Materialshunoslik va yangi materiallar texnologiyasi

2.1-rasm. Universal elektron mikroskopning umumiy ko‘rinishi.

Universal elektron mikroskopda elektronlarning fokuslanish va struktura tasviri kattalashishi elektr magnit maydonlari yordamida o‘tqaziladi. Bu maydonlar maxsus magnit linzalar bilan vujudga keltiriladi. Ko‘rish maydoni diafragmasi, oraliq linza, stigmator oraliq linza va stigmator ob’yektiv linza hamda elektron magnit linzali elektron nurlari ob’yektivdan o‘tib chiqadigan elektron mikroskoplar eng keng tarqalgan. Bu mikroskoplarda o‘rnatilgan asbob tez harakatlanuvchi elektron moslamalardan iborat.

Elektron mikroskoplarda namuna ob’yektining katta qismini yuzaga chiqarish elektronogrammasi (pichoqning aralashma burchagi 5-6⁰) va elektronogramma mikroqismi bilan (mikrodifraktsiyasi) ni olish mumkin. Maxsus ushlagichlar yordamida ob’yekt elektronogrammasi bilan metall namunalar yuza qismini olish. Ob’yektning yorug‘lik va qorong‘ulik maydonlari ko‘rinishini yuzaga chiqara olish. Stereoparalar ob’yekti bilan ishlaganda ularni yuzaga chiqara olish.
Elektron mikroskopning ishlash va harakatlanish printsipi shunga asoslanganki, modulyatsiya elektron luchning intensivligi bo‘yicha namuna ob'yektining qalinligi va zichligiga bog‘liqdir. Elektron mikroskopda tekshiriladigan har bir alohida maxsus tayyorlangan namunalar, aniq razmerlarda (davlat standartlari bo‘yicha) ko‘rsatilgan tartibda bo‘lishi kerak. Ana shundagina mo‘ljallangan ilmiy-tadqiqot yoki boshqa izlanish ob’yektlaridagi ishlar keng diapazonli kattalashtirishda amalga oshiriladi va o‘rganiladi.



2.2-rasm. Elektron mikroskopning optik sxemasi:
1-ko‘rish maydoni diofragmasi; 2-oraliq linza; 3-stigmator oraliq linza;
4-stigmator ob’yektiv linza; 5-ob’yektiv linza; 6-ob’yekt; 7-stigmatorikkinchi kandensator; 8-diogframaning ikkinchi kandensatori; 9-diofragmaning birinchi kandensatori; 10-fokusli elektrod; 11-katod; 12-anod; 13-birinchi kandensor;
14-ikkinchi kondensor; 15-yorug‘lik; 16-ob’yekt stoli; 17-diafragma aperturasi; 18-diafragma selektori; 19-ob’yektivning yustirovka mexanizmi; 20-loyixalash
linzasi; 21-ekran.

Elektron mikroskopning printsipial optik sxemasi 2.2-rasmda keltirilgan. Fotoplastinka yoki fluorestsiruyushiy ekranga izlanayotgan ob’yekt qismining kattalashtirish ko‘rinishini uchta magnit linzalar yaratadi.

Yorug‘lik sistemasi, kondensor bloki va elektron pushkasidan tashkil topgan bo‘lib, elektron puchokning (luchning) ko‘rinishini yaratadi. Anod va Venelta silindri elektrod fokusli, V-ko‘rinishdagi katod, uchelektrodli elektron pushkaning elektron luchi manbai sifatida xizmat qiladi. Katod uzeliga Venelta silindri va ushlagich katodi mahkamlanadi, qaysiki u o‘z navbatida yuqori voltli izolyatorga mahkamlangan holda bo‘ladi.
Elektron mikroskopning yorug‘lik sistemasi ikki juft elektro- statik prizma va uch juft elektromagnitlar yordamida bir-biriga boshqa tartibda joylashgan luch yo‘nalishi bo‘yicha ob’yektivga bog‘liq holda olib boriladi.
Ob’yektning kattalashtirib ko‘rinishi - ob’yektiv linza yordamida amalga oshiriladi. Aylanma magnit prizmasi yordamida loyiha linzasi, oraliq linzasi va ob’yektivlarining yustirovkasi olib boriladi.
Tasvirning oxirgi ko‘rinishi fluorestsiruyuchiy ekranda va rasmplastinkasida suratga olish kuzatiladi.
Elektron mikroskopning optik sxemasi - bu mavjud qismlarni yechish yoki yig‘ish uchun mo‘ljallangan ichi bo‘sh qismi bu kolonnadir (2.3-rasm). Kolonnaning bir uchida elektronlar manbai, ikkinchi uchida esa yorug’lik ekrani o‘rnatiladi. Elektronlar manbai va yorug’lik ekrani oralig‘ida eletromagnit linzalari joylashtiriladi: kondersorli, ob’yektivli, oraliq va proektsiyali linzalar. Elektron mikroskop normal yaxshi ishlashi uchun toza xavoni kolonnadan tortib olishi kerak (bosimi 10^-4 mm gacha).
Elektron mikroskopning kolonnasi (2.3-rasmga qarang) juda murakkab birlashgan oraliq bloklaridan tuzilgan: binokulyar mikroskopi, tubus rasm kamerasi bilan, proektsiya bloki, namunaning shlyuzli ob’yektivi, kondensor linzasi va elektron pushkasi.
Ob’yektivli, kondensor, oraliq va proektsiya linzalarning kattalashtirish ko‘paytmasi elektron mikroskoplarning umumiy kattalashtirishi bo‘ladi. Bu ko‘paytma 1000 dan 100 000 gacha kattalashib o‘zgarishi mumkin. Ob’yektivli linza yordamida fokuslash o‘tkazilsa, kondensor, oraliq va proektsiya linzalari yordamida esa kattalashtirishni o‘zgartirish mumkin bo‘ladi.