270
-
örtüyün qalınlığı istiqamətdən asılıdır;
-
bahalı qurğu və texnologiya.
CVD üsuluna daxildir:
1) Üstünlükləri:
-
deatalın bütün həndəsi ölçüləri boyunca sıx
təbəqə;
-
yüksək iqtisadi səmərəlilik- sadə konstruksiya və
istismar;
-
örtüyün qalınlığı istiqamətdən asılı deyildir.
2) Mənfi cəhətləri:
-
yüksək proses temperaturu (T > 600°C);
-
üzvi metal presursorlar (precursor –
reaksiya
qazları) çətin tapılır və bahadır;
-
ixrac qazlarının təmizlənməsi tələb olunur.
16.2. Adi k
imyəvi buxar çökdürmə üsulları
Şək. 16.2.- də yüksək
və orta temperaturlu adi
CVD qurğularının təsviri göstərlimişdir. Orta
temperaturlu CVD üsulunda əməliyyatın
temperaturu
~750°C
olub,
bu
üsul
əsasən
səthlərə
yeyilməyədavamlı
nitrid
və
karbidlərin
çökdürülməsində istifadə olunur.
Tətbiq olunan
reaksiya materialları
isə üzvi CN birləşmələridir
(məsələn, CH
3
CN).
Adətən yüksək temperaturlu CVD üsulu ilə kəsmə
və formavermə alətlərinin səthinə yeyilməyədavamlı
271
örtüklər çökdürülür. Belə örtüklərə malik kəsici alətlər
yüksək kəsmə sürətinə malik olub, kəsmə qüvvəsinin
və temperaturunun azaldılmasına şərait yaradırlar.
Kəsici alətlərə TiC – Ti(C,N) – TiN – çoxtəbəqəli
örtüklər, erroziyalı
yeyilməni azaldan TiN təbəqəsi,
yüksək kəsmə sürətlərində
tətbiq olunan Al
2
O
3
örtükləri çökdürülmüşdür (şək. 16.3. və şək. 16.4.).
Dostları ilə paylaş: 
