275
Şəkil 16.7. HFCVD qurğusunun iş prinsipi.
HFCVD qurğusunun ümumi görünüşü şək. 16.8.- də
təsvir olunmuşdur.
Şəkil 16.8. İsti-filament CVD qurğusunun ümumi
görünüşü.
Qaz
Reaktant
İsti filament
Aktivləşmə
Radikaldan azad
Diffuziya
təbəqəsi
Detal
Axın və
reaksiya
276
17.
Səthə fiziki buxar çökdürmə
texnikası və vasitələri
17.1. Fiziki
buxar çökdürmə üsulunun iş
prinsipi
və tətbiqi potensialı
Səthə fziki buxar çökdürmə üsulu bir çox dillərdə
PVD üsulu kimi qəbul
olunmuş və ingilis dilində
tərcüməsi “
p
hysical
v
apour
d
eposition” olub, bu
sözlərin baş hərifləri ilə adlandırılmışdır. Bu üsul ilə
örtükçəkmə vakuumda aparılır və örtük materialı
(adətən
bərk halda olub, tarqet adlandırılır)
qızdırılaraq mühitə buxarlandırılır. Atom, ion və ya
nisbətən böyük birləşmələrdən (eng. claster)
ibarət
olan buxar detala tərəf nəql olunaraq onların səthinə
kondensasiya olunur (çökür) və enerji baxımından
əhəmiyyətli olan
mövqelərə diffuziya edərək, orada
təbəqə əmələ gətirirlər.
Detalın yeyilməyədavamlılığının
yüksəldilməsi
üçün əsasən onların səthinə TiC, TiN, W
2
C, Cr
7
C
3
və
Al
2
O
3
örtüklər çökdürülür. Şək. 17.1.- dən göründüyü
kimi digər üsullarla səthə yeyilməyədavamlı örtüklər
çökdürülməsinə nisbətən
PVD ilə səthə örtük
çökdürmə üsulları daha da geniş həcmdə aparıla bilər.
