Yarim o‘tkazgichli plastinkalarni sayqallash Yarim o‘tkazgichli plastinka sirtiga ishlov berish sifatini oshirish va mexanik buzilgan sirt chuqurligini kamaytirish uchun sayqallash amalga oshiriladi. Sayqallash yumshoq sayqallagichda bajariladi. Yumshoq sayqallagichda qattiq disk ustiga yumshoq material qoplangan boiadi (duxoba, ipak, chit va xokazo). Abraziv material sifatida zarralar oMchami 3 mkm.dan kichik boMgan sintetik olmos kukuni, alyuminiy oksidi, xrom oksidi, kremniy ikki oksidi yoki sirkoniy ikki oksidi ishlatiladi. Sayqallovchi material o‘zining g‘ovaklarida abrazivning zarralarini ushlab qolishi kerak. Oraliq sayqallashda tuksiz material ishlatiladi. Yakuniy sayqallashda turli material va zarralar oMchami 1 mkm.dan kichik boMgan abraziv kukuni ishlatiladi. Yumshoq sayqallagichlaming chidamliligi yuqori emas. Masalan batisli sayqallagichda 20-30 plastinkani sayqallash mumkin.Satinlisida50-70 ta plastinkani; zamshlida-100 - 120 plastinkani,duxobada - 500 - 600 plastinkani. Sayqallash uch bosqichdan iborat; -birinchi bosqich (oraliq sayqallash) abraziv qorishmasini tayyorlash va sayqallagichni tayyorlash. Shisha diskka yumshoq material (batits) qoplanadi.Abraziv zarralari bir tekis taqsimlanishi uchun,Batits sirti spirt yoki soat moyi bilan xoMlanadi, yordamchi shisha disk sirtiga olmos kukunli pasta (ASM 3) suriladi va bir necha tomchi soat moyi tomiziladi. Hosil boMgan qorishmani boshqa shisha disk yordamida shisha disklar yuzasida bir tekis surilguncha bir-biriga ishqalanadi. Bu disklaming har biri navbat bilan batits qoplangan sayqallagichga suriladi va hamma olmos kukun batits sirtiga o‘tkaziladi. Kremniy plastinkasi bir tomoni bilan maxsus moslamaga yopishtiriladi va sayqallovchi qurilmaga o‘matiladi. Sayqallash jarayonida qizish kuchli boMmasligi uchun sayqallagichning aylanish tezligi 30 - 40 ayl/min ortmasligi kerak. (qiziganda plastinka ko‘chib ketishi va mexanik ta’sirlanishi mumkin). - Ikkinchi bochqich (oraliq sayqallash), sayqallagich materialining almashtirish va ASM1 olmos kukunidan foydalanish. Buning uchun shisha diskka boshqa yumshoq material (duxoba) qoplanadi, issiq suv yoki spirt bilan hoMlanadi. Duxobaga olmos kukunli pasta (ASM1) suriladi va soat moyi tomiziladi. Maxsus moslamaga yopishtirilgan (birinchi bosqichda) plastinka moslama bilan birgalikda tozalanadi va sayqallovchi qurilmaga o‘rnatiladi hamda sayqallash davom etiriladi. Ikkinchi bosqichda sayqallagichning plastinkaga bosimi ko‘paytiriladi, aylanish tezligi 25- 30 ayl/ min gacha kamaytiriladi. - Uchinchi bosqich (yakuniy nozik sayqallash)da sayqallagich va abraziv material almashtiriladi. Sayqallagich materiali sifatida yangi batis va abraziv sifatida xrom oksidi, kremniy ikki oksidi yoki sirkoniy ikki oksidi ishlatiladi. Xrom oksidining ikki turidan foydalaniladi: 1) Yirik, zarralar o‘lchami 0,6- 0,8 mkm, bixromat (ikki xrom I i birikma) kaliyning oltingugurt bilan reaksiyasidan olinadi; 2) Mayda zarralar o‘lchami 0,2 - 0,4 mkm, bixromat ammoniyning termik parchalanishidan olinadi. Xrom oksidi bilan sayqallash jarayoni sekin kechadi, bir necha soat davom etadi.Kremniy ikki oksidi yoki sirkoniy ikki oksidi yordamida sayqallash tezligi ancha yuqori. Kremniy ikki oksidi kukuni zarralarini oichami 0,1 mkmdan kam boMadi. Kremniy ikki oksidi kukuning qorishmasi: bir qism kukunga besh qism suv qo‘shib tayyorlanadi. Qorishmani sayqallash jarayonida aralashtirib turilishi kerak. Yumshoq material sifatida zamsh ishlatiladi, sayqallagichning aylanish tezligi 1 0 0 ayl/min gacha boMadi.Sirkoniy ikki oksidi kukuni zarralari oMchami 0,1 mkm.dan kichik, qorishmasi bir qism kukunga o‘n qism suv qo‘shilgan bo‘ladi.Oxirgi bosqichda avvalgi ikki bosqichdagi olmos zarralari sirtdan ketkaziladi va mexanik buzilgan qatlam qalinligi keskin kamayadi va plastinkaning tozalik darajasi 13-14 sinfga to‘g‘ri keladi. “V” markali ionlardan tozalangan suv tabiiy vodoprovod suvini distillyatsiya qilinib, so‘ngra ionlardan tozalab olinadi. Solishtirma qarshiligi T=20°C da IMOrn • sm bo‘ladi. ”B” markali ionlardan tozalangan suvni “V” markali deionlashgan suvdan qayta deionlashtirilib,so‘ngra g‘ovakliklari o‘lchami d 1 0 mkm boMgan inert filtrlovchi materialdan o'tkazib erimagan zarralardan tozalab olinadi. Solishtirma qarshiligi 10 MOm • sm ni tashkil etadi. A” markali ionlardan tozalangan suvni “B” markali deionlashgan suvdan g‘ovaklar oMchami d 0,5 mkm boMgan maxsus filtrlovchi materiallarda filtrlanib olinadi. Solishtirma qarshiligi 20 MOm sm ga teng boMadi.
Yarim o‘tkazgichli plastinka sirtiga kimyoviy ishlov berish Sirtdagi kirlar miqdori (kontsentratsiyasi) yarim o‘tkazgichli asboblar va IS laming parametrlari turg‘unligiga ta’sir qilmagan holdagina sirt texnologik toza deyiiadi. Plastinka sirtini tozalashning fizik usullari: -ultratovushli tozalash; -kirlarni oquvchi suyuqlikda cho‘tkalar bilan yuvish; -gaz oqimini purkab tozalash (toza azot gazida ); -ionlar va elektronlar oqimi bilan bombardirovka qilish; - plazma muhitida ionlar bilan ishlov berish; -vakuumda yoki inert muhitda yuqori haroratda qizdirish. Kimyoviy tozalash usullari: - iflosliklami eritib yuborish; - kirlangan plastinkaning yupqa sirt qatlami eritib ketkazish. Plastinka sirtidagi fizikaviy kirlar. Fizikaviy adsorbsiyalangan fizikaviy kirlar quyidagilar: - Organik bo'lmagan kirlar: turli chang zarralari, obraziv materiailaming zarralari. - Organik kirlar yog‘ qatlamlari, ion almashuvchi smolalar qoldiqlari, fotorezits zarralari, o‘lchami 1 - 2 0 mkm oraligfida bo‘lgan mikro organizmlar va hokazolar. Yarim o‘tkazgichli material sirtiga kirlaming fizikaviy adsorbsiyasi molekulalar orasida Van-der -Vaals kuchlari yuzaga kelishi tufayli hamda elektrostatik qutblanish (zaryadlangan zarralaming Kulon kuchi bilan ta’sirlanishi) sababli bo‘lib, qaytuvchi jarayonlardir. Organik bo'Imagan kirlarni gidromexanik yo‘l bilan yoki toza azot gaz oqimini purkash orqali tozalanadi. Organik kirlar kremniy plastinkasiga termik ishlov berilganda uglerod atomini hosil qilib parchalanadi. Organik kirlar qutbli va qutbsizga bo‘linadi: Qutbli organik kirlar: moylar,oqsillar,sirtdagi faol moddalami qoldiqlari. Bu moddalaming molekulalari sirt bo‘yicha yo‘nalgan bo‘lib va o‘zaro tortilib, kirlar yuzasining qiSqarishiga olib keladi. Qutbsiz organik kirlar: mineral yog‘lar, parafinlar,vazelinlar. Bu moddalaming molekulalari sirt energiyasi katta bo‘lib, katta yuzalami qoplab oladi.
Suvda erimaydigan organik moy kirlar plastinka sirtini gidrofob holatga keltiradi, Ya’ni suv bilan ho'llanmaydi.Sirtni bir tekis tozalash uchun gidrofil xolatga keltirish kerak. Moy kirlardan tozalash orqali sirtni gidrofob hoiatdan gidrofil holatga o‘tkazish yog‘sizlantirish deyiladi. Organik kirlar organik eritgichlarda yoki uiaming bug‘ida yuvib tozalanadi. Avval qutbsiz yoki kuchsiz qutbli eritgichlarda (benzol, toluol, to‘rt xlorli uglerod, ayrim freonlarda) qutbsiz kirlar yuviladi, so‘ngra spirt, atseton, uchxlor etilenda qutbli kirlar tozalanadi. Plastinka sirtidagi kimyoviy kirlar. Kimyoviy kirlar yarim o‘tkazgichli material sirtida kimyoviy adsorbsiya (xemosorbsiya) kuchlari bilan bogiangan boMadi. Xemosorbsiyada adsorbsiyalangan modda atomlari bilan yarim o‘tkazgichli plastinka sirtidagi atomlar orasida mustahkam kovalent yoki ion bogMar hosil boMadi.Bu qaytmas jarayondir. Kimyoviy kirlar ionli va atomli boMadi: lonli kirlar suvda eruvchi tuzlar, kislotalar va ularning asoslari boMib, plastinka sirtiga yuvuvchi va yemiriluvchi eritmalardan, sayqallovchi qorishma (suspenziya) lardan, qirquvchi, jilvirlovchi va sayqallovchi disklaming metall asoslaridan o‘tadi. Atomli kirlar kimyoviy refaollar tarkibida mavjud boMgan Au, Ag, Su, Fe atomlarining plastinka sirtiga mikromurtak shaklida o‘tirishi yoki butun sirtni qoplashi, hatto mikroskopik qatlamlar hosil qilishidir. Kimyoviy kirlami kuchli oksidlovchi aralashmalarda, kompleks hosil qiluvchi eritmalarda, sirtdagi faol moddalarda, kislotalarda ketkaziladi. Tozalashda birinchi navbatda organik kirlar va sirt bilankimyoviy bogMangan qatlamlar ketkaziladi, so‘ngra-ionli vaatomli kirlar ketkaziladi. Turli kirlaming asosiy manbalari: • Yarim o‘tkazgichli plastinkaga mexanik ishlov berishda ishlatiladigan ishlab chiqarish xonalarida havoda mavjud boMgan chang; • plastinkalami tashish va saqlashda qoMlaniladigan idishlar, moslamalar va qurilmalar; • texnologikmuhit; • organik va organik boMmagan reagentlar;
• yuvishda ishiatiladigan suv; • kirlarning sezilarli manbai texnoog kiyimi, tanasi,kosmetikasi, bakteriyalar, viruslar, qo‘llardagi moy qoldiqlari. Tozalashda qo‘llaniladigan usullar va moddalar tozalanuvchi yarim oMkazgich materialiga nisbatan inert, yongMndan xavfsiz va zaharliligi kam boMishi kerak. Yarim oMkazgichli plastinkalami ifloslantirmasligi uchun kimyoviy refaollar, gazlar va suv yuqori darajada tozallikka ega boMishi kerak. Tozalashda ishiatiladigan qurilmalar” cheksiz kamaytirilib borish”ga asoslangan holda loyihalangan boMishi kerak (ketma-ket vannalar, bug‘da tozalash va boshqalar).