Şəkil 16.6. CVD mikrodalğalı plazma çökdürmə
qurğusunun sxematik təsviri.
16.4. Hot-filament CVD üsulu
Hot-filament CVD (HFCVD) qurğusunun iş prinsipi
şək. 16.7.- də təsvir olunmuşdur. Sxematik təsvirə
əsasən detalla reaksiya qazları arasında isti məftil (hot
filament) yerləşdirilir. Bu məftilin təsirindən aktivləşən
qazlar səthdə keyfiyyətli almaz örtüklərin yaranmasına
səbəb olur.
Kvars boru
Optik pəncərə
Mikrodalğa üçün
rezonator
Detalı saxlayan
və qızdıran
Təzyiq ölçən
Nasosa
Mikrodalğa
Qazın daxil
olma
sistemi
275
Şəkil 16.7. HFCVD qurğusunun iş prinsipi.
HFCVD qurğusunun ümumi görünüşü şək. 16.8.- də
təsvir olunmuşdur.
Şəkil 16.8. İsti-filament CVD qurğusunun ümumi
görünüşü.
Qaz
Reaktant
İsti filament
Aktivləşmə
Radikaldan azad
Diffuziya
təbəqəsi
Detal
Axın və
reaksiya
276
17.
Səthə fiziki buxar çökdürmə
texnikası və vasitələri
17.1. Fiziki
buxar çökdürmə üsulunun iş
prinsipi
və tətbiqi potensialı
Səthə fziki buxar çökdürmə üsulu bir çox dillərdə
PVD üsulu kimi qəbul olunmuş və ingilis dilində
tərcüməsi “
p
hysical
v
apour
d
eposition” olub, bu
sözlərin baş hərifləri ilə adlandırılmışdır. Bu üsul ilə
örtükçəkmə vakuumda aparılır və örtük materialı
(adətən bərk halda olub, tarqet adlandırılır)
qızdırılaraq mühitə buxarlandırılır. Atom, ion və ya
nisbətən böyük birləşmələrdən (eng. claster) ibarət
olan buxar detala tərəf nəql olunaraq onların səthinə
kondensasiya olunur (çökür) və enerji baxımından
əhəmiyyətli olan mövqelərə diffuziya edərək, orada
təbəqə əmələ gətirirlər.
Detalın yeyilməyədavamlılığının yüksəldilməsi
üçün əsasən onların səthinə TiC, TiN, W
2
C, Cr
7
C
3
və
Al
2
O
3
örtüklər çökdürülür. Şək. 17.1.- dən göründüyü
kimi digər üsullarla səthə yeyilməyədavamlı örtüklər
çökdürülməsinə nisbətən PVD ilə səthə örtük
çökdürmə üsulları daha da geniş həcmdə aparıla bilər.
|
