F. M. Şİrzadov tribotexniKİ avadanliq və vasiTƏLƏR

2) Mənfi cəhətləri: 
Qazlar 
Buxarlandırıcı 
Naso
s 
Süzgəc 
Reaktor ≈700-1000
0
C 
Soba 
AlCl
3 
TiCl
4
H
2 
H
2 
CO
2 
N
2
,CH
4
Qazlar, məsələn: 

---

270 
-
örtüyün qalınlığı istiqamətdən asılıdır; 
-
bahalı qurğu və texnologiya. 
CVD üsuluna daxildir: 
1) Üstünlükləri: 
-
deatalın bütün həndəsi ölçüləri boyunca sıx 
təbəqə; 
-
yüksək iqtisadi səmərəlilik- sadə konstruksiya və 
istismar; 
-
örtüyün qalınlığı istiqamətdən asılı deyildir. 
2) Mənfi cəhətləri: 
-
yüksək proses temperaturu (T > 600°C); 
-
üzvi metal presursorlar (precursor – reaksiya 
qazları) çətin tapılır və bahadır; 
-
ixrac qazlarının təmizlənməsi tələb olunur. 
 
 
16.2. Adi k
imyəvi buxar çökdürmə üsulları 
Şək. 16.2.- də yüksək və orta temperaturlu adi 
CVD qurğularının təsviri göstərlimişdir. Orta 
temperaturlu CVD üsulunda əməliyyatın temperaturu 
~750°C 
olub, 
bu 
üsul 
əsasən 
səthlərə 
yeyilməyədavamlı 
nitrid 
və 
karbidlərin 
çökdürülməsində istifadə olunur. Tətbiq olunan 
reaksiya materialları isə üzvi CN birləşmələridir 
(məsələn, CH
3
CN).
Adətən yüksək temperaturlu CVD üsulu ilə kəsmə 
və formavermə alətlərinin səthinə yeyilməyədavamlı 

---

271 
örtüklər çökdürülür. Belə örtüklərə malik kəsici alətlər 
yüksək kəsmə sürətinə malik olub, kəsmə qüvvəsinin 
və temperaturunun azaldılmasına şərait yaradırlar. 
Kəsici alətlərə TiC – Ti(C,N) – TiN – çoxtəbəqəli 
örtüklər, erroziyalı yeyilməni azaldan TiN təbəqəsi, 
yüksək kəsmə sürətlərində tətbiq olunan Al
2
O
3
örtükləri çökdürülmüşdür (şək. 16.3. və şək. 16.4.).