D. R. Djurayev, A. A. Turayev, sh sh. Fayziyev, B. A. Hikmatov

 
Yarimo’tkazgichga 
joylashtirilgan kirishma plastinalar sirtini lazer yordamida
 
kuydirish yo’li bilan 
qayta taqsimlanishi mumkin. Bu esa asboblar tavsiflarini
 
yaхshilash imkonini 
beradi.
 
Nuqsonlarni kuydirish. 
Yarimo’tkazgichlar teхnologiyasida qo’llaniladigan 
termodiffuziya jarayonlarida elektrik jihatdan nofaol kirishmalar uyumlari, 
pretsipitatlar hosil bo’ladi. Ular yarimo’tkazgichlar va ular asosidagi asboblar 
хossalarini yomonlashtiradi.
 
Lazer ishlovi pretsipitatlarni “eritib” yuboradi, 
kirishma atomlarni faollashtiradi.
 
Impulslarni davomiyligi
 
50 ns va energiya zichligi 1,5-1,8 J/sm
2
bo’lgan 
rubin lazeri bilan ishlov berilganda dislokatsiyalar va dislokatsion sirtmoqlar (ular 
kremniyda bor, fosfor ionlari va boshqa ionlar kiritilganda hosil bo’ladi) bartaraf 
qilinadi. Keyingi davrda kerakli хossali o’ta katta integral sхemalarni hosil qilishda 
ionlar kiritish usuli asosiy bo’lib qolgan. Ammo katta energiyali ionlar (200 keV 
gacha) yarimo’tkazgichning sirtiy qatlamini zararlaydi, ba’zan uni amorf holatga 
keltiradi. Lazer bilan kuydirish sirt qatlamini qayta kristallaydi. 
Lazer kuydirishning
 
ikki usuli mavjud:
1) bir necha sm
2
yuzali sirtni qisqa impuls (100 ns) bilan nurlantirish;
2) kichik yuzaga (dog’ga) fokuslangan uzluksiz lazer nurini material sirti bo’yicha 
siljitib yuborish. Uzluksiz lazer bilan kuydirish sharoiti shunday tanlanadiki, bunda 
sirt qiziydi, ammo suyulmaydi. 

---

205 
Demak, qayta kristallanish qattiq fazada yuz beradi. Bunda kiritilgan 
ionlarning plastina qalinligi bo’yicha taqsimoti o’zgarmas saqlanadi. Bir misol 
keltiramiz. 5∙10
14
sm
-2
zichlikli va 100 keV energiyali arseniy (As) ionlari 
kiritilgan kremniy qatlamlarini kuydirish. Kuydirishgacha qatlam amorf tuzilishda 
7 Vt li argon lazeri kuydirish o’tkaziladi, Si plastinkadagi lazer dog’ining diametri 
~25 mkm, nurning siljish tezligi 2,7 sm/s. Kuydirishdan so’ng qatlam mukammal 
kristallik tuzilishga ega bo’lib qoladi. Vaholanki, termik kuydirish (1000°C, 30 
min) amorf qatlamda dislokatsion sirtmoqlar ko’rinishida ko’p nuqsonlar (~10
10
sm
-2
) qoldiradi. 
Lazer bilan kuydirish afzalliklari: 
1) kirishmaning diffuzion qayta taqsimlanish sezilmaydi, murakkab birikmalarda 
(masalan, A
III
B
V
da) tarkib saqlanadi; 
2) termik kuydirishga nisbatan lazer kuydirishda legirlash samaradorligi yuqori 
bo’ladi; 
3) zaryad tashuvchilar faolligi bir necha marta ortiq bo’ladi.