3.4. Detal sirt qatlami parametrlarining tavsifiy (klassifikatsiyasi) Detalga turli usul va rejimlarda ishlov berilgandan so‘ng, uning yuza
qatlamidagi notekisliklar, fazaviy va kimyoviy tarkibini, tuzilishini baholash uchun
quyidagi yuza qatlami parametrlarini klassifikatsiya jadvalidan foydalanish tavsiya
etiladi (3.2-jadval).
3.2-jadval Yuza qatlam parametrlari Yuza qatlam
harakteristikalari
Parametrning nomi
Belgilanishi
1
2
3
Yuza qatlamning
notekisligi
Profil notekisligining eng katta balandligi,
mkm
R
max
G‘adir-budirlik
Profilning notekisliklar balandligi, mkm
R
z
Profilning o‘rtacha arifmetik og‘ishi, mkm
R
a
Profilning o‘rtacha kvadratik og‘ishi, mkm
R
q
Profil notekisliklarining o‘rtacha qadami,
mkm
S
m
Profil do‘ng qismi o‘rta qadami
S
Notekisliklar chuqur qismining dumaloqlik
radiusi, mkm
r
w
Profilning nisbiy tayanch uzunligi, %
t
p
Notekis yuzalar va tashqi kuch
yo‘nalishlari orasidagi burchak, °
α
w
To‘lqinsimonlik balandligi, mkm
W
z
To‘lqinsimonlikning o‘rtacha qadami,
mkm
S
z
Yuza qatlamining Donalar o‘lchami, mkm
1d
69
fizik kimyoviy
holati sturuktura
Donalarning shakli va joylashishi
-
Dislokatsiya zichligi, sm
-2
R
Vakantsiya konsentratsiyasi, %
S
v
Bloklar (shakli) o‘lchami, nm
l
b
Bloklarning oriyentirovka burchagi
α‘b
Kogerent yoyilish muhiti o‘lchami, nm
Fazaviy tarkibi
Fazalarning soni, kontsentratsiyasi va
joylashishi
-
Fazaning kristal strukturasi tili
m,s
Faza panjarasi parametri, nm
a,b,c
Kimyoviy tarkibi Yuza qatlamdagi qismlar va ularning
konsentratsiya profili, %
S(x)
Fazalardagi qismlar konsentratsiyasi, %
S
f
1Deformatsiya
(puxtalanish)
Deformatsiya darajasi, %
ɛ
Puxtalanish chuqurligi, mkm
h
n
Puxtalanish darajasi, %
%
Puxtalanish gradiyenti, hv/mm
u
h
Panjara mikrodeformatsiyasi, %
<ɛ>
Qoldiq
kuchlanishi
Makrokuchlanish, MPa
σ
1
qol
Mikrokuchlanish, MPa
σ
II
qol
Panjaraning statik o‘zgarishi, MPa
σ
III
qol
Emissiya intensivligi, impuls /s
I
Elektronlarning chiqish ishi, eV
Φ
Bu klassifikatsiya ma’lum parametrlardan g‘adir-budirlik va to‘lqinsimonlik,
dislokatsion mustahkamlash, qoldiq kuchlanishdan tashqari kimyoviy tarkib va
struktura - fazaviy holat,shuningdek ekzoelektron emissiya parametrlarini ham o‘z
ichiga oladi. Bunday klassifikatsiya yuza qatlamining fizik-kimyoviy holatini to‘liq
aks ettiradi, u standartlar, normallar va tavsiyanomalar yaratishga asos bo‘lib
xizmat qiladi.