D. R. Djurayev, A. A. Turayev, sh sh. Fayziyev, B. A. Hikmatov

geteroepitaksial 
qatlamlarini olish 
mumkin. 
Polikristall kremniy tasmalarini kristallash.
 
Kremniy tasmalarini 
(lentalarini) o’stirish arzon kremniy plastinalarini olish usullaridan biridir. Bu usul 
kesish, yedirish va silliqlashdan amallarsiz bajariladi. Bu amallarga esa dastlabki 
material 75% gacha isrof bo’ladi. Dastavval, kremniyni bug’ fazasidan (past 
bosimda) vaqtincha taglikka o’tqaziladi. Keyin kremniy qatlami ajratib olinadi, 
taglikdan esa keying jarayonda yana foydalaniladi. Bu usul bilan 100 mkm va ortiq 
qalinlikdagi kremniy plastinalari olinadi. O’stirilgan tasma lazer bilan kerakli 
o’lchamli plastinalarga ajratiladi. Biroq bu plastinalar mayda donali polikristallik 
tuzilishga ega, amalda ulardan foydalanib bo’lmaydi. Ularni ishlatishga yaroqli 
qilish uchun quyidagi amallar bajariladi:
 
Polikristall donalarini yiriklash uchun lazerga ishlov beriladi. Lazer nuri, 
masalan, 7,5 sm/min tezlikda siljib borib tasmaning torgina qismini suyultiradi. 
Qayta kristallashdan so’ng polikristallik kremniy yirik donador tuzilishga ega 
bo’lib qoladi. Yuqori sifatli tasmalarning sirti yaltiroq, mayda panjaraviy relefga 
ega. Relef davri 4,5 mkm. Argonda kuydirilganda silliq ko’zgusimon sirt hosil 
bo’ladi. Bunday tasmasimon materiallarda noasosiy zaryad tashuvchilar yashash 
vaqti katta va tuzilish nuqsonlari kam. Qayta kristallangan tasmasimon 
yarimo’tkazgichlar quyoshiy elementlar ishlab chiqarishda keng qo’llaniladi. 
“Dielektrik ustida kremniy” qatlamini qayta kristallash. 
Lazer yordamida 
qayta kristallash usuli bilan amorf moddalar sirtida shakllantirilgan “dielektrik 
ustida kremniy” qatlamlari boshqa usullar bilan o’stirilgan
 
qatlamlarga хos 
kamchiliklardan xoli. Bu holda tuzilmaning asosi kremniy taglik bo’ladi. Qayta 

---

208 
kristallash impulsli yoki uzluksiz lazer yordamida amalga oshiriladi. Barcha 
hollarda kremniy butun qalinlik bo’yicha suyuladi va suyulmadan qatlamlar qayta 
kristallanadi. Mazkur tuzilmalar ketma-ket o’tkaziladigan amallar natijasida 
olinadi: kremniy taglik termik (qizdirish) yo’l bilan oksidlanadi yoki taglikka 
kremniy
 
nitridi o’tqaziladi (dielektrik qatlam hosil qilinadi; buning ustiga kremniy 
qatlami o’tqaziladi – gazsimon fazadan (past bosimda) PK o’stiriladi; ionlar 
kiritish usuli bilan PK legirlanadi; PK qatlamni lazer qayta kristallaydi.
 
Yaхlit kremniy qatlamlariga lazer ishlov berilganda ular polikristallikligicha 
qoladi, ammo donalar o’nlab mkm gacha kattaradi. Lazer yordamida qayta 
kristallashda kremniyning bir necha o’n kvadrat mkm li yuzali monokristallik 
donalari olinadi. Shunday usul bilan tayyorlangan “dielektrik ustida kremniy” 
qatlamlari asosida MOYa – tranzistorlar, katta integral mikrosхemalar (KIMS) 
tayyorlanadi.