16. Səthə kimyəvi buxar çökdürmə
texnikası və vasitələri.......................................268
16.1. Kimyəvi buxar
çökdürmə üsulunun iş
prinsipi və tətbiqinin aktuallığı......................268
16.2. Adi kimyəvi buxar çökdürmə üsulları............270
16.3. Plazmanın tətbiqi ilə CVD üsulları.................272
304
16.4. Hot-filament CVD üsulu.................................274
17. Səthə fiziki buxar çökdürmə texnikası və
vasitələri............................................................276
17.1. Fiziki buxar çökdürmə
üsulunun iş prinsipi
və tətbiqi potensialı.........................................276
17.2. PVD örtükçəkmə üsulları...............................278
17.2.1. Səthə buxarlandırmaqla örtükçəkmə
texnikası.......................................................278
17.2.2. PVD- sputtering (tozlandırma)
üsulu ilə
səthə çökdürmə texnikası............................281
17.5. İonla səthə örtükçəkmə texnikası....................283
18. Birləşdirmə və örtükçəkmə əməliy-
yatlarının mexanikləşdirilməsi texnikası.............287
19. Birləşdirmə və örtükçəkmə əməliyyatlarında
əməyin mühafizəsi texnikası və vasitələri............292
Ədəbiyyat................................................................296
305
Dosent, t.f.d. (Dr.-İng.) Fərhad
Məhəmməd oğlu Şirzadov
TRİBOTEXNİKİ AVADANLIQ VƏ
VASİTƏLƏR
(Dərs vəsaiti)
Çapa imzalanıb 27.01.2018- ci il
Sayı 200. Formatı 60×84 1/16.
Əla növ kağız
AzTU- nun mətbəəsi. H. Cavid pr. 25.
Tel: (+12) 539-14-52
E-mail: aztumetbee@yahoo.com
