D. R. Djurayev, A. A. Turayev, sh sh. Fayziyev, B. A. Hikmatov

Kirishmalarni getterlash. 
Getterlash deb asboblarning faol sohalaridan tez 
diffuziyalanadigan metall kirishmalar (oltin, kumush, mis va boshqalar) ni 
ketkazish jarayoniga aytiladi, chunki bu kirishmalar asboblar sifatini pasaytiradi.
 
Odatda, getterlash sohalarini plastinaning notekis tomonida hosil qilinadi, 
bunda muayyan nuqsonlar kiritilib, ular yuqorida aytilgan keraksiz kirishmalarni 
o’ziga biriktirib oladi. Lazer ishlovi oqibatida hosil bo’lgan nuqsonlar oson nazorat 
qilinadi, ifloslik kiritmaydi va barqaror bo’ladi. Ular kirishmalarni teхnologik 
jarayonlar o’tkazilganda ham ushlab tura oladi. 
Getterlash samaradorligini noasosiy zaryad tashuvchilar yashash vaqti 
bo’yicha baholanadi. Metall kirishmalar qancha kam bo’lsa, yashash vaqti shuncha 
katta bo’ladi. 
Polikristall kremniy qarshiligining o’zgarishi. 
Yarimo’tkazgichli asboblar 
va integral mikrosхemalarda metall o’tkazgichlar o’rniga ko’pincha legirlangan 
polikristallik kremniy (PK) pardalardan foydalaniladi. PK pardasi donasi o’lchami 
qancha katta bo’lsa, o’tkazgichning qarshiligi shuncha kichik bo’ladi. Lazer bilan

---

206 
kuydirish donalar o’lchamini kattalashtiradi, binobarin,
 
piroliz yordamida (620 
0
C 
va past bosimda) o’stirilgan PK pardalari qarshiligini kamaytiradi.
 
Lazer tizimi 30 
ns davomiylikni va energiya zichligi 2-59 mVt/sm
2
bo’lgan impulslar hosil qiladi.
Rubin lazerdan foydalanilgan holda to’lqin uzunligi 0,6943 mkm yoki neodim 
lazer bo’lganda – 1,06 mkm bo’ladi, namunada yorug’lik dog’i 5 sm.
 
Legirlash dozasiga qarab PK parda qarshiligi turlicha bo’ladi, doza ortishi 
bilan kamayib boradi. Ammo quvvvat zichligi katta bo’lganda PK pardalari 
qatlamlanib, ularning qarshiligi ortadi. Arseniy (As) bilan legirlangan PK pardalari 
o’lchami kuydirishgacha 30 nm, termik kuydirishda u 40 nm ga yetadi, lazer bilan 
kuydirishda 150 nm gacha yetadi. Mos ravishda, qarshiliklar nisbati 
15000:890:360. Termik kuydirishdan so’ng faollashgan kirishma hissasi 39%, 
lazer bilan kuydirishdan so’ng 93%. Impuls rejimida plastina sirti bo’yicha 
siljiyotgan lazer nuri polikristallik kremniy qatlamini qayta kristallaydi. Bu 
qarshilikning yana ham kamayishiga olib keladi.