Oliy ta’lim, fan va innovatsiyalar vazirligi islom karimov nomidagi toshkent davlat texnika universitetining qo‘qon filiali

11-Amaliy mashg’ulot.
Yupqa plyonkalarni kiritishni tadqiq qilish

YaO‘A va integral sxemalarni ishlab chiqarishda yupqa metall va dielektrik plyonkalar keng foydalaniladi. Metall plyonkalar yupqa plyonkali rezistorlar va kondensatorlar, komutatsion elementlar, kontaktli maydonchalar va omik kontaktlar tayyorlashda qo‘llaniladi. IMS elementlarining ishlatilish vazifasiga bog‘liq xolda plyonkalar va ko‘p qatlamli plyonkali tuzilmalar oltin, kumush, nikel, xrom, mis, alyuminiy, titan va molibden plastinalardan tayyorlanadi.

Dielektrik plyonkalardan (SiO, SiO₂,GeO, Al₂O₃, Si₃N₄) yupqa plyonkali kondensatorlar, yupqa plyonkali elementlar, p-n o‘tishlar va yarim o‘tkazgichli plastinalar yuzalari ximoyasi, ko‘p qatlamli kommutatsion platalarda qatlam orasi izolyatsiyasini xosil qilishda foydalaniladi.
Yupqa plyonkalarni olishda quyidagi usullar keng qo‘llaniladi:

1. 
   Vakuumda materiallarni termik bug‘lash(rezistiv va yuqori chastotali qizdirish, elektron nur yoki lazer yordamida qizdirish)
   
2. 
   Ionli changlatish (katodli, ionli-plazmali ki magnetronli)
   
3. 
   Ionli-termik bug‘latish
   

Vakuumda termik bug‘lanish boshqa usullarga qaraganda bir qancha afzalliklarga ega. Yuqori bosimlarda (10^-3-10^-7 Pa) yetarli darajada toza plyonkalarni olish mumkin, ya’ni qoldiq gazlarning molekularining miqdori juda xam kam darajada bo‘ladi (O₂,N₂, N₂, CO₂ va boshqa gazlar).
Termik bug‘lanish moddalarning yo‘naltirilgan bug‘ oqimini xosil qilish va uning kondensatsiyasini taglik yuzasida o‘rnatishga asoslangan. Bunda taglikning temperaturasi bug‘ manbasi temperaturasidan past bo‘ladi.

5.1-rasm. Vakuumda termik bug‘lanish sxemasi.

1-qopqoq; 2- taglik qizdirgich; 3-taglik ushlagich; 4- taglik; 5-zaslonka; 6-bug‘latgich; 7-zichlovchi prokladka; 8-qurilmaning tayanch plitasi.

Termik bug‘latish qurilmasining ishchi kamerasi silindrik shaklda metall yoki shisha qopqoqdan (1) tayyorlanadi. Bu qopqoq 8-tayanch plitaga o‘rnatilgan va 7-rezina prokladka bilan zichlashtirib berkitilgan. Ishchi kameraning ichida 4-taglik bilan birgalikda taglik ushlagich 3 o‘rnatilgan. Shu bilan birgalikda kamera ichiga 2 qizdirgich va 6 bug‘latgich xam joylashtirilgan. Bug‘latgich va taglik orasida 5 zaslonka o‘rnatilgan. Zaslonka kerakli paytda bug‘lantirilayotgan moddaning uzatilishini to‘xtatish uchun xizmat qiladi. Ishchi kameradagi bosim vakuum nasosi yordamida 10^-3-10^-4 Pa gacha tushiriladi va vakuummetr yordamida o‘lchanadi.

Termik bug‘latish jarayoni uchta etapni o‘z ichiga oladi:

1. 
   Moddani bug‘lash
   
2. 
   Modda bug‘larini taglikka o‘tkazish.
   
3. 
   Bug‘larni taglikda kondensatsiyalanishi va plyonkali tuzilmani xosil qilish.
   

Muayyan temperaturaga qizdirilganda modda bug‘lanadi va uning zarrachalari ( atom va molekulalari) kinetik energiyasi ortadi, buning natijasida qo‘shni atom va qo‘shni molekulalar bog‘lanishlarini uzilish extimolligi ortadi. Yuzadan ajralib chiqqan zarrachalari bug‘ xolatida erkin fazoda tarqaladi. Bunda ikki xil bug‘lanish sxemasi bo‘lishi mumkin:

1. 
   Qattiq faza- suyuq faza- bug‘simon faza
   
2. 
   Qattiq faza- bug‘simon faza
   

Ikkinchi sxema qattiq jismni bevosita bug‘lash yoki sublimatsiya deyiladi. Bunda moddaning zarrachalari yuza ustida bug‘lanadi va V berk xamda p bug‘ bosimini xosil qiladi. Shu bilan bir vaqtda teskari jarayon, ya’ni kondensatsiya jarayoni sodir bo‘ladi. V=const, T=const va p=const bo‘lganda, bug‘lanish tezligi ν_bug‘ va kondensatsiya tezligi ν_kon teng bo‘ladi. Bu tenglik sharti amalga oshganda, barqaror xolat (to‘yinganlik xolati) deyiladi. Bunda bug‘lanish tezligi quyidagi formula orqali aniqlanadi:
ν_bug‘=0,0585r_to‘y
bu yerda r_to‘y- to‘yingan bug‘ bosimi, M- bug‘lanayotgan moddaning molekulyar massasi, T- bug‘lanish temperaturasi.
To‘yingan bug‘ning bosimi taxminan 1Pa ga bo‘lgan vaqtdagi temperatura bug‘lanish temperaturasi deb yuritiladi.