangich xolatiga kaytaradi va ma’lum oldindan berilgan masofaga pastga siljiydi (plastina kalinligiga). Kirkilgan plastina sirtida obraziv material (poroshok) ta’siri tufayli monokristall struktura buzilgan katlam yuzaga keladi, bu katlam kalinligi 10-30 mkm bulib 7-8 klass tozalikka tugri keladi. IS xosil kilish uchun esa plastini sirtidagi notekislik 0.02 -0.1 mkm dan oshmasligi kerak bu esa 14-chi klass tozaligidan xam yukori tozalikdir.Bunday tekislikka erishish uchun plastinalar mikroporoshoklar yerdamida maxsus yukori aniklikdagi stanoklarda jilvirlanadi (shlifovka) sungra saykallanadi (polirovka). M14-M15 mikroporoshok yerdamida shlifovka kilinganda shishali shlifovalnik ishlatiladi.Olmos pastasi yerdamida polirovka kilinganda shlifovalnik sirti lattali buladi.
Plastinaning 2 tomoni shlifovka kilinadi. Polirovka esa fakat IS xosil kilinadigan yuzasi kilinadi.M14 - mikrokukun (mikroporoshok)da kukunlar ulchami (razmer zerna) 14-10 MKM, M10-mikrokukunda esa (razmer zerna) 10-7mkm.ASM-3/2- sintetik almazli kukun (almaznыy sinteticheskiy poroshok) 3/2 - kukunlari ulchami (zernistost) yiriklari (krupnыy) 3 mkm maydalari (melkiy) 2 mkm.

Mikrokukun	Buzulgan katlam kalinligi, mkm	Plastinka sirtining tozalik klasi
M14	20-30	7
M10	15-25	8-9
ASM 3/2	9-11	12-13
ASM 1/0.5	5-7	13
ASM 0.5/0.3	3-dan kichik	13-14
ASM 0.3/0.1	1-dan kichik	14

Yarim utkazgichli asboblar va IS lar ishlab chikarishda kuyidagi obraziv materiallar ishlatiladi: Olmos - sanoatda grafitdan yukori bosim va temperatura xosil kilingan su’niy olmos ishlatiladi. Karbid kremniy - kremniyning uglerod bilan ximiyviy birikmasi . Ximiyaviy tozasi rangsiz , yashildan kora rangachan buladi. Kora rangligi kattikligi kam buladi. Karbid bor - borning uglerod bilan ximiyaviy birikmasi. Elektrokorund- kristalli alyuminiy oksidi. Al ₂O₃ ok modda. Sanoatda uch xil elekrokorund ishlab chikariladi: Ok - 98,5 — 99,5% Al ₂O₃ bor; normal elektrokorund - 91- 96 % Al ₂O₃ bor ; kora elektrokorund 65-75 % Al ₂O₃ bor.
Xrom oksidi - yashil rangli kukun ( poroshok).Aerosil - govak kukimtir - ok kukun, toza kremniy ikki oksidi. Quyidagi markalari ishlab chikariladi A-175, A-300, A- 380, zarralarining urtacha ulchami mos ravishda 10 - 40 , 5- 20, 5- 15 mkm.
Yarim utkazgichli plastinkalardan kristall kirkish.
Yarim utkazgichli plastinkalardan kirkish usullari:
- Olmosli disk yordamida kirkish;
- metall simlari bilan obraziv material yordamida kirkish;
- ultratovush kurilmasida kirkish;
- olmos chizgichda chizib, sungra sindirish;
- elektron - nur dastasi bilan chizib , sungra sindirish;
- lazer nurida chizib, sungra sindirish.