t-harorat (k)
e – elektron zaryadi,
µn va µp - berilgan haroratda elektron va kovaklarning harakatchanligi.
Elektron va kovaklarning diffo’ziya chuqurligi:
(10)
(11)
Jadvalda elektron va kovaklarning diffo’ziya koeffistientining qiymatlari keltirilgan.
2.4-jadval. Harorat T=3000K bo’lganda ba’zi muhim yarimo’tkazgichlar elektron va kovaklariningdiffo’ziya koeffistienti.
Yarimo’tkazgich
Dn cm/c
Dp cm/c
Si
35-39
9-11
Ge
95-100
45-50
GaAs
200-220
9-10
2.4 Kremniy materialiga Rux va Selen modallarini diffuziya jarayonida kiritish ZnSe binar birikmali kremniy asosidagi fotoelement tayyorlash. Foydalanilgan material sifatida KDB 0.5 (n=4·1016 sm-3) materiali olindi, uni 10x8 mm2 o’lchamda namuna qirqib olindi. Undan so’ng namunaga mexanik ishlov (sayqallash(шлифовка))berildi. Tayyor bo’lgan namunani kukunli suvda 10÷15 minut vaqt davomida qaynatildi (sirt qismidagi yog’larni ketkazish uchun), shundan so’ng 10sm uzunlikda ampula tayyorlanib (ampula ichki diametri 1 sm bo’lgan kvars shishadan tayyorlangan), uni ichiga (kirishma atomlari uchun tayyorlangan qismga (подложка)) kirish elementi bo’lgan galliy kiritiladi. Ampulaga galliy kiritilgandan so’ng bosqichma-bosqich avval mexanik nasos yordamida keyin diffuzion nasos yordamida ampulani xavosi so’rib olindi.
Tayyor bo’lgan ampulani diffuzion pechka yordamida past xaroratli legirlash usulida 1200 0C xaroratda 1 soat mobaynida gaz fazasida diffuziya qilindi. Diffuziyadan chiqqan namunani metal ustida sovutilib, HF (plavit kislota) yordamida namuna sirti kremniy oksididan kimyoviy tozalandi.
Namunani to’rt tomonidan 15÷20 mkm olinib uni kiritilgan kirishmani konsentartsiyasi 1018÷1019 ekanligi aniqlandi.
Shundan so’ng namuna sirtiga suyiq fosfor eritmasi surtilib uni 1100 0C xaroratda 0.5 soat mobaynida ochiq xavoda diffuziya qilindi. Diffuziyadan chiqqan namunani metal ustida sovutilib, HF (plavit kislota) yordamida namuna sirti kremniy oksididan kimyoviy tozalandi. [41]
Namunani to’rt tomonidan 15÷20 mkm olinib uni ikki tomonini tiplari termozond qurilmasi yordamida n-tip ekanligi aniqlandi. Namunani bir tomonidan 5÷7 mkm olingandan so’ng p-tip chiqdi, va namunada p-n o’tish xosil qilindi.
