D. R. Djurayev, A. A. Turayev, sh sh. Fayziyev, B. A. Hikmatov

 
diffuziyalanib kiradi. Ana shu usul bilan kremniyga donorlar va aktseptorlar
 
(bor, 
fosfor, surma va b.) kiritiladi.
 
Yupqa yarimo’tkazgichli plastinalar sirtiga omik kontaktlar o’tkazish хuddi 
shu usulda amalga oshiriladi. 100 mm diametrli va 0,2 mm qalinlikdagi 
plastinalarni lazer bilan qizdirish termik kuchlanishlarga bog’liq buzilishlar 
qoldiradi. Oddiy teхnologiyada esa ko’p kontaktlar shunday kuchlanishlar 
sababidan buzilib ketadi. 
Suyuq yoki gazsimon manbadan diffuziyalash usuli.
 
Yoqut 
(
rubin)
 
kristalli 
lazer nurlanishini p-Si plastinasi sirtiga o’tkazilgan etanoldagi surma
 
triхloridi 
eritmasi orqali o’tkazib sirtdan 190 nm ichkarida p-n-o’tish hosil
 
qilinadi.
 
Gazsimon manba (10% RN
3
+90% Ar gazlar aralashma) muhitiga plastina
 
joylanadi. Aleksandrit asosidagi lazer (λ=0,73 mkm) bilan ishlov beriladi. Uning
 
nuri diametri ~ 3mm.
 

---

204 
Lazer yordamida fotolitik legirlash.
 
Bu usul yarimo’tkazgich sirtiga 
kirishma o’tkazish va uni plastina ichiga joylash jarayonlarini birgalikda olib 
borish imkonini beradi. Birinchi bosqichda gaz lazer nurlanishini yutadi, 
dissotsiatsiyalanadi, kirishmani ozod qiladi (fotoliz). Kirishma o’sha nurlanish 
ta’sirida sirtga o’tira borib, plastina ichiga kiradi. 
Lazer yordamida ionlar kiritish.
 
Tarkibida kirishma bo’lgan nishon quvvatli 
CO
2
-lazer nurlanishi ta’sirida bug’lantiriladi. Kirishma ionlari yarimo’tkazgichga 
kiradi. 
Yarimo’tkazgichlarda kirishmani qayta taqsimlash.