Ölçü cihazının ətalətliliyi - bu, cihazın göstərişinin dəyişməsinin ölçülən kəmiyyətin dəyişməsindən geri qalmasını xarakterizə edir. Ölçü cihazının göstərişindəki gecikməyə səbəb, onun hərəkət edən hissələri arasındakı sürtünmə, hərəkətin və ya enerjinin bir elementdən digərinə ötürülməsi və s. ola bilər.
Ölçü cihazının etibarlılığı - bu, cihazın normal şəraitdə uzun müddət öz keyfiyyət xarakteristikalarını saxlama qabiliyyətini xarakterizə edir.
Müntəzəm sürətdə işləmə, müntəzəm işləmə vaxtı adlanan zaman daxilində cihazın fasiləsiz olaraq işləmə qabiliyyətini xarakterizə edir.
