Јурилиш материаллари ва конструкциялрини тадіиі этиш ва

1.4. Tekshirishning elektronmikroskopik usuli 
Elektron mikroskop, yorug‘lik mikroskopi kabi, ob’yektni kattalashtirish 
uchun qo‘llanadi. Zamonaviy elektron mikroskoplar 300 000 martagacha foydali 
kattalashtirishga ega, bu o‘lchami 3-5Å bo‘lgan zarralarni ko‘rish imkonini beradi. 
Kichik zarralar olamiga bunday chuqur kirib borish to‘lqinlari ko‘zga ko‘rinadigan 
yorug‘lik to‘lqinlaridan bir necha marotaba qisqa bo‘lgan elektron nurlardan 
foydalanish natijasida amalga oshiriladi. 
Elektron mikroskop yordamida boglovchi moddalar sohasida kuyidagi 
masalalarni o‘rganish mumkin: ayrim submikroskopik kristallarning shakli va 
o‘lchamlarini; ham eritma, ham qattiq fazada o‘tadigan jarayonlarni; qattiq va suyuq 
fazadagi reaksiyalarda diffuziya jarayonlarni; termik ishlov berish va sovitishdagi 
faza o‘zgarishlarini; deformatsiya va yemirilish mexanizmini va bir qator boshqa 
xususiy masalalarni. Sanab o‘tilgan masalalardan faqat birinchisi tiniq preparatlarda 
bevosita tekshirish yo‘li bilan hal etilishi mumkin. Qolgan masalalarni hal etish 
uchun shliflar yuzasidan olinadigan nusxalardan iborat maxsus preparatlar-
replikalardan foydalaniladi. 
1.4.1. Mikroskopning ishlash prinsipi 
Elektron mikroskoplar ajratuvchi qobiliyatiga ko‘ra uch sinfga bo‘linadi: 
1-sinf-ajratish kobiliyati < 5-15Å (UEMB-100, UMV-100, EM-7, JYEM-5X 
va NI-10 mikroskoplari (Yaponiya), VS-413 (Chexoslovakiya) va b); 2-sinf-ajratish 
kobiliyati 20-30Å (EM-5, YEM-T4, TESLA-VS-242 mikroskopi) va 3-sinf-ajratish 
kobiliyati 50-150 Å (UEM-100, EM-3, NM-3 mikroskopi (Yaponiya)). 
Elektron mikroskopidagi nurlar yurishining sxemasi 1.15-rasmda keltirilgan. 
Elektron mikroskopning sxemasi oddiy yorug‘lik mikroskopining sxemasiga yaqin. 
Volfram simdan iborat 1 katod qiziganda elektronlarni chiqaradi. Katod va 2 anod 

---

45 
qrtasidagi bir necha o‘nlab kilovaltlarga teng bo‘lgan potensiallarning turliligi sababli 
elektronlar katta tezlik bilan anod tomon harakatlanadi va undagi teshik orqali 3 
magnit linzaga o‘tadilar. Linza 4 ob’yekt tekisligida elektronlar taramini fokuslaydi. 
Ob’yekt orqali o‘tgan elektronlar 6 tekislikda ob’yektning kattalashtirilgan tasvirini 
hosil qiladigan ikkinchi magnit linzasiga 5 tushadi. Bu elektron tasvirini ko‘rinarli 
qilish uchun, ushbu tekislikda fluoressensiya qiluvchi ekran o‘rnatiladi. Ob’yektning 
hosil qilingan ko‘rinadigan tasviri oraliq tasvir deb ataladi. Umumiy tasvirning 
muayyan qismini eltuvchi elektronlar qismi ekran markazidagi teshik orqali o‘tadi va 
uchinchi magnit linzasi 7 yordamida 8 tekislikda kattalashtirilgan holda fokuslanadi. 
Oxirgi tasvir tekisligida ham, shuningdek, elektron tasvirni yorug‘lik tasviriga 
o‘zgartiruvchi flyuoressensiya qiluvchi ekran mavjud. Flyuoressensiya qiluvchi ekran 
ostida eksponat qilish mumkin bo‘lgan oddiy fotosurat plastinkali kasseta 
joylashtiriladi. Butun mikroskop tizimi 1-10
4
-5-10
5
mm sim. ust. ga teng bo‘lgan 
vakuum ostidagi ustunda joylashgan. Mikroskopning umumiy kattalashtirishi 3 va 5 
linzalari beradigan kattalashtirishlar ko‘paytmasiga teng. Agar 3 linza 150 marta 
kattalashtirishni, linza esa -5-200 kattalashtirishni bersa, mikroskopning umumiy 
kattalashtirishi 30 000 ga teng.