241
Şəkil 14.16. Vakuumda plazma püskürtmə zamanı
temperaturun plazma axınında paylanması.
Plazma
püskürtmə üsulu hava, kosmos və tibb
texnikasından başlayaraq kütləvi istehsala qədər
(məsələn, avtomobil sənayesində)
geniş tətbiq
olunmaqdadır. Üsulun əsas müsbət cəhətlərinə
püskürtmə şərtlərinin böyük diapazonu (temperatur,
sürət və s.) və çoxnövlü püskürtmə prosesləridir.
İşıq qövsünün titrəməsi hesabına eyni prosesin
qismən
təkrarlana bilməsi, aşağı FİƏ (~3% enerji
dənəciklərin qızmasına sərf olunur), bir çox asılı
olmayan proses parametrləri və çətin nəzarət oluna
bilməsi üsulun mənfi cəhətləridir.
242
Maye ilə stabilləşdirilən
plazma püskürtmə
üsulunda buxarlanan mayedən (əsasən su, həmçinin
metanol və etanol) plazma yaradılaraq, anod və su ilə
soyudulub, fırlanan katod arasında işıq qövsü alınır və
su
dövriyyəsi elektrik qövsünü stabilləşdirib,
kameranın divarını soyudur (şək. 14.17.).
Şəkil 14.17. Maye ilə stabilləşdirilən plazma püskürtmə
başlığının sxematik təsviri.
Bu üsulun üstünlüklərinə uzun elektrik qövsünün,
orta cərəyan şiddətində yüksək gücün,
yüksək həcmli
ovuntu axınının (Al
2
O
3
halında 60 kq/saat, metal
halında 100 kq/saat) və adi plazma püskürtmə üsulları
ilə müqayisədə kobud ovuntu ilə püskürtmənin
mümkünlüyü (160 mkm- ə qədər) aiddir. Çatışmayan
cəhəti elektrik qövsünün alışmasının mürəkkəbliyidir.
İnduksiya plazma püskürtmə zamanı elektromaqnit
induksiyası
hesabına
f=0,5…15MHs
tezlikli
cərəyanla plazma yaradılır və plazmanın
diametri
daxilolma dərinliyi- δ ilə müəyyən olunur (şək.
14.18.):
(14.1.)
1.
Gərginlik
2.
Katod
3.
Mayenin daxil olması
4.
Ovuntu və nəqledici qaz
5.
Mayenin çıxışı
6.
Örtük
7.
Detal
8.
Plazma
9.
Püskürmə axını
10.
Anod
f
0
1
243
burad ξ
0
- maqnit nüfuzluğu,
k
- elektrik keçiriciliyi,
f-
cərəyanın tezliyidir. 5MHs
cərəyan tezliyində
müxtəlif materiallarda plazmanın daxil olma dərinliyi
növbəti cədvəldə təqdim olunmuşdur.
Dostları ilə paylaş: 
