1 – laboratoriya ishi Mavzu: ims tayyorlash texnologiyasi va klassifikatsiyasi bilan tanishish. Ishning maqsadi

---

 
1 – laboratoriya ishi
Mavzu: IMS tayyorlash texnologiyasi va klassifikatsiyasi bilan tanishish. 
Ishning maqsadi: IMS tayyorlash texnologiyasining asosiy bosqichlari, 
ularning topologiyasi bilan tanishish va IMS belgilanish tizimini o‘rganib chiqish. 
Qisqacha nazariy ma’lumot: 
Elektronika o‘zining yarim asrlik tarixi davomida IMSlar elementlari 
o‘lchamlarini kamaytirish yo‘lida rivojlanmoqda. 1999 yilda mikroelektronika 
texnologik ajratishning 100 nmli dovonini engib nanoelektronikaga aylandi. Hozirgi 
vaqtda 45 nmli texnologik jarayon keng tarqalgan. Bu jarayon optik litografiyaga 
asoslanishini aytib o‘tamiz. 
Mikroelektron qurilmalar (IMSlar) yaratishning ananaviy, planar jarayon kabi, 
usullari yaqin 10 yillik ichida iqtisodiy, texnologik va intellektual chegaraga kelib 
qolishi mumkin, bunda qurilmalar o‘lchamlarini kamaytirish va ularni tuzilish 
murakkabligining oshishi bilan harajatlarning eksponensial oshishi kuzatiladi. 
Muammoni nanotexnologiyalar usullarini qo‘llagan holda yangi sifat darajasida 
echishga to‘g‘ri keladi. 
1. Laboratoriya mashg’ulotini bajarish uchun topshiriqlar. 
 
2. 2 ta listga IMS tayyorlash texnologiyasining asosiy bosqichlarini yozish va 
rams,chizmalarini chizish va baholangandan keyin xemis tizimiga joylash. 
3. Laboratoriya prinsipal va ishchi sxemasini o‘qish va tushuntirib berish. 
4. Laboratoriya ishini sxema yordamida stentda yig‘ish va ishlatib ko‘rsatish.
5. Programmasini tuzish. 
Laboratoriya ishini bajarish stenti 

---

IMSni ichki tuzilish 
IMSni ichki ko’rinishi 
1.1. IMS belgilanish tizimini o‘rganib chiqish va berilgan IMSlar majmuidagi har bir 
IMS uchun qisqacha xarakteristika berish: funksional vazifasi, texnologiyasining turi, 
qo‘llanish sohasi, asosiy parametrlari. 
2.1. Namoyish qiluvchi maket va ko‘rgazmali qurollar bilan tanishib chiqing. 
2.2. Berilgan majmuadagi IMSning nomini, turining klassifikatsiyasini va har bir IMS 
turkumini aniqlang. 
2.3. Ma’lumotnomadan foydalanib o‘rganilayotgan IMSga xarakteristika bering: 
bajaradigan vazifasi, qo‘llanio‘sohasi, asosiy elektr parametrlari. 

---

2.4. IMS tayyorlash asosiy bosqichlaridan foydalanib, IMS tayyorlash texnologik 
bosqichlarining ketma – ketligi haqida umumiy bayon bering va ularga qisqacha 
xarakteristika bering. 
2.5. Kuzatilayotgan tasvir qaysi texnologik bosqichga ta’luqli. 
2.6. Mikroskop ostida tugallangan kichik va o‘rta darajali integratsiyadagi IMS 
topologiyasini ko‘rikdan o‘tkazing.